Номер патента: 421956

Авторы: Алена, Вильдфангс, Эриньш

ZIP архив

Текст

ЬСЕерэнгн ОП ИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ421956 Союз СоеетекнюСоцналнотичжкихе еееубпик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(32) Приоритет -Опубликовано 30.03.74. Бюллетень12Дата опубликования описания 19.11.74 51) М.Кл. 6 01 г 312 осударстаенный номнт Совета Миннстрае ССС по делаы нХобреенийи открытий(72) Авторы изобретения Э, П, Эриньш, О. К. Альена и 3. Ф, ВильдфангсФизико-энергетический институт АН Латвийской С 1) Заявител) ИЗМЕРИТЕЛЬНЫИ ЭЛЕМЕНТ предлагаемыи изпоперечное сечеИзмерительный параметров полупр содержащий катуш югЧийся тем, что, с тельности, вокруг к положен кольцевой к одному из вывод определения материалов ости, от.гича ения чувстви тивности рас дсоединенньпиндчктивно лемент для водниковых у индуктивн целью повыш тушки ипч 1 к электрод, по в катчшки лагаемом ушки инэлектрод, ов катушИзобретение относится и измерительным элементам (датчикам) и может быть использовано для бесконтактного определения свойств полупроводниковых структур с помощью высокочастотного электромагнитного поля.Известные измерительные элементы для измерения толщины металлических покрытий, толщины и удельного сопротивления полупроводниковых материалов дают удовлетворительные результаты при изучении сравнительно низкоомных полупроводников в диапазоне частот от десятков килогерц до нескольких десятков мегагерц, но мало эффективны при изучении высокоомных полупроводниковых материалов из-за низкой чувствительности.Для повышения чувствительности необхо. димо увеличить частоту до 200 - 300 Лги, однако с повышением частогы увеличивается влияние на результаты измерения собственной емкости катушки.Цель изобретения - повышение чувстви;ельности измерительного элемента. Цель достигается тем, что в пре измерительном элементе вокруг ка дуктивности расположен кольцевой подсоединенный к одному из вывод ки индуктивности. На чертеже изображенымерительным элемент и егоние.Элемент содержит катушку индуктивности 5 1 и кольцевой электрод 2, подсоединенный кодному из выводов катушки индуктивности.Измерительный элемент подсоединяют кгенератору сверхвысокой частоты. При поднесении к измерительному элементу измеряемо- О го образца изменяются составляющие импеданса измерительного элемента. По этим изменениям определяют контролируемые параметры.Описываемый измерительный элемент по- Б зволяет увеличить измеряемый диапазонудельного сопротивления,Предмет пзобрстени421956 Составитель 3. С, ЧелноковТехред Т. Курилко едактор И. Орлова ректор Л. Орлова аказ 442 писное ЦНИИП в СС ОТ, Загорский це Изд. Мо 1438 Тираж 678 осударственного комитета Совета Мнннс по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5

Смотреть

Заявка

1685436, 23.07.1971

Э. П. Эриньш, О. К. Альена, Ф. Вильдфангс Физико энергетический институт Латвийской ССР

МПК / Метки

МПК: G01R 31/265, H01L 21/66

Метки: измерительный, элемент

Опубликовано: 30.03.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-421956-izmeritelnyjj-ehlement.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Измерительный элемент</a>

Похожие патенты