412638

ИЗОБРЕТЕН АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬ С ависимое от авт. свидетельства - аявлено 27.12.71 ( 1730177/26-2 т Н 01 25/3 с присоединением заявкПриоритет -Опубликовано 25,01.74. осударственный комитетСовета Министров СССРпо делам изооретенийи открытий Бюллетень Л 1,385.6 (088.8) ата опубликования описания 05.08,74. Авторыизобретен А розов и Е. В. Чибисов аявител СПОСОБСПИРАЛЬНОЙ ЗАМ Изобретение относится к замедляющим системам приборов СВь 1.Спиральные замедляющие структуры изготавливаются из тонкой молибденовой или вольфрамовой проволоки. Для уменьшения СВ 1 потерь проволока предварительно покрывается хорошо электропроводящим слоем металла (серебро, медь), после чего из нее навивкой на соответствующем корне изготавливается спираль. Перед серебрением проволока очищается от аквадага путем электрохимического травления и отжига в увлажненном водороде. Серебрится проволока в водородной печи путем протяжки через расплавленную каплю серебра. При серебрении осаждается пленка толщиной в десятые доли микрона, Вследствие различного рельефа поверхности проволоки и низкой смачиваемости молибдена и вольфрама серебро ложится неравномерно с появлением отдельных мелких капель и наплывов. Допокрытие проволоки гальваническим способом приводит к большому осаждению серебра по местам ранее образованных капель и наплывов. Для получения высокой плотности покрытия и постоянной его толщины по длине проволока после гальванического серебрения протягивается через калибровочную фильеру. При протяжке в местах наибольшей концентрации капель и наплывов происходит наибольшее уплотнение слоя серебра и соответствуюГОТОВЛЕНИЯДЛЯ 1 ОЩЕЙ СТРУКТУРЫ щее снижение пластичности молибденовой проволоки за счет ее нагартовки. Неравномерная концентрация капель и наплывов иа проволоке приводит при протяжке к различному 5 значению предела прочности на разрыв и относительному удлинению отдельных участков проволоки. При изготовлении спиральных линий замедления неравномерность механических свойств по длине проволоки приводит к 10 нарушению формы спиралей. После навивкисеребряной проволоки на специальную оправ.ку производится холодная формовка спиралей, которая приводит к дополнительной нагартовке проволоки и деформации слоя серебра.15 Для снятия внутренних напряжений серебряной проволоки и придания спирали необходимой формоустойчивости производится отжиг ее в водородной печи при температуре, близкой к температуре плавления серебра, но не более 2 О 850 С, так как в противном случае усложняется съем отожженной спирали с молибденовой оправки. Низкая температура при формовочном отжиге недостаточна для полного снятия внутренних напряжений в проволоке 25 (спираль многократно скручивается, искажается форма витков, затрудняется дальнейшая сборка высокочастотного блока прибора), Таким образом, относительно низкая температура при формовочном отжиге приводит к бра ку по формоустойчивости спиралей, а ее даже412638 Предмет изобретения 10 Составитель В. Тамарченко Техред Т, Миронова Корректор 3. Тарасова Редактор Т. Шагова Закад 293 Изд. 478 Тираж 760 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений. и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4,"5Типография24 Союзполиграфпрома, Москва, 121019, ул. Маркса - Энгельса, 14. 3незначительное превышение - к термокомпрессионной сварке внутренней поверхности витков спирали с молибденовыми траверзами формовочной оправки. Превышение температуры отжига и наличие термокомпрессиошюй сварки приводит к неизбежному отлипапию слоя с внутренней поверхности спирали, а следовательно к увеличению СВЧ потерь и ухудшению высокочастотных и вакуумных характеристик прибора,Целью изобретения является повышение выхода годных спиральных замедляющих структур эллиптической и гантелеобразной форм, снижение СВЧ потерь и улучшение вакуумных характеристик прибора за счет сокращения простого воспроизведения технологических операций при нанесении высокопроводящего слоя серебра на поверхность уже отформованной спирали. Для этого высокопроводящий плотный слой серебра, понижающий СВЧ потери и улучшающий вакуумные характеристики прибора, наносится, например, катодным распылением или распылением в высоком вакууме с последующим осаждением серебра гальваническим способом в ультразвуковом поле на предварительно отформованную (при 5 температуре формовки молибдена 1000 -1200 С) и очищенную молибденовую спиральную замедляющую структуру. Способ изготовления спиральной замедляющей структуры приборов СВЧ путем формовки спирали и нанесения на ее поверхность элек тропроводящего покрытия, отлссчающийся тем,что, с целью повышения качества приборов путем снятия внутренних напряжений на спирали и снижения СВЧ потерь, формовку спирали проводят в водороде при 1000 в 12 С, 20 наносят слой серебра в плазме тлеюгцего разряда и производят гальваническое доращивание слоя серебра в ультразвуковом поле.