Сероусов

Номер патента: 1690512

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Сероусов, Черный

МПК: H01L 21/76

Метки: диэлектрической, изоляцией, структур

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СТРУКТУР ИС С ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ, включающий формирование в кремниевой подложке изолирующих канавок, создание диффузионной области под "скрытый слой", формирование изолирующей пленки оксида кремния, нанесение слоя порошка ситаллового стекла, соединение кремниевой подложки со стороны изолирующих канавок с дополнительной подложкой, на поверхности которой сформированы пленка оксида кремния и слой ситаллового стекла, термообработку при температуре кристаллизации ситаллового стекла и удаление материала кремниевой подложки до вскрытия дна изолирующих канавок, отличающийся тем, что, с целью снижения трудоемкости за счет сокращения количества технологических операций и повышения выхода годных за счет увеличения прочности...

Номер патента: 2002341

Опубликовано: 30.10.1993

Автор: Сероусов

МПК: H01L 21/76

Метки: диэлектрической, изоляцией, интегральных, структур, схем, элементов

...счет продуктов газовыделения и, следовательно выхода годных структур.В предлагаемом способе получения структур для интегральных схем с диэлектрической изоляцией элементов, включающем механическую обработку подложек кремния, формирование на поверхности монокристаллической подложки рельефа с углублениями и скрытого слоя, формированиеслоя диоксида кремния толщиной, большей глубины рельефа, соединение подложек между собой, термообработку под давлением и вскрытие областей монокристаллического кремния, после формирования слоя поликристаллического кремния на соединяемые стороны наносят дополнительный слой диоксида кремния и соединительный слой толщиной 5-95,4 от глубины рельефа подложки следующего состава, мас,Д:Оксид бора 3-5Порошок...

Номер патента: 2002340

Опубликовано: 30.10.1993

Автор: Сероусов

МПК: H01L 21/76

Метки: диэлектрической, изоляцией, интегральных, структур, схем, элементов

...диоксида кремния толщиной, большей45 глубины рельефа, соединение подложекмежду собой, термическую обработку поддавлением и вскрытие областей монокристаллического кремния, после формирования слоя поликристаллического кремния50 толщиной на 5-100% больше глубины рельефа на соединяемые стороны наносят соединительный слой толщиной 5-95% отглубины рельефа подложки, следующего состава, мас,%:55 Оксид бора 3-5,Спирт 97-95а термообработку проводят в азотной средес расходом азота(5,6-83) х 10 м Ус,Применение раствора оксида бора указанного состава в качестве основы соедини 2002340тельного слоя позволяет избежать высокоточной полировки кремниевых пластин, необходимости удалять наружный слой полировки и фаску, образующуюсяпри полировке по...

Номер патента: 1340647

Опубликовано: 30.09.1987

Авторы: Кузьмицкий, Петровец, Сероусов

МПК: A01F 25/08

Метки: активным, вентилированием, досушивания, сена

...ственнов резервуар, ччто способствует внесению основной дозы консерванта на заключительном этапе до ушос ивдния непо -15 средственно перед складированиемкорма. 1 ленка 9 предохраняет корм отатмосферных осадков, аа также способствует удержанию паров консерванта,что усиливает консервирующий эффект. Установка для досушинания сенаактивным вентилированием, дсо е жащаякаркас, вентилятор, соединенныи с 25 резервуаром для консерванта, о т л ич д ю щ а я с я тем, что, цс ельюповышения равномерности насыщенияносителя (воздуха) парами консервантд и эксплуатационной надежности, 30 Резервуар для консервантананта снабженприспособлением для введения консернднтд, выполненным н виде жалюзи,одна иэ осей которых соединена посредстном рычага с...

Номер патента: 166630

Опубликовано: 01.01.1964

Автор: Сероусов

МПК: E21B 31/00

Метки: 166630

...кулаку, который при натяжении отводит последний от тела извле каемой трубы.На фиг, 1 схематически показана труболовге; на фиг. 2 - кулак труболовИз ожд значена дл ет изоор ни лекаемой из скважины трубы 1 12 спускают хомут 3 с кулаком 4,на оси 5. После спуска на нужна верхние концы штанг ставитзакрепляемая гайками 7,у подводят балку 8 и домкратамают захваченную трубу. Приак заклинивается в тело трубы,Подписная группака в скважинки.Внутрь извна штангахповоротнымную глубинуся планка 6,Под планкми 9 подниподъеме кул Для освобождения труболовки применяется трос 10, который поднимает кулак и выводит его из контакта с извлекаемой трубой. Кулак выполнен из щек 11, вкладыша 12 и проушин Описанная труооловка прработы в мелких скважинах Труболовка...