Устройство для детектирования поверхностных волн
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 398290
Авторы: Вител, Кмита, Медведь, Электроники
Текст
Союз Советских Социалистических Республик,ф+"ф,Зависимое от авт, свидетельстваЗаявлено 26,Х 1.1971 ( 1718107/18-10)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 27.1 Х.1973. Бюллетень38Дата опубликования описания 5.П,1974 М. Кл. В 06 Ь 106Н 01/ 1500 Государственный комитет Совета Министров СССР па делам изобретений и открытийУДК 534.232(088.8) Авторь)изооретепияЗаявитель Ю. В, Гуляев, А, М. Кмита и А, В. Медведь Ордена Трудового Красного Знамени институт радиотехники и электроники АН СССРУСТРОЙСТВО ДЛЯ ДЕТЕКТИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ВОЛН2 Известны устройства для детектирования волн в пьсзодиэлектрических пластинах, недостатком которых является высокий уровень ложных сигналов из-за объемных и отраженных поверхностных волн.Для устранения ложных сигналов предлагаемое устройство содержит ез)костной зонд, размещенный на нижнеЙ грани образца, и полупроводниковую пластину с омическим контактом, соединенную диэлектрическими полозьями с верхней гранью пьезодиэлектрического образца, являющейся плоскостью распространения поверхностной волны.На чертсзке показана схема описываетОго устройства, состоящего из металлической полоски 1 (емкостной 30 нд), расположенной на ни)кнсй грани пьезодиэлектрического образца 2, и полупровочниковой пластины 3, примыкающей через создаваемый диэлектрическими полозьями 4 малый (не превыщающий одной )1 есятой длины акустической поверхностной волны) воздушный зазор к верхней грани пьезоднэлектрпческого образца 2, вдоль которой,распространяется поверхностная ультразвуковая волна. На верхней грани полупроводниковой пластины имеется омическпй контакт 5.)Припцип действия устройства основан на поперечном акустоэлектрическом эффекте на поверхностных ульз)развуковых волнах в слоистых стру ктурах пьезодэлектрик - полупроводник. Пакет поверхностных акустических волн распространяется по верхней грани пьезодиэлектрцческого образца 2. Проходя 5 под полупроводниковой пластиной 3, поверхностная волна вызывает своими элсктричсскими полями, которые проникают п приповерхностный слой полупроводника, круговь)е электрические токи в приповерхностном слое 10 последнего, появляется разность потенциаловмежду поверхностью полупроводникд, примыкающей к пьезодиэлектриескомУ Оораз 11 У 2, и Глубинных)н слояхи полупроводника, В частности, омическим контактом 5, Возникший 15 импульс напряжения, амплитуда которогопропорциональна интенсивности акустической ,волны, сниес чсрз емкость. Образованную емкостным зондом (металлической плоскои 1) и нпжнси Г 1 заныо полупроводниковои 20 пластины 3, и является продстектнровдннымсигналом поверхностной ультрдзпуковой полны. Поля 1 зтОсть этого изпу.)ьсе) зависит От типа проводимости полупроводниково 1 пластины 3.25 Паразитные обьемныс ультрдзвуковыс полны в этом случае пс гызывдют разности потенциалов между поверхностью полупроводнпка и еГО ГлубиннымИ слоями, поэтому лож- ЗО ных Сигналов не ооразуется.398200 Предмет изобретения ной зонд, размещенный на нижней грани образца, и полупроводниковую пластину с омичесмим контактом, соединенную диэлектрическими полозьями с верхней гранью пьезоди электрического образца, являющейся плоскостью распространения поверхностной волны. Составитель Г. Терехова Редактор С, Хейфиц Техред Е. Борисова Корректор Н. СтельмаИзд.1972 сударственного комитпо делам изобретени Москва, Ж, Раушс аказ 335/12ЦНИИПИ ПодписноеСССР пография, пр. Сапунова. 2 Устройство для детектирования поверхностных волн в пьезодиэлекпрических пластинах, отлича 1 ощееся тем, что, с целью устранения ложных сигналов, оно содержит емкостТираж 551Совета Министри открытийя наб., д. 4/5
СмотретьЗаявка
1718107
витель Ю. В. Гул ев, А. М. Кмита, А. В. Медведь Ордена Трудового Красного Знамени институт радиотехники, электроники СССР
МПК / Метки
МПК: B06B 1/06, H01L 41/113
Метки: волн, детектирования, поверхностных
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-398290-ustrojjstvo-dlya-detektirovaniya-poverkhnostnykh-voln.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для детектирования поверхностных волн</a>
Предыдущий патент: Сферический гидроакустический преобразователь
Следующий патент: Камертон
Случайный патент: Преобразователь временного интервала в постоянное напряжение