Многозондовое устройство
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 364049
Текст
ОП ИКАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Сока Советских Социдлистинсских Республик5 ф."Еа К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от явт. свидетслСтвя М 1, Н 07:68 Заявлено 05.1 Ч.1971 (ЛЪ 1643679/26-25)с присоедиисиисм заявки М -Приоритет -комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРУ;,К 621.382.003(088.8) Опубликоватто 25.Х 11,1972. ЬОГЛстеи М 4за 1973. Дата опубликования описания 19.111.1973 И, М. Глазков, А. В. Ярош, Л. И. Еп 1 фяттов, В. ф. Маелецкев:иК. С. ШуклццАвторыизобретсиия Заявитель МНОГОЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО П р е д ., . т 1: 0 т; 1 с т с 15 Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной промышленности и может быть использовано для зоцдового контроля и измерения параметров полупроводшковых приборов иа пластше и отдельиых кристаллов.Известиы зоидовые устройства, зоцдовые узлы которы., состоят из кронштейна и зоидоВых головок, которые закреплецы ца этом кронштейне; зоцдовая головка, содержащая трехкоордицатцый манипулятор, зоидодержагель и один зонд, обычно сложна ио коцструкиш и имеет большие габариты.При использоваиии этих головок зонд часто уходит с коитактирутогцих площадок во время фиксации их после выставленя; кроме того, ;-евозможио установить несколько зондов иа одиу коитактпую площадку. Для измерения тииямических параметров ИС с большой электроемкостью и ицдуктивцостью такие устрой:тва использовать невозможно.11 сль изобретеиия - упрощеиис иялядки и гстаиовки веско.ких зоидОВ ия Одиу коиттктиую площадку и обеспечение возможности измсреиия дицамических парямстрои ИС.Цел дости 1 ястс 51 Гсм, что полижиые Зоиды с несколькими колецообразцыми изгибами, иекоитактирующие концы которых выступают В виде упоров, располокецы в пазах корпуса и поджаты к фиксирующим плащ ям пружинами, причем корпус имеет неподвижные упоры, служащие В совокупцости с иодвижцыми упорами зондов для регулировки последцих.Ня фиг, 1 изображено предлагаемое много зоидовое устройство в двух проекциях с разрезами; ца фиГ. 2 изООря 51 кеи В рязре 30 кл 10 д,15 регулировки зонда ио плоскости.Миогозоцдовое устройство содержит корпус 1, зонды 2. Волиооорязиую иружицу 5, упо 1 с ры 4, и,1 яики 5, ссктйря 1, иижимиыс пииты7, маркеры б.В исходиох О,Ожеиии зоидлсжит В ия 3к 03 ис Яи,1 В 0 Г и О О б р я 3 и О й п з т ж и и с 3.Сверю Зоид ириж 1.1 ястся к ирхэкиис Виитоз I 1; ерез сектор 6 и планку 5.Регули)овку зои;1 я ВО 1,00 диияте Г. ОсуцсстВля 10 т сжятиех; ирух 1 кииь ) ио Высоте ВицГом 7. 1,51 эсг лиэовки зоидзт ио коордицяте Х ключ 9 иядеваот ця иекоит 1 ктирующи конец зоцда 2 и ия упор 4 корпуса 1 и перемещают зоид В проделиОт Вяирявлсиии. Регулировку ВО кооэдииятсО."иссВ.яют Гякже кл 10- ом 9, котор 11: о 0 мВяст ото иут 1 иекоцт 1,тиру 10 ии к 011 сц зоидяВокр Г сГО иро- Э)- толио Ос 1, исрсз 1 еця 51 тех смьм коитякти 5 ЧОИИ" КО 1 ЕИ;:О ОСИ 30 виОГозоидоис х строисГВО, сод ржти 1 ссФиг 2 Составитель Н, Островская Редактор И, Орлова Техред Ю, Баранов Корректор Т. МедведеваЗаказ 357 Изд.1080 Тпракк 406 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Загорская типография корпус с рг 1 сполоакенными В 11 ем зопдамп ОГ- лича 1 осцееся тем, что, с целью упрощения наладки и установки нескольких зондов на одну контактную площадку, подвижные зонды выполнены с несколькими коленоооразными изгиоамп и расположены на плоских пругжинах,размещенных в пазах корпуса и служащих д.и регулировки зондов по высоте, а неконтактирующие концы зондов, выступающие в виде упоров, связаны ключом с неподвижными упо зами корпуса для регулировки зондов по плосКОСТЕ 1.
СмотретьЗаявка
1643679
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Метки: многозондовое
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-364049-mnogozondovoe-ustrojjstvo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Многозондовое устройство</a>
Предыдущий патент: Способ контроля фотогравировальных устройств
Следующий патент: Полупроводниковое управляющее устройство свч
Случайный патент: Устройство для измерения энергии гамма-переходов между ядерными уровнями