Электронномикроскопический способ измерения полей рассеяния

ОПИСАНИЕ р 503317 Союз Советских Социалистических Ресвубликс присоединением заявки Государстввнныи комит овета Министров ССС 23) ПриоритетОпубликовано 15,02.76 3) УДК 621.385,833(088.8) юллетень евам изобретени и открытий гта опубликования описания 19.04.76 72) Авторы изобретения А. Е, Лукьянов,Московский ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамен государственный университет им, М, В. Ломоносова) ЭЛЕКТРОННО-МИКРОСКОПИЧЕСКИ ИЗМЕРЕНИЯ ПОЛЕЙ РАССЕЯН СПОСО Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано для исследования и измерения магнитных и электрических полей,Известен электронно-микроскопический способ измерения полей рассеяния путем воздействия исследуемым полем на электронный пучок, пропускаемый мимо образца, с последующей регистрацией информации об измеряемых полях.Недостатками способа являются большая трудоемкость и невозможность автоматизировать процесс измерения, что весьма ограничивает точность измерений,Целью изобретения является повышение точности измерений и автоматизации получения распределений различных компонентов измеряемых полей непосредственно на экране регистрирующего устройства.Для достижения поставленной цели по предлагаемому способу осуществляют выделение информации о локальной величине измеряемого поля из величины отклонения в этом поле электронного пучка, развертываемого в линию по одной из координат, путем преобразования в любой фиксированный момент времени электрического сигнала, адекватного току пучка, в оптический сигнал, последующего ослабления оптического сигнала пропорционально величине отклонения электронного Рау, В, П. Иванников и В. Н. Гус пучка по другой координате и обратного преобразования выходного оптического сигнала в электрический.Измерение полей рассеяния по данному 5 способу производят следующим образом.Электронный пучок, сформированный электронной пушкой и сфокусированный в зонд малого (менее 1 мкм) диаметра, развертывают в линию по одной из координат (напри мер, параллельно рабочей поверхности магнитной головки и перпендикулярно плоскости рабочего зазора - при измерении тангенциальной компоненты поля рассеяния над рабочим зазором) и направляют параллельно осе вой линии рабочего зазора, так что на пучокдействует магнитное поле рассеяния и отклоняет его. Далее отклоненный пучок в любой фиксированный момент времени преобразуют в оптический пучок таким образом, чтобы све товой поток был пропорционален току электронного пучка. Полученный оптический сигнал ослабляют пропорционально величине отклонения электронного зонда по координате, перпендикулярной линии развертки, но не 25 меняют его интенсивности при отклоненииэлектронного пучка вдоль линии развертки.Затем оптический сигнал вновь преобразуют в электрический и фиксируют значение полученного в данный момент времени электри- ЗО ческого сигнала, Полученный таким образом503317 Составитель Б. Калин Корректор Т, Гревцова Техред Т, Курилко Редактор И, Шубина Заказ 759/11 Изд.1127 Тираж 963 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 13035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 сигнал будет пропорционален величине отклонения электронного пучка только под воздействием одной из компонент поля рассеяния (в данном случае - тангенциальной компоненты), т. е, при соблюдении известных требований к скорости электронов, максимальной протяженности и максимальному значению индукции поля рассеяния сигнал будет пропорционален локальному значению компоненты поля рассеяния в месте прохождения электронного зонда через это поле,При реализации способа обеспечивается автоматическая регистрация информации о распределении полей рассеяния, устраняется возможность получения дополнительных ошибок при измерениях из-за использования каких- либо структурных элементов - датчиков информации о величине отклонения электронов в измеряемом поле, обеспечивается раздельная регистрация каждой из компонент исследуемого поля рассеяния. Последовательное преобразование электрического сигнала в оптический, обработка оптического сигнала и преобразование его вновь в электрический сигнал дает существенные преимущества при обработке и регистрации информации о поляхрассеяния. Формула изобретения 5 Электронно-микроскопический способ измерения полей рассеяния путем воздействия исследуемым полем на электронный пучок, пропускаемый мимо образца, с последующей регистрацией информации об измеренных по лях, отличающийся тем, что, с цельюповышения точности измерений и автоматизации получения распределений различных компонент измеряемых полей непосредственно на экр ане регистрирующего устройства, осу ществляют выделение информации о локальной величине измеряемого поля из величины отклонения в этом поле электронного пучка, развертываемого в линию по одной из координат, путем преобразования в любой фиксиро ванный момент времени электрического сигнала, адекватного току пучка, в оптический сигнал, последующего ослабления оптического сигнала пропорционально величине отклонения электронного пучка по другой коорди нате и обратного преобразования выходногооптического сигнала в электрический.