Ячейка для эллипсометрических исследований границы раздела фаз при протекании на ней электрохимических и адсорбционных процессов

Союз Советских Социалистическим Республик,Кл, С 01 Я 21,40 1796465,26-25 с присоединением заявк 23) Приоритет -Государственный комитет Совета Министров СССР оо делам изобретенийи открытий. Опенкин, 3. И, Кудрявцева, И. А, Анисимов и Н. А. Шумилова Институт электрохимии АН СССР(54) ЯЧЕЙКА ДЛЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХССЛЕДОВАНИЙ ГРАНИЦ РАЗДЕЛА ФАЗ ПРИРОТЕКАНИИ НА НЕЙ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИХИ АДСОРБЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ ета оп- металю лля ра ти чисть ячеика, на фиг. еменных ских иотоИзобретение относится к оптическим поляризационным измерениям тонких покрытий,пленок, переходных слоев в изолированном отокружающей среды пространстве, в жидкостяхили газах при определенной температуре.Ячейка может быть использована для изучения адсорбционных и коррозионных процессов на поверхности твердого тела, в частностидля одновременных исследований состоянияповерхности металлов эллипсометрическим иэлектрохимическим методами,Известны ячейки для оптических измерений, содержащие корпус и неподвижные оптические окошки.Предлагаемая ячейка отличается от известных тем, что конструкция ее оптическихокошек обеспечивает возможность юстировкиокошек относительно луча света. Юстируемыеоптические окошки закрепляются в тефлоновых сферах, поворот которых в сферическихвкладышах корпуса осуществляется винтами,что позволяет проводить оптические измеренияпри изменении угла падения на образец впределах от 50 до 85 в процессе проведенияопыта, например при одновременных электрохимических и эллипсометрических измерениях.Такая конструкция оптических окошекячейки позволяет устранить паразитную поляризацию света и лает возможность получать дополнительную информаци сч тических констант поверхнослов и пленок на ней.На фиг. 1 изображена оптическая 5 разрез в горизонтальной плоскости;2 - оптическая ячейка для олноврэллипсометрических и электрохимичеследований, общий вид.В корпус оптической ячейки, изготовлено ный из тефлона, запрессованы тефлоновыевкладыши, внутренняя поверхность которых представляет собой сферу. Во вкладыш вставлен тефлоновый держатель оптических окошек 1, наружная поверхность которого 15 сфера того же радиуса, что и сферическая поверхность вкладыша.Сферические поверхности держателя ивкладыша притерты друг к другу, что обеспечивает герметичность. Держатель закрепляет.20 ся во вкладышах с помощью кольца 2 из пержавеющей стали и четырех винтов 3. Конструкция головки винтов позволяет устанавливать кольцо с любым наклоном, что требуется при юстировке. В держателях закреплены оптические плоскопараллельные стекла н с помощью вкладыша и винтового кольца.Такое крепление кольца полностью обеспечивает герметичность, Между корпусом ячейки и кольцом оставляется зазор б, к З 0 рый позволяет изменять углы падения светаЛ4374 2 О Составитель В. Траут ехред А. Камышникое ктор В. Гутма Подписно Козло Реда 86 Тираж 110го комитета Совета Ми зобретений и открытий , Раушская наб., д. 4/5 быстров Тип. Харьк. фил. пред. Патен па рабочую поверхность в нужном диапазоне.Ячейка устанавливается на столик эллипсометра и с помощью его автоколлиматоров оптические окошки выставляются перпендикулярно оси прибора при желаемом угле падения на образец, Юстировка и установка оптических окошек под нуиным углом осуществляется с помощью винтов 3, которые позволяют установить сферический держатель окошек в любом из положений, которое позволяет зазор 5. В крышке ячейки вмонтированы электрод сравнения 6, вход 7 и выход 8 инертного газа, В корпусе ячейки сделаны выводы для рабочего 9 и вспомогательного 10 электродов. Заказ 540/1408 Изд,ЦНИИПИ Государственно по делам Москва, Ж.ЗФормула изобретения Ячейка для эллипсометрических исследований границы раздела фаз при протекании 5 на ней электрохимических и адсорбционныхпроцессов, содержащая тефлоновый корпус, в который вмонтированы оптические окошки, средства для крепления исследуемого объекта, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью уст ранения паразитной поляризации и получениядополнительной информации, необходимой для расчета оптических констант, оптические окошки закреплены в тефлоновых сферах, ус тановлвнных с возможностью поворота в сфе.15 рических вкладышах корпуса с помощью винтов.