Способ ориентации микроминиатюрных деталей

Номер патента: 420016

Авторы: Иванов, Огнев, Сальников

ZIP архив

Текст

ОПИС ИЗОБРЕ Н И НИ иалистическихРеспублик АВТОРСКОМУ СВ ЕЛЬСТ(51) л, Н 01/ 7/64 с присоединением заявк 2) Приорю осударственный комнтеСовета Министров СССРоо делам иэооретенийн открытий Опубликовано 15.11 1.1974. Бюллетень Ъ(53) Ъ ДК 621.328(088.8 Дата опубликования описан 974 2) Авторы изобретени А, А. Ивано(54) СПОСОБ ОРИЕНТАЦИИ МИКРОМИНИАТЮРНЪХ ДЕТАЛЕЙ Изобретение относится к усовершенствованию технологического оборудования для производства полупроводниковых приборов, в частности к способу ориентации микроминиатюрных деталей, например полупроводниковых кристаллов.Известен способ ориентации микромпниапорпых деталей сжатым воздухом, образующим прослойку между поверхностя ми дсталей и опорной плоскостью из пористого материала; воздух подается под опорную плоскость с давлением, подобранным из условия взвешенного состояния деталей, обращенных к опорной плоскости большей поверхностью, при этом опорной плоскости сообщают направленные гармонические колебания. Известен также способ ориентированной раскладки кристаллов в кассеты, который предусматривает вакуумное крепление кристаллов прн вибрационной ориентации их в трафарете,Общим недостатком известных способов является возможность повреждения опорных поверхностей деталей при вибрационном перемещении, а также невозможность групповой ориентации деталей со слаоо выраженной асимметрией формы.С целью исключения перемещения деталей в процессе групповой ориентации и избежания при этом их повреждения, ориентируемые детали помещают между двумя вакуумными присосами с опорными плоскостями, выполпенными из пористого материала, затем создают вакуум, достаточный для удержания ориентируемых деталей, обращенных к опорным плоскостям большей поверхностью, и раз водят вакуумные присосы с однозначно ориентированными деталями на некоторое расстояние.Чертеж иллюстрирует предлагаемый способориентации микроминиатюрных деталей.10 Герметичная камера 1 вакуумного присосаимеет опорную плоскость 2, выполненную в виде крышки из микропористого материала, Камера снабжена штуцером 3, через который она сообщается с вакуумной системой. Ори ентируемые детали 4 помещают на опорнуюплоскость 2, поры которой создают систему микросопел, через которые отсасывается газ из окружающей среды, образуя равномерное пневматическое палс на опорной плоскости.20 При этом величина вакуума выбирается достаточной для удержания деталей на опорной поверхности вакуумного присоса в один слой.Затем лишние детали сбрасываются, и вакуумный присос совмещают с аналогичным 25 присосом, под опорной плоскостью 2 которогосоздан вакуум, достаточный для удержания деталей, обращенных к ней большей опорной поверхностью. Затем разводят вакуумные присосы, на которых остаются однозначно ориен- ЗО тированные детали, обращенные большей поверхностью к присосам.420016 Составитель Ю. ЦветковК. Шанаурова Техред Т. Миронова 1(орректор М. Лейзерман Реда Заказ 1853/10 Изд.1373 ЦН 11 ИПИ Государственного ко по делам изобрет Москва, Ж, РауТираж 760вета Министраткрытий ПодписиССР тетя ний ишская д. Типография, пр, Сапупо Разделение деталей происходит за счет разности в усилиях присасывания, возникающей на опорных поверхностях деталей, которая пропорциональна разности площадей этих поверхностей.Питание обоих присосов осуществляется от общей вакуумной системы, при этом давление может синхронно изменяться в обоих присосах при неизменной разности перепадов давлений,Предмет изобретенияСпособ ориентации микроминиатюрных деталей со слабо выраженной асимметрией формы, например полупроводниковых кристаллов, заключающийся в использовании действия вакуума, отличающийся тем, что, с целью исключения перемещения деталей в процессе 5 групповой ориентации и избежания при этомих повреждения, ориеитируемые детали помещают между двумя вакуумными присосами с опорными плоскостями, выполненными из пористого материала, затем создают Вак 1 ум, 10 достаточный для удсрканин деталей, обращенных и опорным плоскостям ббльшей поверхностью, и разводят вакуумные присосы с однозначно ориентированными деталями на требуемое расстояние.

Смотреть

Заявка

1793122, 05.06.1972

А. А. Иванов, В. А. Огнев, Ю. Н. Сальников

МПК / Метки

МПК: H01L 21/48

Метки: микроминиатюрных, ориентации

Опубликовано: 15.03.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-420016-sposob-orientacii-mikrominiatyurnykh-detalejj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ ориентации микроминиатюрных деталей</a>

Похожие патенты