Способ изготовления электрода с нанесенной на него переключающей пленкой

О П И С А Н И Е 373769ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Соеэ Саветскнх Сацналнстнкескнк РесптблнкЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 01,1 Х.1970 ( 1472416/18-24)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 12.Ш.1973. Бюллетень14Дата опубликования описания З.И 1,1973 М. Кл. 6 11 с 11/34 Номнтет по делам изобретений н открытнУДК 681,327.6(088,8) цвете Министров СССР Авторыизобретения Е, Тайманов и а ножн икова В,"тсбавя ЙЛТЯ", ГНАЯ .1 "01 А Заявитель СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОДА С НАНЕСЕННО НА НЕГО ПЕРЕКЛЮЧАЮЩЕЙ ПЛЕНКОЙ1Известен способ изготовления электрода с нанесенной на него переключающей пленкой, резко меняющей свое сопротивление при определенных пороговых значениях напряжения, заключающийся в нагреве и испарении исходного атмосферного полупроводникового материала в вакууме с осаждением на подложку, которая выполняет роль электрода.Недостатком известного способа изготовления электрода с нанесенной на него переключающей пленкой является низкая производительность процесса нанесения пленки и низкое качество получаемого этим способом электрода.Цель изобретения - повышение производительности процесса и качества электрода с нанесенной на него переключающей пленкой.Для достиженпя указанной цели из аморфного полупроводникового материала формируют трубу, внутри которой размещают вещество электрода. Затем трубу устанавливают в индукционной печи, в потоке инертного газа нагревают проводящее вещество до полного расплавления. Из расплава вытягивают электрод, покрытый пленкой из аморфного полупроводникового материала.Предлагаемый способ включает в себя следующие операции: из аморфного полупроводникового материала формируют трубу, причем труба может быть выполненя из мелких гранул, порошка или быть сплошной; вещество электрода (например, германий, проводящее стекло, некоторые сплавы и т. д.) размещают в трубе из аморфного полупроводнико вого материала, например, халькогенидного,оксидного и т. д.; трубу устанавливают в камере, которую, в свою очередь, помещают в индукционную печь; из камеры удаляют воздух и пропускают через нее поток инертного 0 газа, например аргона или гелия.Этот поток способствует охлаждению получаемого электрода с нанесенной на него переключающей пленкой; предотвращению образования диэлектрической (окисной) пленки 5 между электродом и переключающей пленкой;предотвращению возникновения экзотермической реакции (например, вещества электрода с кислородом), повышающей температуру аморфного полупроводникового материала и 0 поэтому вызывающей его стекание, приводящее к разрывам получаемой пленки.Вещество электрода нагревают индукционным способом до полного расплавления, при этом аморфный полупроводниковый материал разогревается за счет теплопередачи и также плавится.Из расплава начинают на небольшой скорости вытягивать электрод, покрытый пленкой пз аморфного полупроводникового материала.0 Скорость литья постепенно увеличивают доРедактор Е. Семанова Заказ 1785(3 Изд. Хо 1413 Тираж 576 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, )К, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр Сапунова, 2 величины порядка сотен метров в минуту. Трубу прп этом подают в направлении вытягивания со скоростью порядка нескольких десятых долей миллиметра в минуту,В результате образуется тонкий электрод в виде проволоки, покрытый пленкой из аморфного полупроводникового материала, который наматывается на бобину.Описанный способ получения электрода с нанесенной на него переключающей пленкой обладает высокой производительностью и дает возможность получать негигроскопичные однородные переключающие пленки. Необходимо отметить, что электрод с нанесенной на него переключающей пленкой, получаемый по предлагаемому способу, универсален - он служит основным узлом разнообразных коммутирующих и запоминающих устройств. Предмет изобретенияСпособ изготовления электрода с нанесенной на него переключающей пленкой, включающий в себя операцию нагрева аморфного полупроводникового материала, образующегопленку на электроде, отличающийся тем, что,10 с целью повышения качества электрода, изаморфного полупроводникового материалаформируют трубу, внутри которой размещаютвещество электрода и в потоке инертного газанагревают это вещество до полного расплав 15 ления, а затем из расплава вытягивают электрод,