Устройство для изготовления электронно-оптических приборов

Номер патента: 476621

Авторы: Искольдский, Прилепских, Финогенов

ZIP архив

Текст

и) 47662 Союз Советских Социалистических Рассблик) Приоритет Совета Министров ССС па делам изобретений публиковано 05.07.75. 53) УДК 621.385(088 юллетень25 открыт Дата опубликовани исанпя 05.11.7А. М, Искольднститут автоматикт ий, В. Д. Прилепских и В. электрометрии Сибирского иногено ления АН СССР 3 ГОТОВЛ ЕН ИЯ ИХ ПРИБОРОВ(54) УСТРОЙСТВО ДЛ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧ Изобретение относится к оборудованию для изготовления электронных приборов,Известно устройство для изготовления электронно-оптических приборов (ЭОП), содержащее вакуумную камеру, расположенные в ней держатели заготовок фотокатодов и ЭОП, снабженные уплотнительными элементами, механизм перемещения ЭОП, подвижно установленные в камере активировочные узлы, снабженные уплотпительными элементами, сопрягаемыми с уплотнительными элементами держателей заготовок фотокатодов. Это устройство не обеспечивает высокую повторяемость параметров приборов и их надежность.С целью повышения качества изготовляемых приборов в предложенном устройстве держатели фотокатодов и сопрягаемых с ними ЭОП установлены на двух, расположенных друг под другом соосных и синхронно вращающихся каруселях, размещенных в отсеках вакуумной камеры, соединенных центральным каналом. На каждом из отсеков, по крайней мере, против одной из позиций каруселей установлены соответственно активировочный узел и механизм перемещения ЭОП, соосно с которым отсеки вакуумной камеры соединены дополнительным капалом.На чертеже показано предложенное устройство.Устройство содержит вакуумную камеру 1 с отсеками 2, 3, соединенными между собой центральным каналом 4. В отсеках размещены карусели 5, 6 с держателями 7, 8 для фотокатодов и ЭОП соответственно. Карусели расположены друг под другом соосно и приводятся в движение синхронно. Держатели 7, 8 снабжены сопрягающимися уплотнительными элементами 9, 10.На каждом из отсеков 2, 3, по крайней мере, против одной из позиций каруселей уста- О новлены соответственно активировочный узел11 с уплотнительным элементом 12 и механизм перемещения 13 ЭОП. Соосно с механизмом перемещения 13 отсеки вакуумной камеры 2, 3 соединены дополнительным канг лом 14.ЭОП и заготовки фотокатодов устанавливают в держатели 7, 8 на каруселях 5, 6 в вакуумной камере 1. После откачки и обезгаживания камеры производится формирование 0 фотокатодов.Для этого активировочный узел 11 поднимается и вакуумноплотно соединяется с держателем 7 фотокатода с помогцью уплотнительных элементов 9, 12, затем производится 5 нанесение компонентов на заготовку фотокатода и активирование его. После выравнивания давления в активировочном узле 11 и от секе 2 камеры активировочный узел опускает ся, т. е. отделяется от держателя фотокатода О 7, а карсель поворачивается и пеоеводится,если есть необходимость, к другому активиро 476621вочпому узлу. Готовый фотокатод совмещается соосно с мсхаиизмом перемещения 13 ЭОП, осуществляющим герметизацию приоора в результате соединсшгя уплотнительных элементов 9 и 10.Устройство позволяет повысить качество и надежность электронно. оптических приборов,Предмет изобретенияУстройство для изготовления электронно- оптических приборов, содержащее вакуумную камеру, расположенные в ней держатели заготовок фотокатодов и электронно-оптических приборов, снабженные уплотнительными элементами, механизм перемещения электронно- оптических приборов, подвижно установленные в камере активировочные узлы, снабженяые уплотпительными элементами, сопрягаемыми с уплотнительными элементами держателей заготовок фотокатодов, о т л и ч а ющ с е с я тем, что, с целью повышения качества изготавливаемых приборов, держатели фотокатодов и сопрягаемых с ними электронно- оптических приборов установлены на двух, расположенных друг под другом соосных и синхронно перемещающихся каруселях, раз О мещенных в отсеках вакуумной камеры, соединенных центральным каналом, и на каждом из отсеков, по крайней мере, против одной из позиций каруселей установлены соответственно активировочный узел и механизм переме щения электронно-оптических приборов, соосно с которым отсеки вакуумной камеры соединены дополнительным каналом.

Смотреть

Заявка

1832135, 27.09.1972

ИНСТИТУТ АВТОМАТИКИ И ЭЛЕКТРОНИКИ СО АН СССР

ИСКОЛЬДСКИЙ АЛЕКСАНДР МИХАЙЛОВИЧ, ПРИЛЕПСКИХ ВЛАДИМИР ДМИТРИЕВИЧ, ФИНОГЕНОВ ВАЛЕНТИН МИХАЙЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01J 9/12

Метки: приборов, электронно-оптических

Опубликовано: 05.07.1975

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-476621-ustrojjstvo-dlya-izgotovleniya-ehlektronno-opticheskikh-priborov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для изготовления электронно-оптических приборов</a>

Похожие патенты