Патенты с меткой «всгсоюзнаи»

Номер патента: 371639

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Антоновский, Николаев

МПК: H01L 21/66

Метки: всгсоюзнаи

...статического температурного коэффициента.Цель изобретения - повышение точности измерения скорости роста пленки в начальный момент нанесения пленки,Цель достигается тем, чтоза онки, обращенной к кварц ру, установлен нагреватель, создающии тепловой поток на резонатор, равный тепловому потоку от испарителя.Предлагаемое устройство схематически по казано на чертеже.Устройство содержит кварцевый резонатор1, помещенный в охлаждаемый корпус 2 с отверстием 3, заслонку 4 для перекрытия потока пара, поступающего от испарителя б, и нагре- О ватель 6, закрепленный на поверхности заслонки 4, обращенной к кварцевому резонатору г.Устройство работает следующим образом.Заслонкой 4 перекрывают поток пара, поступающего от испарителя 5, затем включают...