Номер патента: 371639

Авторы: Антоновский, Николаев

ZIP архив

Текст

371639 ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСоюз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства-гцкз. Кл. Н О 1( 7/68 аявлено 08.11,1971 ( 1623682/2 рисоединением заявкиКомитет по деламизобретений и открытипри Совете Министров Приорите о 22.1.1973 ДК 621.3 г 8,002(088.8) юллетень1 пу лико кования описания 17 Х.1973 а опуо Ь т"вторыобретения М. С, Антоновск икол вите ТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ СКОРОСТИ РОСТА И ТОЛЩИН ПЛЕНКИ ПРИ ВАКУУМНОМ ИСПАРЕНИИна поверхности евому резонатосл Изобретение относится к технологическому оборудованию и может быть использовано для контроля скорости роста и толщины пленки в процессе вакуумного испарения.Известные устройства для контроля скорости роста и толщины пленки состоят из кварцевого резонатора, контролирующего скорость роста и определяющего достижение заданной толщины, и заслонки, перекрывающей поток пара при достижении заданной толщины. Для снижения теплового нагрева от окружающих предметов и от испарителя кварцевый резонатор обычно помещают в охлаждаемый экранирующий корпус с отверстием для прохождения потока пара.Однако известные устройства дают значительную погрешность измерения скорости роста в начальный период нанесения пленки вследствие сдвига частоты резонатора, который происходит под действием теплового удара в момент открытия заслонки.Такой сдвиг частоты при резком изменении температуры кварцевого резонатора объясняется тем, что динамический температурный коэффициент частот ы больше статического температурного коэффициента.Цель изобретения - повышение точности измерения скорости роста пленки в начальный момент нанесения пленки,Цель достигается тем, чтоза онки, обращенной к кварц ру, установлен нагреватель, создающии тепловой поток на резонатор, равный тепловому потоку от испарителя.Предлагаемое устройство схематически по казано на чертеже.Устройство содержит кварцевый резонатор1, помещенный в охлаждаемый корпус 2 с отверстием 3, заслонку 4 для перекрытия потока пара, поступающего от испарителя б, и нагре- О ватель 6, закрепленный на поверхности заслонки 4, обращенной к кварцевому резонатору г.Устройство работает следующим образом.Заслонкой 4 перекрывают поток пара, поступающего от испарителя 5, затем включают нагреватель 6, устанавливают необходимую температуру нагревателя 6 в течение времени, необходимого для прогрева резонатора 1. Когда частота резонатора 1 стабилизируется, заслонку открывают, - происходит осаждение испаряемого вещества. По достижении заданной толщины пленки заслонка перекрывает поток пара.Применение нагревателя, установленногоВа заслонке, позволяет в несколько раз повысить точность измерения скорости роста пленок в начальный момент осаждения. Испытания показали, что при отсутствии нагревателя на заслонке практически невозможно изме- О рять скорость роста пленки на начальномучастке (10 - 100 сек), так как погрешностьЕ. Борисова Заказ 1318/2ЦНИИПИ Комитета Изд. ЛЪ 1199 Тираж 780 лам изобретений и открытий при С осква, Ж.35, Раушская наб д, 4/5 Подписное те Министров СССРТипография, пр. Сапунова, 2 измерения достигает 100%, Устройство позволяет измерять скорость роста пленки в начальный период осаждения с точностью, определяемой погрешностью измерительного прибора,Устройство для контроля скорости роста и толщины пленки при вакуумном испарении, содержащее кварцевый резонатор, помещенный в водоохлаждаемый корпус с отверстием для прохождения потока пара испаряемого вещества, заслонки для перекрытия потока пара, отличаюиееся тем, что, с целью уменьше ния тепловой погрешности кварцевого резонатора, на поверхности заслонки, обращенной к резонатору, установлен нагреватель, создающий тепловой поток на резонатор, равный тепловому потоку от испарителя.10

Смотреть

Заявка

1623682

В. Т. Николаев, М. С. Антоновский

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: всгсоюзнаи

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-371639-vsgsoyuznai.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Всгсоюзнаи</a>

Похожие патенты