Устройство для подачи порошкообразных материалов в испаритель

Номер патента: 438727

Авторы: Готра, Нашиванко, Родионов

ZIP архив

Текст

(32) Приоритет осударственный комитетСовета Министров СССРпа делам изобретенийи открытий) Заявител УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДАЧИ ПОРОШКООБРАЗНЫХ МАТЕРИАЛОВ В ИСПАРИТЕЛЬ ет изобретения шкообразныхщее бункер, кером, порводе, и лоцелью осуматериалов е, трубопростиями разей, причем трубопровои,Изобретение относится к области вакуумного напыления материалов и предназначено для подачи порошкообразных материалов в испаритель при нанесении пленочных,покрытий и получении пленочных структур интегральных микросхем.Известно устройство для подачи порошкообразных материалов в испаритель, содержащее бункер, трубопровод, соединенный с бункером, поршень, расположенный в трубопроводе, и лоток. Однако оно не осуществляет напыление нескольких материалов в едином технологическом цикле.Изменение марки исходного материала вызывает необходимость во вскрытии вакуумной рабочей камеры, смене типа испарителя и размеров горловины бункера,Цель изобретения - осуществление напыления различных материалов в одном технологическом процессе.Это достигается тем, что трубопровод снабжен цилиндром с отверстиями различного диаметра по образующей, причем цилиндр расположен коаксиально трубопроводу и кинематически связан с бункером.На чертеже представлено устройство.Устройство состоит из бункера 1, трубопровода 2, поршня 3, лотков 4, цилиндра 5 с отверстиями 6 различного диаметра по образующей. Цилиндр 5 расположен коаксиально трубопроводу 2 и механической передачей 7 связан с бункером 1. Испарители 8 укрепляются на турели 9, кинематически связанной с 5 бункером.Устройство работает следующим образом.При подводе на рабочую позицию испарителя 8 цилиндр 5 одновременно с бункером 1 поворачивается. При этом отверстие 6, со ответствующее напыляемому материалу наповерхности цилиндра 5, совпадает с отверстием бункера 1. Определенная часть материала, находящегося в одной из секций бункера, высыпается в трубопровод 2 и поршнем 3 15 выталкивается в один из лотков 4, подающихматериал к испарителю 8. Устройство для подачи поро 0 материалов в испаритель, содержа трубопровод, соединенный с бун шень, расположенный в трубопро ток, отличающееся тем, что, с ществления напыления различных 5 в одном технологическом процесс вод снабяен цилиндром с отвер личного диаметра по образующ цилиндр расположен коаксиально ду и кинематически связан с бункеставитель Л. Анисимова едактор О. филиппова Техред 3. Тараненко Тираж 875Совета Министров Си открытийя наб., д. 4/5 аказ 3707/11ЦНИИ Подписное Типография, пр. Сапунова, 2 Изд. Мо 128осударственного комитет по делам изобретений Москва, Ж, Раушск ректоры: Д. Котова и 3. Тарасова

Смотреть

Заявка

1814447, 24.07.1972

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8751

НАШИВАНКО ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ, РОДИОНОВ ВАЛЕРИЙ ЕВГЕНЬЕВИЧ, ГОТРА ЗИНОВИЙ ЮРЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: C23C 13/08

Метки: испаритель, подачи, порошкообразных

Опубликовано: 05.08.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-438727-ustrojjstvo-dlya-podachi-poroshkoobraznykh-materialov-v-isparitel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для подачи порошкообразных материалов в испаритель</a>

Похожие патенты