Способ изготовления болометра

О П И С А Н И Е 397766ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик Зависимое от авт. свидетельства я 5,0-10 Заявлено с присоединением заявки Лев Гасударственный камитет Савета Министрав СССР па делам изобретений и аткрытийПриоритетОпубликовано 17.1 Х.1973. Бюллетень М 37 ДК 535.231.62(0 убликовацця описания 29.1.197 ат Авторы зобретецця Л. С. Кременчугский, В. С. Лысенко, В. Б. Самойлов И, П. Федорченко и А. Ф, МальневЗаявител нститут физики АН Украинской СС ОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БОЛОМЕТР Изобретение относится к технологии изготовления приемников излучения - металлических болометров. Известны металлические болометры, выполненные на основе металлической пленки.Известен способ изготовления металлического болометра на основе никелевой пленки, заключающийся в следующем. Тонкий слой никеля электролитически наносят на медную подложку, заготовку разрезают на полоски нужных размеров и опускают их в раствори- тель, в котором скорость растворения меди во много раз больше, чем никеля. В качестве растворителя медной подложки используют цианистый калий. При растворении меди в этом растворителе интенсивно выделяется водород, что приводит к механическому повреждению никелевой пленки(образованию пор, надрывов). После растворения подложки на полученную таким образом в свободном состоянии никелевую пленку распылением в инертной среде наносят поглощающее покрытие - золотую чернь. Затем никелевую пленку с нанесснным на цее поглощающим покрытием присоединяют с помощью точечной сварки к держателю для получения контакта. Однако никелевую пленку получают с механическими повреждениями (поры, надрывы) из-за скручивания пленки после растворения фольги ввиду наличия остаточных внутренних напряжений в подложке, Благодаря этому никелевые пленки возможно получить толщиной це менее 0,15 - 0,5 мкм и чувствительность болометра прц такой толщине пленки 5 не превышает (10 -- 10 -вт/гц,), Крометого, поглощающее покрытие не обеспечивает равномерности спектральной характеристики в широком спектральном интервале, несмотря на то, что болометры обладают большой по стоянной времени (порядка 30 м/сск). Точечная сварка прц присоединении никелевой пленки к держателю приводит к возникновению цсомцческого контакта пленка-держатель, приводящего к избыточному шуму прц 15 прохождении тока.По предлагаемому способу чувствительныйэлемент получают путем электролитического нанесения ца отожжецную в вакууме медную фольгу, на которую предварительно наносят 20 подслой серебра. После этого медную фольгуи подслой серебра стравливают в растворе хромового ангидрида ц аммония сульфата, оставляя свободной никелевую пленку. Затем наносят золотую чернь ца никелевые пленки, 25 охлажденные до температуры це выше температуры жцлкого азота в инертной среде.Это уменьшаег толщину никелевой пленки до 0,05 - 0,07 мкм, что приводит к повышению чувствительности ц снижению постоянной вре мсни болометра, Следующим этапом при из3готовлении болометра с равномерной спектральной характеристикой и малой инерционностью является нанесение поглощающего покрытия, которым служит золотая чернь, При этом получают золотую чернь с содержанием окислов вольфрама 0,01 - 0,3 о/о, слоем с теплоемкостью, равной одной трети теплоемкости никелевой пленки. Для исключения избыточных шумов вместо точечной сварки пленку припаивают к никелевому держателю сплавов 60/о олова и 404 свинца.Предмет изобретенияСпособ изготовления болометра на основе никелевой пленки без подложки путем нане 3977664сепия никеля на медную фольгу, стравливания медной фольги, последующего нанесенияна никелевую пленку поглощающей черни иполучения контакта между никелевой пленкой5 и держателем, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности болометра,снижения его постоянной времени и получения равномерной спектральной характеристики, перед нанесением слоя никеля на медную10 фольгу ее предварительно отжигают в вакууме, наносят на нее слой серебра и после нанесения слоя никеля стравливают как меднуюфольгу, так и слой серебра, например, в растворе хромового ангидрида аммония сульфата,15 затем помещают пленку в инертную среду стемпературой не выше температуры жидкогоазота и покрывают золотой чернью, Составитель И. РывкинаРедактор О. ФилипповаТекред Т. КурилкоКорректор О. ТюринаЗаказ 44/6 Изд.18 Тираж 755 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Аосква, Ж, Раушская наб д, 4,5 Типография, пр. Сапунова, 2