Способ изготовления спеченных изделий из нитрида кремния

Номер патента: 1074402

Опубликовано: 15.02.1984

Авторы: "пьер, Анджело, Джузеппе, Пауль

МПК: C04B 35/591

Метки: кремния, нитрида, основе

...занный материал можно с успехом подвергать обработке спеканием согласнопредлагаемому способу, получая, такимобразом, материал с улучшенными прочностью и плотностью, причем конечная плотность этого материала близка к теоретическому значению (3,18 г/см ).3Операции уплотнениякремниевого порошка и аэотирования могут быть осуществлены согласно любому известному способу. 30П р и м е р 1, Из кремнийнитридного порошка, средний размер частиц которого составляет 5 мк, содержащий 5 весокиси магния и 2 вес. железа, отформовывают прессовку, плот ность которой равна 2 г/см 3, путем холодного изостатического прессования. Эту прессовку покрывают защитным 40 порошком следующего весового состава: 50 нитрида кремния, 43 нитрида бора, 5 окиси магния и 2...

Номер патента: 1073229

Опубликовано: 15.02.1984

Авторы: Боровинская, Викулин, Мартыненко, Мержанов, Мукасьян, Параносенков, Ромашин, Рудыкина, Шаталин

МПК: C04B 35/584, C04B 35/591

Метки: кремния, нитрида, основе

...цель достигается тем,что согласно способу получения материала на основе нитрида кремния иэпорошка На основе кремния путем еговысокотемпературного азотирования врежиме горения при давлении 1001000 бар, готовят смесь порошков,содержащую, мас, Ъ: кремний 44-54,нитрид кремния 44-55; углерод 1-3,формуют иэ нее заготовки, азотирование которых осуществляют при 23002600 К,Азотирование в режиме горения(процесс СВС) основано на том, чтореакция образования нитрида кремния является экзотермической и протекает со значительным выделениемтепла:Ьйс 15+ й 2 ф С 51 М 4+ йСфй,где Ц - теплота реакции,Это приводит к тому, что послелокального воспламенения смеси фронтгорения распространяется по формованному изделию самопроизвольно соскоростью 1 мм/с,...

Номер патента: 1799863

Опубликовано: 07.03.1993

Авторы: Васильев, Тарасова

МПК: C04B 37/02

Метки: кремния, металлом, нитрида, спая, спеченного

...состава, мас.%: вольфрам 88, ТН 2 12, Пасту наносят на поверхность керамики слоем толщиной 20-30 мкм. Затем производят пайку керамики с металлом при помощи медного припоя в вакууме (10 мм рт.ст,) по режиму: нагрев до 1000 С в течение 1 часа, выдержка при 1000 С в течение 30 мин, нагрев до температуры плавления медного припоя в течение 10 мин, выдержка при температуре плавления припоя в течение 60 сек, охлаждение в течение 3 часов,Механическая прочность спаев керамики из нитрида кремния с никелем при сдвиге составляет 103+ 15 МПа, механическая прочность при сдвиге после 10 термоциклов на воздухе в интервале 20-600-20 С составляет 65+13 МПа.Конкретные примеры составов и свойств приведены в таблице,1799863 Из приведенных данных видно,...

Номер патента: 1684265

Опубликовано: 15.10.1991

Авторы: Гогоци, Завада, Трасковский, Трунов, Щербина

МПК: C04B 35/584, C04B 41/00

Метки: выбора, керамики, кремния, нитрида, оптимальных, основе, режимов, термообработки

...4) кривые,Запись термогравиметрической кривой проводили на дериватографе со скоростгло 15 град/мин (фиг. 1 и 3), При выбранной температуре проводили запись кинетической кривой методом периодического взвешивания (фиг, 2 и 4),Пределы прочности определяли при трехточечном изгибе образцов при 20 и 800 С (800 С - как обычная температурная эксплуатации материала), Стойкость к окислению оценивали по приращению массы при 900 С за 3 ч, Температура 900 С выбрана как температура, при которой скорость окисления обоих материалов велика и защитный слой на них не образуется.Полученные результаты сведены в таблицу,П р и м е р 1, Образец из керамики НКККМподвергали термообработке при 1000 С и времени нагрева 45 мин, Предел прочности при рабочей...

Номер патента: 1718302

Опубликовано: 07.03.1992

Авторы: Корешков, Красницкий, Петрашкевич, Сарычев, Турцевич, Химко

МПК: H01L 21/318

Метки: кремния, нитрида, пленки, формирования

...в аммиаке не позволяет существенно уменьшить уровень механических напряжений в пленках и улучшить их зарядовые характеристики, что обуславливает снижение качества нитрида кремния. При толщине подслоя более 200 нм не удается провести выравнивание свойств пленки по всей толщине, т.е. примыкающий к подложке слой обогащен 31, следовательно, ухудшаются диэлектрические свойства: снижается электрическая прочность (уменьшаются пробивные напряжения), ухудшаются зарядовые характеристики при повышенных механических напряжениях, В конечном итоге указанные пленки характеризуются низким качеством.При осаждении подслоя из смеси 9 Н 4 - МНз - Иг при соотношении меньше, чем 1: 4; 15, наблюдается осаждение пленок с повышенным содержанием оборванных...