Способ получения электропроводящего покрытия

4 ,.ОСНИИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 382150 Союз Соеетских Социалистических Республикетельстваависимое от авт. свиаявлено 23.1.1970присоединением за 01 Ь 19 О 414518/2 и-крите Комитет оо изобретений и ори Совете МСССР рытиь ДК 621.794,795(088,8 Опубликовано 22.Ч.1973, Бюллетень2 Дата опубликования описания 13.И 11.1973 ст Авторызобретения ужановскии и Б. М. Кругл Заявител ПОСОБ ПОЛУЧ ЕН ИЯ ЭЛ ЕКТРОП КРЫТИЯ Я Е Известен способ получения электропроводящего покрытия из микрокомпозиции металла с окислом-диэлектриком путем одновременного испарения в вакууме металла и окисла-диэлектрика (например, хрома и моноокиси кремния). Однако такой способ имеет сложную технологию.Для получения покрыгий с регулируемыми характеристиками электропроводности на по= верхности нагревостойких диэлектриков по предлагаемому способу на покрываемую по= верхность наносят смесь окислов-диэлектри= ков, одни из которых устойчивы к действию восстановительной атмосферы, а другие вос= станавливаются до металла, после чего по= крытие обрабатывают в восстановительной атмосфере,Смесь окислов получают путем гидролиза смеси легко гидролизующихся соединений на покрываемой поверхности.Способ осуществляют следующим образом.На поверхность диэлектрика (стекла, плав,- леного кварца, фарфора и т. п.) наносят слой из смеси двух или нескольких окислов путем тидролиза смеси легко гидролизующихся соединений, растворенных в спирте или другом летучем растворителе, одни из которых при гидролизе образуют окисел-диэлектрик, устойчивый к восстановительной атмосфере, а другие - окисел, восстанавливающийся до металла в этой атмосфере при 400 - 1000 С.Затем покрытие обрабатывают, например, в атмосфере водорода в том же интервале температур. В результате образуется электропро водящий слой из микрокомпозиции диэлектрик - металл.Электропроводящие слои толщиной 0,01 -0,5 мклт могут быть получены. например, из раствора этилового эфира ортокремневой кис= О лоты и шестихлористого вольфрама или,пятихлористого молибдена в этиловом спирте.Вместо эфира ортокремневой кислоты может быть использован этиловый спирт ортотитановой кислоты, а также их смеси. Из этих рас творов в лабораторных условиях получаюткомпозиционные слоти состава ЯО, - %, Т 102 - Мо, 510 е - Мо, Т 10 - %, ТтО, - БтО, - Мо.Удельная поверхностная проводимость по- О лучаемых покрытий может лежать в пределах10 -- 10 - то ои - , при этом увеличение содержания окисла-диэлектрика в слое вызывает уменьшение проводимости. Прозрачность покрытий в видимой области спектра увеличи вается с повыше:.нем сопротивления слоя илежит в пределах 10 - 70%.Злектрические и оптические свойства получаемых покрытий не меняются под действием восстановительной атмосферы (водорода О и др.), по крайней мере,. до температур их382150 Составитель В. БондаренкоРедактор А. Пейсоченко Техред Г. Дворина Корректор Е. Зимина Заказ 2197/1 Изд,1524 Тираж 780 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр, Сапунова, 2 формирования (обработки в ьодороде исходного стоя смеси окислов), что особенно важно в случае их использования в,газоразрядной аппаратуре.Изобретение может быть использовано для изгоговления, пленочных резисторов различного сопротивления и получения слоев, пригодных для выравнивания градиента потенциала в вь 1 соковольтных устройствах и онятия вредных статических зарядов, а также прозрачных электропроводящих покрытий, устойчивых к действию восстановительной атмосферы,Предмет изобретения 1. Способ получения электропроводящегопокрытия из микрокомпозиции металла с окислом-диэлектриком, отличающийся тем, что, с целью полученИя покрытий с регулируемыми характеристиками электропроводности на поверхности натревосгойких диэлек триков, на покрываемую, поверхность наносятсмесь окислов-диэлектриков, одни из которых устойчивы к действию васстанавительной атмосферы, а другие восстанавливаются до ме.талла, после чего покрытие обрабатывают в 10 восстановительной атмосфере. 2. Способ по п, 1, отличающийся темчтосмесь окислов получают путем гидролиза смеси легко гидролизующихся соединений на 15 покрываемой поверхностен.