Вакуумметр-течеискатель

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ п 1 44759 Союз Советских Социалистических Республик(51) М. Кл, б 011 2134 Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретенийи открытий(088.8) ата опубликов ия описания) ВАКУУММЕТР-ТЕЧЕИСКАТЕЛ обеспечить одноврерциального давления газа и общего давлеИзобретение относится к ооласти вакуумной техники и может быть использовано для одновременного измерения общего давления га. за в системе и парциального давления электроотрицательного газа, а также как индикатор негерметичности вакуумных приборов и объектов при использовании в качестве пробных веществ газов, склонных к образованию отрицательных ионов (электроотрицательных газов).Известные вакуумметры, содержащие магнитный электроразрядный манометр, включенный в измерительную схему, не позволяют одновременно измерять общее давление в системе и парциальное давление электроотрицательного газа.Цель изобретенияменное измерение паэлектроотрицательногония газа в системе.Это достигается тем, что в вакуумметре манометрический преобразователь, содержащий цилиндрический анод и катод, снабжен вторым анодом, выполненным в виде сетчатого цилиндра, размещенным внутри цилиндрического анода, при этом в цепь сетчатого анода или катода включен регистратор тока положительных ионов, а в цепь цилиндрического анода - регистратор тока отрицательных ионов Введение сетчатого электрода (анода) позволяет отделить электронную компоненту от компоненты отрицательных ионов при движении общего отрицательного заряда к цилинд рическому аноду путем воздействия магнитного поля на отрицательно заряженные частицы, имеющие одинаковую энергию, но разные массы, Поэтому величины токов, приходящих на разные электроды, дают возмож- О ность судить об общем давлении газа и парциальном давлении электроотрицательных газов.На чертеже изображен предлагаемый вакуумметр-течеискатель.5 Рабочее пространство газового разрядапредставляет собой камеру между катодом 1 и сетчатым анодом 2. За сетчатым анодом 2 расположен цилиндрический анод 3. Вся система помещается в корпус 4 и находится в 20 магнитном поле магнита 5, Электроды и корпус 4 выполнены из немагнитного материала.На катод 1 от источника питания 6 подается отрицательное напряжение. Сетчатый анод 2 и цилиндрический анод 3 находятся под по тенциалом земли. Ток в цепях анодов 2 и 3измеряется с помощью регистраторов 7 и 8.Предлагаемый вакуумметр-течеискатель работает следующим образом.При попадании газовой смеси или газа в 30 пространство разряда между катодом 1 и447591 Вакуумметр-течеискатель, содержащий манометрический преобразователь, состоящий 5 из цилиндрического анода и катода, которыеразмещены в магнитном поле, и электрическую схему измерения с регистратором тока положительных ионов, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью одновременного измерения 10 парциального давления электроотрицательного газа и общего давления газа в системе, в нем преобразователь снабжен вторым анодом, выполненным в виде сетчатого цилиндра, размещенным внутри цилиндрического анода, 15 при этом в цепь сетчатого анода или катодавключен регистратор тока положительных ионов, а в цепь цилиндрического анода - регистратор тока отрицательных ионов,20 где В - магнитная индукция (тл);У - разность потенциалов, проходимая 35электроном при попадании в пространство сетка-анод (в);и - масса электрона (кг);е - заряд электрона (к).Измеряя ток в цепи цилиндрического анода 40 3, можно судить о наличии в газовой смеси тримеси электроотрицательного газа, о его парциальном давлении. Измеряя ток в цепи катода и сетчатого анода 2, можно судить об общем давлении в системе, Вакуумметр-тече искатель может определять величину давления электроотрицательного газа и тогда, когда молекулы этого газа попали в рабочий объем извне, например, через течь,ь О. Полсв В. Рыбаков орректор Е. Хмелева Заказ 15 51 1 ЦИзд. М 65 1 ПИ Государственного по делам изо Москва, Ж-З 5, Тираж. 760смите-.а Совета Министроетений и открьтийРаушская наб., д. 4,5 испо Типография пр Сапунова,сетчатым анодом 2 образуются положительные ионы, отрицательные ионы (сли имеются газы, склонные к образованию отрицательных ионов) и электроны. Положительные ионы движутся под действием электрического поля к катоду 1 (на траекторию их движения магнитное поле практически не действует) и создают в его цепи ток. Электроны и отрицательные ионы движутся к сетчатому аноду 2. На траекторию движения отрицательных ионов магнитное поле тоже действует слабо, а траектория движения электронов под действием магнитного поля искривляется значительно (имеет вид циклоиды). Часть этого общего потока отрицательно заряженных частиц, определяемая проницаемостью сетчатого анода 2, попадает в пространство между сетчатым анодом 2 и цилиндрическим анодом 3. Так как в этом пространстве отсутствует электрическое поле, то электроны и отрицательные ионы движутся с теми скоростями, которые они приобрели между катодом 1 и сетчатым анодом 2. Под действием магнитного поля электроны возвращаются на анод 2, а отрицательные ионы достигают цилиндрического анода 3. Таким образом, осуществляется разделение электронной компоненты от потока отрицательных ионов. Расстояние Й между сетчатым анодом 2 и цилиндрическим анодом 3 должно быть Ссстапите едактор О. Степина Техред