Паста для металлизации керамики

1 и-и-е Союз Советских Социалистических Республик(45) Дата опубликования описания 09(51) М. Кл, С 04 В 4 осударстеенныи комитетСовета Министроа СССРоо делам изобретенийи открытий 53) УДК 666,3, ,056,5 (088,8) о 72) Авторы иэобретения Л,инская, Т. Н,ва и А. С, Левин(54) А ДЛЯ МЕТАЛЛИЗАЦИИ КЕРАМИКИ 1 редлагаемое етение относится юча.оцая МэОэ, М)10, С О,О и керамики, вк стекло21,делии эле ности к с урной ме та е токо бретения - уменьш асстоянии междуми порядка 0,3 -зо м паст ции диэ Извест таллизац5 мм,утечк анны; при р поля 5пасн и маехан ден рмо ына осбеспечива ганца,ескуюржит,этогфО паста: Ре,О.оненто о содержи 1щем соотполнительри следуювес,%:40 М сод па очность ошени вес,%:МоО; МнО 9 75 3МоО. МпОе СиО Стекло 1 о ТЙь ,иС 3 и0,53203,50,5 -15 ет быть прй микроэл ко этот состав не мождля металлизации издели мене При стекло от 0,0 ханичесцелесо разно и 1 елоч льзоватьпределахя термомет быть иси, где расстояния междуми полями малы, так ксоставляющей гидридауменьшению сопротивлеучастке, прилегающеми, что снижает электрич металлизак наличие акитана приво ия диэлектрислою металескую прочс ержанием ц5%, Г 1 ля повышенрочности узла мо.текло с ко ционнь тивной 01 до кой п эффициентом термиличаюшимся от коользован ка на лизац ностьИз еско ффиц раснта те бол ширения ермиче еталлизации 25 ики н хнологии изготовления и й промышленности, в ча для низкотемпераектриков,ен состав низкотеове окислов молиющий высокую тузла Щ. Такая прибора,вестна также паста для ого расширения кераа + 15 3.01/град.529143 ЕНИИПИ данае 5 Р 9883 Тнраж 7 од Фнднад ППП фПатент+, г. Ужгород, уд, Проектное, а Подписное Выбранные соотношения компонентов,входящих в состав пасты, обеспечиваютбыстрое протекание реакции в процессемегаддизации а также образование мелкихучастков стекла и равномерное распределение их в области металлизационного слоя,Использование трехокиси молибдена определяется ее высокой реакционной способностью вступать в химическое взаимодействиес компонентами металлизационной пасты и19керамического материала, а также высокойповерхностной актиьностью продуктов, образующихся при восстановлении трехокиси молибдена,Для снижения летучести трехокиси молибот- , 15дена при температурах свь 1 ше 600в состав пасты вводят металлический молибден,что способствует восстановлению грехокисимолибдена до менее летучей двуокиси молиб. дена,В процессе вжигания метал.1 изацион 1 т огос:;ояе О, восстанавливается до геО и во11 нгеьва 11 е температур 500-700 С, взаимодействуя с МоО , образует модибдат железа,Обра еованио молибдата железа дополнительНО У 1 тнОНЬШаЕТ возгонку МОО ПР 11 бЛИЗИТЕЛЬНО ааав два раза, Введение в состав ъ 10, приводит к образовани 1 о вольфрамата и фольфрамитао1 арга 1 тпа, который при 3.000 С образуеттвердый раствор с молибдатом (молибдитом)марганца, Образование твердых растворов ет 1об.-.егчаег процесс спекания частиц твердойтказь ыегаллизационного слоя,Использование в составе пасты стекла с малым содержанием шелочи определяетсянеобходимостью обеспечить низкие значения ЗЬтоков утечки (не более 0,0003. мка принапряжении 100 в),Таким образом, указанные усдовия обеспечивают высокие значения электрическогосопротивления между метадлизацпонными по%лями при малых расстояниях между ними ипри сохранении температуры вжигания в пределах 3. 050 - 1 1 5 ОоСПаста, содержашая: МоОк 57%, М 1 о 0,9%, Си,О Ое 5%, Мо 20%, АО 4%,Ге О 0,5%а стекло 9% была нанесена наплату гибридной интегральной схемы размером 24 хЗОхО,З мм, Расстояние между металлизационными полями составляло 0,3 -1,5 мм. Вжигание пасты проводили в восстановигельной атмосфере при 1100 С, После никелирования и металдизированным образцам припаивали никелевые выводы медно- серебряным припоем.На полученных образцах были проведены замеры токов утечки и рассчитана величина сопротивления между металлизационными погр 1 миа Кроме того, были проведены испытания механической прочности спаев металдизированной керамики с никелевыми выводами на растяжение и на изгиб,Результаты испытаний показали:1, Сопротивление между металлизацион 1 Ъными полями составило более 10 ом при расстоянии между металлизационными подяОЗ мм2, Механическая прочность спал на растяжение, составляет, в среднем, 1,1 кг, при норме 500 г,3, Механическая прочность сная на изгиб составляет, в среднем 5, перегибов при норме 3 перегиба. Формула изобретения 3.а Паста для металдизации керамики, вклют 1 аюшая МоОз, МпО, СОЛО и стекло, о т л. и ч а ю ш а я с я тем, что, с целью уменьшения токов утечки при расстоянии между металлизационными полями порядка 0,3 - 1,5 мм, она дополнительно содерк 1 кит МО Ь 1 О, ГЕ 0; Прн СЛЕдуЮШЕМ СО- отношении компонентова вес,%:МоО-; 40 -6511 11 г 5 -15со 0,5-1,52Стекдо 3 -15Мо 20-40ъо 3,5-15Ге 0 0,5-2,52 а Паста. по и. 1, о т д и ч а ю ш а яс я тем, что она содержит стекло, разница коэффициента термического расширения которого с коэффициентом термического расширения керамики лежит в пределах + 15 10 1/град. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе изобретения: Авторское свидетельство СССР Ио 404818, М. Кл, С 04 Ь 41/14, 1971 г,2, Патент США3647519, М. Кл. 117-71, опубликовано 1972 г (прототип).