410491
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 410491
Текст
ОПИСАНИ ИЗОБРЕТЕН И К АВТОРСКОМУ СВЙДЕТЕДЬСТВ Союз Советских Социалистицеских РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 06,7,1972 ( 177 4 с присо инением заявкиасударствениыи комит Совета Министров ССС во делам изобретенийи открытий Приоритет вано 05.1.1974. Бюллетень1 бликования описания 12 Х.1974 Опублик 21,327,9,0088,8) ата Авторы зобретения. Минервина, В, А, Фролов и ковлева Заявитель ковский завод электровакуумных прибо ОБЛУЧАТЕЛ СТОТНЫМ БЕЗЭЛЕКТРОДНЫМ ВЫС ИЗЛУЧАТЕЛЕМбуферным газом и рабочим элементом вместе с возбуждающим анодным контуром 2 высокочастотного генератора заключена в отражатель 3, Там они жестко закреплены. Для креп ления колбы в отражателе 3 используют резиновую трубку 4. Последний укреплен при помощи скобок.На определенном расстоянии от края отражателя жестко закреплена система зеркал 5.0 Например, для получения равномерного облучения на поверхности диаметром 40 мм расстояния между окном безэлектродного высокочастотного излучателя и освещаемой поверхностью 6 должно составлять примерно 7 - 5 10 мм, а угол наклона зеркал - 75.Фторопластовая трубка 7 используется какизолятор между отражателем 3 и возбуждающим анодным контуром 2 высокочастотного генератора,ерхнометра я колредмет изобретен Облучателстотным изл 5 форму телавысокой час кал, отл и увеличения чениемкол коча- имеет ратор у зерцелью облуически показан безэлектр одным м Облучатель, используемый, в частности, в фотолитографии (экспонировании) для производства полупроводниковых приборов, содержит подобно известным приборам этого типа безэлектродный высокочастотный излучатель, разряд в котором возбуждается и поддерживается электромагнитным полем высокой частоты.Недостатком известных приборов является весьма малая площадь равномерной облучен- ности и, в результате, малый процент получения годных изделий.Цель изобретения - увеличение пов сти с равномерным облучением до диа порядка 40 - 100 мм. Для ее достижени бу выполняют с плоским дном.При возбуждении безэлектродного разряда полем высокой частоты в излучателе с плоским дном весь объем излучателя можно заполнить газоразрядной плазмой. Цилиндрическая форма излучателя (он может быть также выполнен в виде полусферы) обеспечивает достаточно равномерную плотность излучения, а, стало быть, и равномерную облученность площадки.На чертеже схемат предлагаемый облучатель с высокочастотным излучателем.Оптически прозрачная колба 1 излучателя с ь с безэлектродным высучателем, колба котороговращения, содержащий генетоты, отражатель и системчающийся тем, что, споверхности с равномернымба выполнена с плоским дн410491 Составитель Л, Сольцедактор Н, Вирко Тсхред Т. Ускова Корректор В. Брыкси аказ 1067,6ЦНИИП ПодписноеССР ипография, пр. Сапунова,Изд. М Государствен по делам Москва, Ж
СмотретьЗаявка
1770558, 06.04.1972
МПК / Метки
МПК: H01J 65/04
Метки: 410491
Опубликовано: 05.01.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-410491-410491.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">410491</a>
Предыдущий патент: 410490
Следующий патент: 410492
Случайный патент: Способ изготовления железных шпал