Патенты с меткой «осождения»

Номер патента: 769834

Опубликовано: 07.09.1981

Авторы: Кантер, Кожухов

МПК: B01J 17/32

Метки: газовой, осождения, слоев, фазы

...На уровне середины .траектории подвижных трубок расположена неподвижная трубка б, на которую опускается подложка, когдаподвижные трубки 5 находятся нижесреднего уровня. Время прохожденияподвижных трубок ниже неподвижнойопоры " это время холостого хода,когда подложка находится в покое, акрайние трубки возвращаются в исходное положение.Кйждая точка плеч преобразователясовершает движение по траекториив Форме эллипса или окружности (взависимости от расстояния до оси преобразователя). Горизонтальные составляющие траектории (вдоль оси реактора) для точек, расположенных с разныхсторон от. оси, имеют противоположные направления. Соответственно подвижные трубки в направлении оси реактора движутся в противоФазе, чтоприводит к повороту подложки на...