336043

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советскик Социалистическил Респуйлин336043 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт, свидетельства-Заявлено 03.111,1970 ( 1410472/23-26)с присоединением заявки-Приоритет -Опубликовано 2117.1972. Бюллетень14Дата опубликования описания 25 Х 11,1972 М, Кл. В ОЦ 1/ООВ 01) 17/26 Комитет ло делам изобретений и открытий ор Совете Министров СССРАвторыизобретения В, ф. Дорфман, М, С. Белоконь и Б, Н. Пыпкин Институт электронных управляющих машин Заявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ Изобретенне относится к области химячеоасого маигиносироения, в частносги к устройствам для кристаллизации из газовой фазы.Известны устройства для кристаллизацви из газовой фазы, содержащие корпус с под ложкой и источник.Недостаток этих уотройств заключается в том, что они не обеспечивают достаточно высокой эффек"пивности, повышения качества готовых продуктов и улучшения эксплуатаци онных свойств обслуживаяния установки.Целью изобретения является иовышение качества годовых продуктов и улучитение экоплуатационных свойств обслужввания устройства. Это достигается тем, что емкость 1 Ь между источником и подложкой имеет систему каналов, вынолненных из инертного матернала, причем входное и выходное отверстия каналон обращены к соответствующим областям источника и подложки, и в корпусе 20 размещены отдельные нагреватели на группах ячеек и в каждой ячейке.На чертеже показано описываемое устройство,Устройспво состоит из источника 1 и под ложки 2, помещенных в,реактор 3 с нагревательньвми элементами 4. Газовая полость между источииком и подложкой разделена цри помощи ячеек из инертного, материала (наотример кварца) на каналы 5 заданной ЗС конфигурации, обращенные входными отверстиями к источнику, а выходными - к подложже. Отдельные каналы (или группы каналов) могут иметь на входе независимый самостоятельньгй или дополнительный источник б (или несколько источников), В таком уст- ройстве отсутствует взаимодействие между . газообразными веществами, находящимися в разных каналах, т. е. перенос в каждом канале,происходит независимо от остальных,Услройство работает следующим образом.При наращиваиви слоя массопоток в указанной системе раабнвается на незаиисимые массопотоки в отдельных каналах, размеры и конфнгурация которых влияют на механизм переноса и определяют геометрию и сгруктуру областей с различными свойствами в одном слое. Использование дополнительных источников позволяет, благодаря независимюсти друг от друга отдельных. массопотоков, получать области с различными физико-тимическими свойствами,Предлагаемое устройство было опробовано в лабораторных условиях при осаждении моноюристадлнческих слоев германия при помощи транслорэной реакции с йодом. Для созда 1 ния каналов используется система иварцевых капилляров диаметром 0,1 - 3 мм, а такж,е прямоугольиая ква;рцевая решетка с ячейками ЗК 8 мм.336043 4 П р едм ет изобретения Составитель Л. МовчанРедактор Н, Корченко Техред Л. Богданова Корректор Е. Зимина Заказ 221/1062ЦНИИПИ Комитета Изд.579 Тираж 448 лам изобретений и открытий при Совете осква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Подписноенистров СССР Тип. Харьк, фил. пред. Патент При прииеиении системы капилляров слой имеет области с четкими границами, соответствующие по диаметру размерам впадины отверстий каналов (0,1 - 3 мм). Поверхность областей является зеркально гладкой (отсутствует излом интерференциальных лишний при исследовании на микроскопе МИИ) при средней высоте неровностей на остальной поверхиости слоя 0,7 - 1 мм. Скорость роста областей ниже скорости роста слоя на 10%. В казачестве решетки применяют два источника р и а-типа проводимосэи; соответствующие области в слое отвечают типу источников.Параметры дроцесса следую 1 цие:Начальная концентрация йода, г/л 3 - 8 Тем,пе 1 ратура подложками, С 580 - 650 Расстояние между источииком иподложечкой, мм 0,6 - 3 Вовремя процесса, мин 30 - 180 Скорость роста слоя, мг/час 15 - 200 Устройство для кристаллизации из газовой фазы, содержащее корпус с подложкой и нсточнии, отличающееся тем, что, с целью 10 повьипании качества готовых продуктов иулучшения эксплуатационных свойств обслуживаиии устровства, емкость между источником и подлюжкой имеет систему каналов, вьвполненных из инертного материала, причем 15 входное и выходное отворстия каналов обращеиы к соответствующим областям источаинка и подложки, и в корпусе размещены отделыные нагреватели на прупиах ячеек и в каждан ячейке.