Устройство для селекции пучка электронов по энергиям

,71192 1)4 Н 01.1 3 1 ДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ЗОБ РЕТЕНТЕЛЬСТВУ ОПИСАНИЕ И К АВТОРСКОМУ СВИДЕ(54) ( 1 УЧКА 1. УСТРОЙЕКТРОНОВ П 4/18-257885. Бюл. Р 36еник, И.П.Запесочный,уло и Э.И.Метелешкодский государственный точник эл жа ее тическии к ким кладками ерстиями левымполе уни (53 (56 енсато 62 1.3.031.264 1. Козлов И.Г электронной здат, 1970, с Марме, Керви я конструкция селектора. Ка т. 38, 19608 ектронов, я тем, ч рвианса у емник щ е е времен(е прои. М.,с целью увелиройства и повыспектроскопи 24-48, Усовершенс лемь ния п т щения монокинетичности электронного твоичесал фи.,пучка, обкл иены в виде нанн электро адский ыс. 787. о роны электро кой сеткой,р Фольгой с ак зики) СТВО ДЛЯ СЕЛЕКЦИИ О ЭНЕРГИЯМ, содерктронов, электросатор с цилиндриэлектроды со щеограничивающие углом 127 , и при- отличаюки конденсатора выполамок, зашитых, со стоного пучка металличесс противоположной одажным покрытием..7 11922 2. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что в конденсаторе по обе стороны пучка эквидис 1стройстве относится к областифизики, изучающей различные процессы и явления с помощью монохроматических электронных пучков, а болееконкретно " для изучения процессов 5упругого и неупругого рассеяния электронов на атомах и молекулах, преимущественно в области малых энергий.Известны различные устройства моьнохромгтпзации монокинетизации)направленных пучков электронов:селектор с поперечным и продольныммагнитными полями, электростатические монохроматоры - цилиндрические исферические 1 1.15Основной проблемой, которую приходится решать в устройствах селекции - повышение разрешающей способности, которая ограничена как принципиальными, так и технологическими 20Факторами,Ближайшим техническим решениемявяляется устройство для селекциипучка электронов по энергиям, содержащее источник электронов,электроста -тический конденсатор с цилиндрическими обкладками, электроды со щелевымиотверстиями, ограничивающие поле конденсатора углом 127 , и приемникэлектронов 2 .30Основу измерительной части известного прибора еоставляют цилиндрический конденсатор, изготовленный в видедвух цилиндрических поверхностей срадиусами К=10 мм, К =15 мм и высотой 25 мм с центральным углом 127прямоугольный электрод со щелями0,5 4 мм, согнутый под углом 127ленточный катод прямого накала иприемник электронов. Разность потен- що. циалов, приложенная между коаксиальными цилиндрическими обкладками,создает электрическое поле вида 1/К.Одной из основных трудностей в достижении малого разброса по энергиям 45в приборах такого типа является наличке рассеянных и отраженных электантно срединной плоскости пучка установлены электроды, выполненные в видеочасти колецс центральнымуглом 127. 2тронов, влияние краевых эффектов, несовершенство катодного узла. Из-за фокусировки только в одном направлении выходной ток монохроматизированных электронов мал.Целью изобретения является увеличение первианса устройства и повышение монокинетичности электронного пучка.Этг цель достигается тем, что обкладки конденсатора выполнены в виде рамок, зашитых со стороны электронного лучка металлической сеткой, а с противоположной - Фольгой с акводажным покрытием.Кроме того, в конденсаторе по обе стороны пучка эквидистантно срединной плоскости пучка установлены электроды, выполненные в виде части колец с центральным углом 127 ю.11 а фиг. 1 приведен общий вид предлагаемой конструкции; на фиг.2 - поперечный разрез конденсатора.Устройство выполнено в виде электронного прибора, включающего в себя катодный блок 1, электронную электростатическую линзу 2,цилиндрический конденсатор, образованный обкладками 3 и 4, Фокусирующие электроды 5, ускоряющую линзу 6 и приемник 7 электронов. Электроды линзы 2 выполнены в виде прямоугольных пластин со щелями высотой 2 мм и шириной 0,3 мм, параллельность которых между собой и линией, находящейся посредине между обкладками образующих цилиндров, гарантируется разметкой креплений под микроскопом с точностью +0,005 мм. Из двух цилиндров (толщина стенок 2,5 мм) вырезаны обкладки 3 и 4 цилиндрического конденсатора, кромки которых закруглены радиусом 1,25 мм. Внутренняя часть цилиндрических обкладок вырезана таким образом, чтобы получались рамки-держатели, к которым с одной стороны приварены вольфрамовые сетки 8 высотой прозрачности, а с дру711922 В. Гиря Корре 43/4 Тираж 678 ВНИИПИ Государственного комитета С по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб..4/5 Филиал ППП "Патент", г,Ужгород, ул.Проектная, 4 гой - фольга 9 из нержавеющей стали,покрытой аквадагом. Сверху и снизуцилиндрических обкладок перпендикулярно к ним и параллельно между собойразмещены две кольцеобразные пластины5, фокусирующие электронный пучок ввертикальном направлении. Приемник 7электронов представляет собой глубокийцилиндр Фарадея. Разметка крепленийвсего устройства осуществляется под 1 Омикроскопом с точностью + 0,008 мм,отверстия под крепления сверлятся вдвух слюдяных пластинах 1 О, между которыми затем монтируется вся арматура,чем обеспЕчивается высокая точность 15сборки. Устройство работает следующим образом.Электронный пучок, генерируемый 20 катодным блоком 1 и формируемый линзои 2, вводится в цилиндрический конденсатор, образованный обкладками 3 и 4, в котором электроны со средней Е= РЧ совершают движение по окруж - 25 едактор П.Горькова Техред О.Нец Я+Яности радиусом р - 1 2, где Я ио 2- минимальный и максимальный радиусы пучка. Пучок электронов с небольшой угловой расходимостью в плоскости, перпендикулярной цилиндрическим поверхностям, фокусируется после прохождения дуги, равной 127 , и входит в фокусирующую линзу 6 коллектора.Введение сеток 8 и фольги 9 приводит к тому, что уровень концентрации рассеянных и обращенных электронов, определяемых взаимодействием электронов пучка с обкладками конденсатора снижается, что повышает разрешающую способность прибора.Введение фокусирующих электродов 5 делает возможным увеличение поперечного размера и первеанса пучка,Как показали эксперименты, с помощью данного устройства может быть получен пучок электронов с разбросом по энергии на полувысоте максимума распределен йЕ=0,07 эВ при первеансе пучка 0,5-10 А/В