Патенты с меткой «эллипсометрических»

Номер патента: 437462

Опубликовано: 25.06.1977

Авторы: Анисимов, Кудрявцева, Опенкин, Шумилова

МПК: G01N 21/40

Метки: адсорбционных, границы, исследований, ней, протекании, процессов, раздела, фаз, электрохимических, эллипсометрических, ячейка

...1 изображена оптическая 5 разрез в горизонтальной плоскости;2 - оптическая ячейка для олноврэллипсометрических и электрохимичеследований, общий вид.В корпус оптической ячейки, изготовлено ный из тефлона, запрессованы тефлоновыевкладыши, внутренняя поверхность которых представляет собой сферу. Во вкладыш вставлен тефлоновый держатель оптических окошек 1, наружная поверхность которого 15 сфера того же радиуса, что и сферическая поверхность вкладыша.Сферические поверхности держателя ивкладыша притерты друг к другу, что обеспечивает герметичность. Держатель закрепляет.20 ся во вкладышах с помощью кольца 2 из пержавеющей стали и четырех винтов 3. Конструкция головки винтов позволяет устанавливать кольцо с любым наклоном, что требуется при...

Номер патента: 868377

Опубликовано: 30.09.1981

Авторы: Горбань, Дрозд, Поперенко

МПК: G01J 4/04

Метки: визуальной, индикации, параметров, эллипсометрических

...полюсов одной из статорных обмоток.,ЬМодулятор интенсивности света может быть размещен между фотоприемником и поляризационным элементом.На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.В устройстве имеются входная щель 1,поляриэационный элемент 2, фотоэлектронный умножитель (ФЭУ) 3, модулятор4 интенсивности света, устройство 5, вращения поляризационного элемента, роторная обмотка 6 синусно косинусного вра 2 Ошаюшегося трансформатора (СКВТ), статорные обмотки 7 и 8 синусно-косинуоного вращающегося трансформатора, тори-.зонтальный 9 и вертикальный 10 входыосциллографа.Устройство работает следующим образом,Поляризованное излучение, поступающеечерез входную щель 1 от исследуемогообъекта, прерывается модулятором 4 света. Модулированный...

Номер патента: 868491

Опубликовано: 30.09.1981

Авторы: Лызлов, Пшеницын

МПК: G01N 21/03

Метки: жидких, исследований, кювета, объектов, различных, средах, эллипсометрических

...из кварцевого оптическогостекла и плоского основания.При этом основание выполнено изкварцевого оптического стекла.На чертеже изображена предлагаемая кювета.Кювета имеет форму полусферы 1с полостью 2 со стенкой постоянноитолщины и плоским основанием 3, герметично соединенным по плоскости сторцовой частью полусферы. В верхней части полусферы может быть отверстие 4 для помещения внутрь кюветы исследуемого объекта и жидкойсреды.Выполнение кюветы сферическойформы позволяет направить луч светапод любым углом к поверхности исследуемого образца при постоянномперпендикулярном прохождении его через стенки кюветы, что позволяетменять угол падения луча и получатьтем самым необходимый объем экспериментальной информации. Герметичностьсоединения...

Номер патента: 987410

Опубликовано: 07.01.1983

Авторы: Дрозд, Поперенко, Шайкевич

МПК: G01J 4/04

Метки: измерений, приставка, спектрометру, эллипсометрических

...устанавливаемых, как правило, между осветителем и прибором. Предлагаемое изобретение позволяет сократить время спектральных и угловых эллипсометрических измерений за счет воэможности плавного изменения углов падения и отсутствия переюстировки зеркал при смене образцов, требует менее высокой квалиФикации обслуживающего персонала. Кроме того, предлагаемое изобретение повышает фондоотдачу установленных на предприятиях и в лабораториях отечественных и зарубежных одно- и двухлученых спектральных приборов за счет возможности их широкого использования без каких-либо конструктивных доработок еще и в эллипсометрических измерениях, которые до настоящего времени реализуют более трудоемким путем на оснбве других приборов - гониометрон, редко...

Номер патента: 1065697

Опубликовано: 07.01.1984

Авторы: Дрозд, Поперенко, Шайкевич

МПК: G01J 4/04

Метки: визуальной, индикации, параметров, эллипсометрических

...для визуальной инди кации эллипсометрических параметров полвриэованного света, содержащее оптически связанные входную щель, поляризатор, двоякопреломляющую призму и по ходу каждого иэ двух расщеп" ленных ею лучей Фотоприемники, выходы которых подсоединены соответственно к горизонтальному и вертикальному входам осциллографа, щель, поляризатор и двоякопреломляющая приз. ма расположены последовательно по ходу луча, поляризатор снабжен уст ройством для его вращения, а между выходами Фотоприемников и горизонталь" ным и эертикальным входами осциллографа расположен коммутатор элект-, рических сигналов, механически свя занный с устройством вращения поляризатора.На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.Устройство содержит входную...

Номер патента: 1288558

Опубликовано: 07.02.1987

Авторы: Елинсон, Ковалев

МПК: G01N 21/21

Метки: измерений, эллипсометрических

...Ы и с1 (калибровочный коэффициент) устанавливают с помощью поворота поляризатора 2 и переключателя 3 поляризации. Длительности измеряемых импульсов на фотоприемнике и промежутки между ними равны.Главный угол падения М, определяют по минимуму сигнала на частоте первой гармоники о 3 после анализатора с азимутом , Далее изменяют с помощью, например,.Фарадеевской ячейки или совместного поворота поляризатора 2 и переключателя 3 поляризации азимуты поляризации до значенийи с с 3 2 с ( с(з+ - Ы.,), при которых снова наблюдают минймум на частоте первой гармоникиц 1 , и отсюда определяют эллипсометрический параметр Ч из соотношения 88558 гПриведем конкретный пример, отображающий погрешности измерений поизвестному и,предлагаемому...