Вильдфангс

Номер патента: 421956

Опубликовано: 30.03.1974

Авторы: Алена, Вильдфангс, Эриньш

МПК: G01R 31/265, H01L 21/66

Метки: измерительный, элемент

...структур с помощью высокочастотного электромагнитного поля.Известные измерительные элементы для измерения толщины металлических покрытий, толщины и удельного сопротивления полупроводниковых материалов дают удовлетворительные результаты при изучении сравнительно низкоомных полупроводников в диапазоне частот от десятков килогерц до нескольких десятков мегагерц, но мало эффективны при изучении высокоомных полупроводниковых материалов из-за низкой чувствительности.Для повышения чувствительности необхо. димо увеличить частоту до 200 - 300 Лги, однако с повышением частогы увеличивается влияние на результаты измерения собственной емкости катушки.Цель изобретения - повышение чувстви;ельности измерительного элемента. Цель достигается тем,...