402965
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 402965
Текст
О ПИЗОБРЕТЕНИЯ зИ С АН И Е 402965 Союз Советски Социалистических РеспубликАВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ авт. свидетельства Л" Зависимо Н ОЦ 37(26 09761(26-25) аявлено 26.Х.1971 исоединением заявки М сударстненныи камнтеавета Министров СССРо делам изобретенийи открытий иоритетубликовано 19.Х.1973. Бюллетень Лета опубликования описания 15.П 1.1974 УДК 621.385.833, Д. Городски Заявите ДЕРЖАТЕЛЬ ОБРАЗЦОВ ДЛЯ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА1Известны держатели образцов для растровых электронных микроскопов 1 РЭМ), выполненные, например, в виде цилиндров различной формы из немагнитного материала и предназначенные для исследования во вторичных электронах топографии поверхности образцов, Однако при исследовании в режиме вторичных электронов такие держатели не позволяют получить изображения глубоких пор в образцах, так как вытягивающее поле коллектора почти не проникает в эти поры и не обеспечивает сбора вторичных электронов в достаточно большом телесном угле.Для получения изображения глубоких пор в исследуемых образцах предлагаемый держатель выполнен в виде магнита, на полюсе которого закреплен образец, размещенного внутри магнитопровода с зазором.1-1 а чертеже схематически показан описываемый держатель.Образец 1 размещен на полюсе постоянного магнита 2, размещенного внутри магнитопровода 3 с зазором для прохождения первичного пучка и выхода вторичных электронов на коллектор 4. Магнитное поле, пронизывающее ниверситет им, М. В. Ломоносова немагнитный образец, создается катушкой 5подмагпичцв;пшя нли постоянным магнитом 2,составл 53 ющнм в этом случае асть магнитноицепи,5 Первнчн.и элокровный пучок облучает образец 1 н вьбивасг зторнчные электроны, Выбитые со дна или стенок глубоких пор в образце вторичные электроны шнуруются вдольсиловых лнпгй почти однородного магнитного10 поля, созданного катушкой подмагничиванияили постогпшым магнитом и пронизывающегообразец. Это обсспечиват эффективный сборвторичных электронов в большом телесномугле даже со дна глубоки пор. Затем вторпч 15 ные электроны ускоряются электрическим полем и попадают на коллектор,Предмет изобретенияДержатель образцов для растрового элект.20 ронного микроскопа, отличптощийся тем, что,с целью получения изображения глубоких порв исследуемых образцах, он выполнен в видемагнита, па полюсе которого закреплен образец, размещенного внутри магнитопровода с25 зазороз 1,Редактор А, Пейсоченко Подписное Типография, пр. Сапунова, 2 Заказ 510/7 Изд. М 2042 Тирани 780 Ц 11 ИИПИ Государствс 1 шого комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, )К, Раушская паб., д, 4/5
СмотретьЗаявка
1709761
МПК / Метки
МПК: H01J 37/26
Метки: 402965
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-402965-402965.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">402965</a>
Предыдущий патент: 402962
Следующий патент: 402966
Случайный патент: Запоминающее устройство с самоконтролем