Тонкопленочная термопара

Номер патента: 466399

Автор: Нашиванко

ZIP архив

Текст

(23) ПриоритетОпубликовано 05.04.75. Бюллетень13Дата опубликования описания 10.07.75 Совета Министров СССРпе делам изобретений) Автор изобретения И, Нащиванко Заявитель ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ ТЕРМОПАРА пара.В подлоходимогообе сторометодомпленочныесплавов Х жке 1 вы диаметра ы подло ермическ термоэл ромель -Изобретение относится к радиоэлектронной промышленности и предназначено для использования при изготовлении пленочных микросхем,Известные тонкопленочные термопары 5 (ТПТП), применяемые для измерения поверхностной температуры подложек при вакуумном нанесении тонких пленок обычно изготавливают из термоэлектрических материалов.Недостатками таких ТПТП являются: малая 10 величина термо-э,д.с. (порядка 35 мкв/С), возможность возникновения паразитных термоэ.д,с. в местах контактов, невозможность применения ТПТП при нанесении тонкопленочных слоев на вращающуюся карусель подложек. 15Цель предлагаемого изобретения - уменьшение инерционности.Для достижения цели термоэлектроды нанесены на обе стороны подложки и соединены посредством напыленных внутренних стенок 20 отверстий в подложке, причем спай образован на одной стороне подложки.На чертеже изображена пленочная термоверлены отверстия 2 необ (порядка 1 - :2 мм), и на жки нанесены, например, ого испарения в вакууме ктроды 3 и 4 на основе Копель, при этом внутренние стенки отверстия 2 также запылены слоем этих материалов. Благодаря этому осуществлен контакт между пленочными слоями на обеих сторонах диэлектрической подложки. Тонкопленочные термоэлектроды защищены слоем диэлектрика 5, что позволяет проводить многократные напыления материалов на спай ТПТП без нарушения ее работоспособности. К пленочным слоям на обратной стороне подложки подсоединяют, например приваривают, проволочные выводы 6 из соответствующих термоэлектродам материалов.Предлагаемая конструкция позволяет обеспечить надежный съем информации как при напылении на отдельные позиции, так и на вращающуюся карусель, а также уменьшить ошибку при измерении температуры подложки за счет исключения некоторых паразитных термо-э.д,с. Благодаря использованию тонкопленочных термоэлектродов на основе сплавов Хромель - Копель возможно применение ТПТП для контроля за тепловыми процессами при нанесении тонких пленок на стандартном оборудовании, повышается значение термоэ.д.с. (порядка 70 - 75 мкв/С). Предлагаемая конструкция позволяет также осу ществить контроль за поверхностной температурой в диапазоне до 500 С в вакууме (более высокие температуры не исследовались) и контролировать быстротекущие тепловые процессы в ат46 И 99 Предмет изобретения Составитель И. Рывкина дактор Н. Вирко Техред А. Камышникова Корректор Л. ДенисоваПодписиССР Изд.625 Тираж сударственного комитета Советапо делам изобретений и открыт Москва, )К.35, Раушская наб., д. 740Министрий4/5 аказ 1609/13ЦНИИП Типогпафия, пр. Сапунова,мосферной среде, при умеренных температурахпорядка 200 С. Тонкопленочная термопара, содержащая двапленочных термоэлектрода и защитный слой,напыленные на диэлектрическую подложку с отверстиями, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения инерционности, термоэлектроды нанесены на обе стороны подложки и соединены посредством напыленных внутренних стенок отверстий в подложке, причем спай образован на одной стороне подложки,

Смотреть

Заявка

1896185, 23.03.1973

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8751

НАШИВАНКО ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01K 7/02

Метки: термопара, тонкопленочная

Опубликовано: 05.04.1975

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-466399-tonkoplenochnaya-termopara.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Тонкопленочная термопара</a>

Похожие патенты