Микроскоп совмещения
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(и) 440637 Союз Советских Социалистицеских Республик. свидетельства 51) М. Кл, С 02 Ь 21/О 22) Заявлено 31.07,72 (21) 1815646/18 аявкис присоединени 32) Приоритет Гасударственныи камитеСавата Министрав СССР,аа делам изабретанийи аткрытий 2(088 Опубликовано 25,08) МИКРОСКОП СОВМЕЩЕНИЯ распооси, и и плос ка 7 а сстояние глубину ное наосимой ленные в наической зазора ластинени редмет и ий объекем, что, с объектов, разнесень оптичеделитель виде двухых пласптической ю перемер,ном к оп 1Изобретение относится к микроскопии и предназначено для совмещения (по реперным знакам) фотошаблона с пластинкой кремния при изготовлении микросхем в микроэлектронной промышленНости.5Известные микроскопы, содержащие объектив и окуляр, не обеспечивают необходимой точности и эксплуатационных удобств. Так как при совмещении наблюдатель должен одновременно видеть плоскости фотошаблона и плас тины, то величина зазора между ними не должна превышать глубины резкости микроскопа, что ограничивает выбор рабочих увеличений,Предлагаемый микроскоп отличается от из вестных тем, что за объективом установлен делитель светового пучка, выполненный в виде двух плоскопараллельных светоделительных пластин, расположенных под углом к оптической оси, и установленной с возможностью пе ремещения в направлении, перпендикулярном к оптической оси, призмы.Это позволило одновременно ,наблюдать объекты, расположенные в плоскостях, разнесенных на некоторое расстояние вдоль оптиче ской оси.На чертеже представлена принципиальная схема предлагаемого микроскопа совмещения.Микроскоп содержит объектив 1, окуляр 2 и делитель светового пучка, выполненный в 30 виде двух плоскопараллельпых полупрозрачных светоделительных пластин 3 и 4 ложенных под углом 45 к оптическо прямоугольной призмы 5. В предметно кости 6 находится кремниевая пласти в плоскости 8 - фотошаблон 9. Ра между плоскостями 6 и 8 превышает резкости микроскопа.Микроскоп обеспечивает одновремен блюдение плоскостей 6 и 8 за счет в делителем разности хода лучей в разд ветви,Смещением прямоугольной призмь правлениях, перпендикулярных к опт оси, можно регулировать величину между фотошаблоном и кремниевой п кой. Микроскоп совмещения, содержащтив и окуляр, отличающийся тцелью одновременного наблюдениярасположенных в двух плоскостях,ных на некоторое расстояние вдолской оси, за объективом установленсветового пучка, выполненный вплоскопараллельных светоделптельнтин, расположенных под углом к ооси, и установленной с возможностьщения в направлении, перпенднкулятической оси, призмы,Редактор Т, Иванова Заказ 191 одписн ИИП Типография, пр. Сапунова,Изд. М 241сударственного ко по делам нзобре Москва, )К, Ра Тираж 537итета Совета Министров ССений и открытийшская наб., д, 45
СмотретьЗаявка
1815646, 31.07.1972
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1705
АЛТУХОВ ВИТАЛИЙ СЕМЕНОВИЧ, КАРЛИН ЮРИЙ ОЛЕГОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G02B 21/00, G02B 21/18, G02B 27/40
Метки: микроскоп, совмещения
Опубликовано: 25.08.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-440637-mikroskop-sovmeshheniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Микроскоп совмещения</a>
Предыдущий патент: Зеркально-линзовый компенсатор для контроля качества астрономических зеркал крупных телескопов
Следующий патент: Оптическая система эндоскопа
Случайный патент: Устройство для освещения рабочей зоны в герметических камерах