Способ динамической градуировки манометров низкого давления

п 11 436253 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(32) ПриоритетОпубликовано 15.07.74. Государственный комите Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытийюллетень26 3) УДК 531,787(0 Дата опубликования описания 06.11,7(54) СПОСОБ ДИНАМИЧЕСКОЙ ГРАДУИРОВК МАНОМЕТРОВ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯИзобретение относится к области приборостроения и может быть использовано для определения метрологических характеристик рабочих манометров.Известен способ динамической градуировки манометров низкого давления, основанный на расчетном понижении (редукции) давления, происходящем при молекулярном течении газа через отверстия (или трубки) известной проводимости.Недостатком этого способа является сложность проведения градуировки, связанная как с регулировкой натекателя для установления разных значений исходного давления Рп так и с необходимостью измерять это давление для каждой экспериментальной точки.Для упрощения процесса градуировки по предлагаемому способу регистрируют (или записывают) показания градуируемого манометра в течение определенного промежутка времени, затем производят пзмерения более высокого давления, связапного известной зависимостью с давлением в градуировочной камере, образцовым манометром и, сопоставляя промежуток времени, соответствующий измеренному давлению, с промежутками времени, соответствующими упомянутому процессу регистрации показаний градуируемого манометра, определяют давление в градуировочной камере по известным зависимостям. Вакуумная система, реализующая предлагаемый способ градуировки манометров низкого давления, изображена на чертеже.Высоковакуумный насос 1 соединен с каме рой высокого вакуума 2. Эта камера соединена через диафрагму 3 известной проводимости У с градуировочной камерой 4, которая с другой стороны через диафрагму 5 также известной проводимости У, соединена с каме рой исходного давления 6. К камере исходного давления присоединены образцовый манометр 7 и натекатель 8.радуируемый манометр (или манометрический преобразователь) 9 присоединен к камере 4,15 Способ состоит (при установившемся молекулярном течении газа и равенства температур камер и при условии, что давление Р в камере высокого вакуума намного ниже давления в градуировочной камере) из следую щих операций.1. После предварительной откачки системыв камере исходного давления 6 с помощью натекателя 8 устанавливают некоторое давление Рпо.25 2. Отсчитывают сигналы градуируемого манометра 9 во времени, не производя при этом регулирования и измерения давления в камере исходного давления 6. Давление в этой камере возрастает по линейному закону (при 30 условии, что давление градуировочного газау входа в натекатель Рл намного выше давления Р, и остается постоянным) и в момент времени 1 равно;р р + А А () (1) 5 1 о где Рьо - давление в камере исходного давления в начальный момент времени о,, - объем камеры исходного давления,У, - проводимость натекателя 8 в установленном положении.3, Спустя некоторый измеренный промежуток времени измеряют давление в камере исходного давления 6 непосредственно образцовым манометром 7, Это давление Р,равно:РА АР, = Р,о +, (6 - е) (2)(5) го г 5 Подставив выражение (3) в уравнениеО,Р= - Рполучим зависимость давления РУв градуировочной камере от времени 1:Р= -Р, -(4)У- о При РьоРь Рьк давление Рь соответствующее любому моменту времени 1(11), можно рассчитать, исходя из известного значенияРьк: 4. Сопоставляют эти расчетные значения давления Р с соответствующими сигналами градуируемого манометра 9.Например, в течение 2 - 3 час давления в камерах должны возрасти при описанном способе градуировки на 2 - 3 порядка значения давления. Таким образом, измерив в кон. це процесса градуировки сравнительно высо. кое давление Рь, можно по уравнению (4) рассчитать воспроизведенные за 2 - 3 час до того весьма низкое давление Р. Необходимо только, чтобы время проведения градуировки1было намного меньше отношения - (в проУ,тивном случае в расчетное уравнение (4) потребуется ввести дополнительные поправки). Для практического осуществления способа зо 35 40 45 50 требуется также постоянное соблюдение условияАЕсли давление Р, не постоянно, а само представляет линейную функцию времени, то при аналогичных условиях давления в камерах градуировочной и исходного давления рассчитывают по формулам: р У р о (6) Тогда в течение 2 - 3 час можно охватить не менее четырех порядков величины давления.Устранение необходимости регулирования и непосредственного измерения исходного давления Р, для каждой экспериментальной точки дает возможность упростить процесс градуировки, сведя его к наблюдению временной зависимости сигналов градуируемого манометра и однократному измерению давления Р,.Предмет изобретения Способ динамической градуировки манометров низкого давления путем расчетного понижения давления в градуировочной камере, происходящего при молекулярном течении газа через отверстие известной проводимости с использованием образцового манометра, рабочий диапазон которого находится в области более высоких давлений, чем у градуируемого, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса градуировки, регистрируют (или записывают) показания градуируемого манометра в течение определенного промежутка времени, затем производят измерения более высокого давления, связанного известной зависимостью с давлением в градуировочной камере и, сопоставляя промежуток времени, соответствующий измеренному давлению, с промежутками времени, соответствующими процессу регистрации показаний градуируемого манометра, определяют давление в градуировочной камере по известным зависимостям,436253Составитель О, Полев Редактор С. Хейфиц Техред Л. Богданова Корректоры: В. Петроваи Е. Давыдкина Заказ 2964/14 Изд. М 1758 Тираж 760 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССРпо делам изобретений и открытий Москва, УК, Раушская наб., д. 415Типографии, пр. Сапунова, 2