Упругие направляющие для прямолинейного перемещения объекта

Номер патента: 570867

Опубликовано: 30.08.1977

Авторы: Бербасов, Стременов

МПК: G03B 7/12

Метки: объекта, перемещений

...и микроэлектронных приборов.Извсстен микроманипулятор, содержащий координатный стол, выполненный из двух частей, одна из которых установлена на шариковых опорах с возможностью перемещения 1 О во взаимно перпендикулярных направлениях горизонтальной плоскости 11.Однако в таком координатном столе отсутствует нспосредствснная передача необходимых движений объекту, установленному на 1,; предметном столике, что приводит к нсплоскостности при перемещениях объекта и делает конструкцию относительно сложной. Цель изобретения - обеспечение минимальной неплоскостности при линсйных и угловых перемещениях объскта. Это достигается тем, что устройство для перемещений объекта, преимущественно в установках для изготовления микроэлектронных изделий,...

Номер патента: 646385

Опубликовано: 05.02.1979

Авторы: Райнхард, Франк, Хельга

МПК: H01L 21/00

Метки: объектов, перемещения

...зажимов; б - при односторонном закреплении; иа фиг. 6 - варианты устройства при параллельном соединении 20 наборов упругих пластин: а - при двустороннем закреплении зажимов; б - при односторонном закреплении.Устройство для перемещениясодержит пьезоэлектрический энем643полнепцый в виде набора пл.стинок 1, зажимы 2, пружины 3, соединяющие зажимы скорпусом 4.Элемент 5 соединяет пластинки с перемегцаемым объектом. Два наружных электрода 6 и средний электрод 7 соединяютпьезоэлектрический элемент с токоподводом 8. При подаче электрического напряжения упругие пластинки пьезоэлектрическогоэлемента прогибаются в зависимости от. полярности вверх или вниз, причем возможноеперекашивание зажимов компенсируется упругим прогибом...

Номер патента: 679788

Опубликовано: 15.08.1979

Автор: Солдатов

МПК: G01B 11/00

Метки: объектов, перемещений, фотоэлектрическое

...эа отражателем 4, анализатор 6изображения н виде модулирующего диска, расположенного в фокальной плоскости объектива 2, фотоприемники 7с конденсаторами 8, усилители 9 игенератор 10 опорного напряжения,подключенный к электронной фазоизмерительной схеме, выполненной, например, н виде фазометрон 11.Анализатор изображения выполненв виде вращающегося модулирующегодиска, на который нанесены два размещенных по диаметру радиально-секторных растра (см. фиг. 2) . Образующие одного из этих растров наклоненык образующим другого под углом, равным углу наклона иэображения, обусловленного действием светоделительной пластины 3 и отражателя 4,Отражатель 4 установлен к оптической оси объектива под углом,обеспечивающим направление оси...

Номер патента: 1408148

Опубликовано: 07.07.1988

Авторы: Гудов, Диамент, Жуков, Карелин, Качанов, Мартынов, Матлахова, Сурков, Федотов

МПК: B30B 15/34, F16K 31/00

Метки: объектов, перемещения

...6 исполнительного механизма одним своим концом будет связа 55 а с Фланцем стакана, а другим коном - с стенкой корпуса 1, раэмещен-, нои со стороны, противоположной от фИксирующего элемента. Устройство работает следующим образом.При подаче командного сигнала нагреватель 7 разогревает пружину 6 до100-110 С. Последняя, сжимаясь(Фиг. 4), подтягивает опору 10 сосью 11 и сжимает при этом пружину4. Паз 12 оси 12 перемещается вдольштифта 13 штока 3. После максималь"ного сжатия пружины 4 (Фиг. 5) отверстие 18 опоры 14 начинает сжиматьупоры 5 до положения, при которомони освобождаются из уступов, выполненных в боковых стенках отверстия2. Освободившийся фиксирующий эле-мент освобождает шток 3, который ударом резко поступательно...

Номер патента: 419848

Опубликовано: 15.03.1974

Авторы: Денкевиц, Павлов

МПК: G05B 13/02

Метки: перемещениями, самонастраивающаяся, токарногостанка, упругими

...подастся через ключ 2 на вход нелинейного элемента 3, Ключ 2 замыкается при наличии комапды па его управляющем входе от нуль-органа 13, контролирующего по сигналу датчика 8 мо мент врезания инструмента в деталь, Сигнал с выхода нелинейного элемента 3 поступает на вход усилителя 4, усиливается последним и выходной сигнал усилителя алгебраически суммируется с сигналом, пос 1 упающим от задатчика подачи врезания 3. Результат суммирования поступает на вход элекгроприводя продольной подачи 5, скорость вра цения которого пш преобразуется в скорость продольной подачи 1 пп посредством механизма продольной подачи 6. Скорость продольной подачи является регулирующим воздействием на систему СПИД 7, выходной координатой которой является величина...