Патенты с меткой «410491»

Номер патента: 410491

Опубликовано: 05.01.1974

МПК: H01J 65/04

Метки: 410491

...6 должно составлять примерно 7 - 5 10 мм, а угол наклона зеркал - 75.Фторопластовая трубка 7 используется какизолятор между отражателем 3 и возбуждающим анодным контуром 2 высокочастотного генератора,ерхнометра я колредмет изобретен Облучателстотным изл 5 форму телавысокой час кал, отл и увеличения чениемкол коча- имеет ратор у зерцелью облуически показан безэлектр одным м Облучатель, используемый, в частности, в фотолитографии (экспонировании) для производства полупроводниковых приборов, содержит подобно известным приборам этого типа безэлектродный высокочастотный излучатель, разряд в котором возбуждается и поддерживается электромагнитным полем высокой частоты.Недостатком известных приборов является весьма малая площадь равномерной...