Витовтова
Устройство для совмещения и экспонирования
Номер патента: 1817659
Опубликовано: 27.03.1996
Авторы: Витовтова, Чиркунов
МПК: H05K 3/00
Метки: совмещения, экспонирования
...с ними по свойствам точноесовмещсниерисуикафотошаблоиас полимеров) и проверено экспериментально, подложкой. После этого через трубопровод Проверка подтвердила, что заявленное ус 15 производитсяоткацкавоздухаизполости ловие обеспечивает равномерность прижа- между фотошаблоном 10 и мембраной 5. В тия мембраной подложки к фотошаблону результате действия давления ат 0 яосфериопрактически без зависимости от толщины го воздуха, гароиикающего в полость через эластичной мембраны в широком диапазо- отверстие 6. зластицная резиновая мембране толщин последней. 10 на 5, согласуясь с поверхностью подложкиТак как силы атмосферного давления, 9, равиомерноприжимаетее кфотошаблону действующие на шаблон сверху, и силы, 10(см. фиг. 2), Усилие прижатия...
Устройство для нанесения пленочного покрытия на подложку
Номер патента: 1674644
Опубликовано: 27.10.1995
Авторы: Витовтова, Чиркунов
Метки: нанесения, пленочного, подложку, покрытия
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОЧНОГО ПОКРЫТИЯ НА ПОДЛОЖКУ, содержащее столик для размещения и фиксации подложки, кинематически связанный с приводом вращения, магистраль для подачи сжатого газа на подложку со стороны столика и дозатор для подачи исходного материала покрытия, отличающееся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей устройства, в столике выполнено кольцевое углубление, соответствующее форме и размеру подложки, соединенное с магистралью для подачи сжатого газа, причем высота h его внутренней стенки и высота h его внешней стенки связаны соотношениемh