Способ динамической градуировки манометров низкого давления

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик Зависимое от авт. св 1 Р 27/00 аявлено 23 Х.1972 с присоединением заяв ваударотвенный камите Совета Министров ССС оа делам изабретенийи открытий иорите531.787(08 Опубликовано 10.Х 11.1Дата опубликования Авторизобретени В, Кузьмин явитель ОСОБ ДИНАМИЧЕСКОЙ ГРАДУИРОВКИ МАНОМЕТР НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ2 способ представ едовательность о Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к градуировке манометров низкого давления динамическим методом. Известныи способ градуировки с помощь 1 о трех камер, последовательно соединенных через отверстия с известными проводимостями, и откачиваемых вакуумным насосом, характеризуется недостаточной точностью; кроме того, в известном способе сложен процесс градуировки.Цель изобретения - повышение точности и упрощение процесса градуировки,Это достигается тем, что вначале посредством клапана, помегценного в камере низкого давления, открывают одно из отверстий, расположенных между градуировочной камерой и камерой низкого давления, фиксируют при этом по манометру сравнения значение давления в градуировочной камере, затем закрывают это отверстие и понижают давление газа в камере с образцовым манометром до значения, при котором показание манометра сравнения станет таким же, когда отверстие было открыто, и затем, вновь открывая отверстие, понижают давление в градуировочной камере до значения, определяемого расчетом и соответствующего показанию градуируемого манометра.На чертеже представлена схема вакуумной системы, используемон в предлагаемом способе.Вакуумная система состоит из трех последовательно соединенных камер, откачиваемых насосом 1, примыкающим к одной из них - камере 2. В этой камере устанавливается самое низкое давление Р. Следующая за камерой 2 камера 3 - градуировочная - отделена от предыдущей двумя диафрагмами 4 и 4 с отверстиями, размеры и форма которого таковы, что позволяют рассчитать их проводимость У, и У 2 соответственно по известной формуле, Одну из диафрагм - 4 (У.) можно открывать или закрывать с помощью клапана 1 или задвижки) 5, находящегося в камере 2, К градуировочной камере 3, в которой устанавливается давление Р, значительно более высокое по сравнению с Р, с другой стороны через диафрагму 6 известной малой проводимости Уо присоединена последняя из трех камер - камера 7, исходное давление Ра в кс торой (значительно более высокое по сравнению с Р) измеряют образцовым абсолютным манометром 8. Градуируемые рабочие манометры (или манометрические преобразователи) 9 присоединяют к камере 3, Манометр 10 сравнения присоединен к градуировочной камере 3.Предлагаемый ляет собой следующую посл пер аций.408183 отсюда Изд269 Тираж 755 Заказ 863/12 Подписное Типография, пр, Сапунова, 2 3После предварительной откачки системы в камере образцового манометра устанавливают давление Ро, измеряемое этим манометром; при этом клапан открыт. Давление Р в градуировочной камере, фиксируемое манометром сравнения, рассчитывают по формуле:Р Р,.УУ 1+ 2Закрывают клапан. После этого в камере образцового манометра устанавливают такое давление Ро, чтобы манометр сравнения вновь зафиксировал значение Р (причем Ро (Ро и уже не может быть измерено непосредственно образцовым манометром). ТогдаР Ро.У Ро Р.ц, + и,Открывают клапан. Давление Р, фиксируемое манометром сравнения, рассчитывают по формуле:Р - Ро - Р.У 1+ 02 + гг + 2Сопоставляют расчетное значение давления Р с сигналом градуируемого манометра. Предмет изобретения Способ динамической градуировки манометров низкого давления с помощью вакуумной 5 системы, содержащей три камеры, последовательно соединенные через отверстия с известными проводимостями; камеру с относительно высоким давлением, к которой подсоединен образцовый манометр, градуировочную каме ру, к которой присоединены манометр сравнения и градуируемый манометр, и камеру низкого давления, связанную с вакуумным насосом, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения процес са градуировки, вначале посредством клапана, помещенного в камере низкого давленИя, открывают одно из отверстий, расположенных между градуировочной камерой и камерой низкого давления, фиксируют при этом по 20 манометру сравнения значение давления вградуировочной камере, затем закрывают это отверстие и понижают давление газа в камере с образцовым манометром до значения, при котором показание манометра сравнения ста нет таким же, когда отверстие было открыто,и затем, вновь открывая отверстие, понижают давление в градуировочной камере до значения, определяемого расчетом и соответствующего показанию градуируемого манометра.