Всесоюзнаяhtrilt” •••gt; amp; . г ljamp; t nfittrlibu-it: x; ib-r s.;

Номер патента: 368777

Автор: Иностранна

ZIP архив

Текст

368777 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК ПАТЕНТУ Союз Соввтскиз Социалистическил Республик. Кл. Н 011 7150С 23 с 3/02 1349/22-1) явлено 23.7 И.1967 риоритет 20.1 Х,1966,580742, США Коенттет оо делаюбратаний и открытии Совете МинистровСССР 7:546,2 ДК Опубликовано 26.1.1973. Бюллетень9 Дата опубликования описания 24.17.1973.8) Авторизобретени Иностранец Дональд Карл Лепиа диненные Штаты Аме Иностранная фирма Заявит Вестерн Электрик Компани ИнкорпорейтедСПОСОБ ПОДГОТОВКИ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМН П ЕРЕД ХИМИЧ ЕСКИМ Н ИКЕЛ И РОВАН И ЕМ т изоб ени 15 Пред Способ подг ред химически ления в плави тем, что, с цел 20 улучшения с осуществляют ния в водном рН 8 - 10 при ние 4 - 6 мин.ности кремния пе анием путем трав е, отличающийся и поверхности для крытия с Основойобработку крем оокиси аммония с 80 - 90 С в тече отовки поверхм никелировковой кислотью активацицепления попоследующуюрастворе гидртемпературе Изобретение относится к ометаллических покрытий хибом, в частности к способакрываемой поверхности.Известен способ подготовки поверхности кремния перед химическим никелированием путем травления в концентрированном растворе плавиковой кислоты.Предложенный способ отличается от известного введением дополнительной операции активирования кремниевой пластины в растворе гидроокиси аммония, что улучшает сцепление покрытия с основой.Необходимость такой операции обусловлена тем, что часто на поверхности кремниевых пластин присутствуют одновременно фосфорои боросиликаты, которые стравливаются в плавиковой кислоте с различной скоростью, и после окончания процесса травления поверхность кремния оказывается пассивной для нанесения на нее никелевого покрытия,После травления пластины в концентрированном растворе плавиковой кислоты при комнатной температуре в течение 12 мин ее промывают и погружают на 4 - 6 мин в горячий раствор гидроокиси аммония с температурой 80 - 90 С и рН 8 - 10. Обработанную пластину высушивают на воздухе и затем повторно опускают на 3 мин в концентрированный раствор плавиковой кислоты для удаления окислов, которые могут образоваться на поверхности кремния при сушке и обработке в аммиаке. При химическом никелировании 0 кремниевой пластины, активированной в соответствии с предложенным способом, осаждает.ся высококачественное никелевое покрытие, прочно сцепленное с основой.Заказ 1098/16 Изд,248 Тираж 780 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2

Смотреть

Заявка

580742

Иностранна фирма Вестерн Электрик Компани Инкорпорейтед Соединенные Штаты Америки

МПК / Метки

МПК: H01L 21/306

Метки: ljamp, nfittrlibu-it, всесоюзнаяhtrilt, •gt

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-368777-vsesoyuznayahtrilt-gt-amp-g-ljamp-t-nfittrlibu-it-x-ib-r-s.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Всесоюзнаяhtrilt” •••gt; amp; . г ljamp; t nfittrlibu-it: x; ib-r s.;</a>

Похожие патенты