Способ изготовления диэлектрических пленок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от видетельствдЗаявлсио 27 Л 11,1970 ( 146288526-9)с присосдинсиием заявкиПпиоритет.11. Кл. Н 01 д 3/1 Комитет по делам зобретений и открытий при Совете Министров СССРпубликова 10.Х 1.1971. Бюллетень М 1за 972 ваиия описаиия 15.11,1972 ДК 621.319,4:621,315.612 (088,8) ата опуолик Лвторы изобретсии 5явитель СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИЭ ИЧЕСКИХ ПЛЕНО 2,5 лтл ,5 хл 3,07 гпленки ир з оров.Известны ЧЕСКИХ ИЛЕ кремнезема способы изго ок иа основе При этом с атрзчивзется учить беспср обретеиия я учения бесио Т О В Л Е И 1151 окисла н)собе и много в стые пле ляется% БОз, получают Вз11 ств 01) такого же сОстВ котох иттрииислого ялюмииия Л ( иие пленок з удается полЦелью из времени пол диэлектричесвес. % ЛзОз и илеикооб 1)1 з 1 ОЗВД, КДК В ИРИ- еиеи ия 6,62 г Оз) з 91.1,0. кую 75 весПК 1 сокращение ПЛЕИОЧИОГО стог щего р мереЗ)ИОК 3. С те СОСТ 0511 )з, гото составе в кзчс (МОз) з диэлектричес. % ЯсзОз и рз, содержяи раствор в;Зотп41-1,0. Для диэлектри вес. % 1.ззОз и 7 отиокислой сол кой пленки,вес. % 5 Оз,1 з(КОз) зК Пример 4,содержащей 25берут 2,67 г аз;61 ЬО,ской плеики, 70,88 вес. / г,Г 1 р и м е р 5. Для диэлектри содержащей 29,2 вес. % Рг.Оз30 ЯОз, берут 1 г(КОз)з 611,0 2,94 Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано ири .)готовлеиии полупроводниковых приборов, иитегральиых схем и плеиочиых мпкрокоиденсзслоя.Согласно иредложеииому способу, диэлектрические пленки получают изпесеиием из полупроводниковую пластину плеикообразующс растВОра сОстОяпего из смеси кре 1 иеэ 1 и лового эфира ортокремииевой кислоты с простыми спиртами, В котор) 10 Вводят дзОтиокислую соль металла 111 группы периодической таблицы. После этого илспку подвергают тсрмодеструкции ири температуре 700 - 800 С в течение 30 - 60 сек.Способ иоясияется примерами.П р и м е р 1, Стекловидную диэлектрическую пленку, содержащую 25 вес. % 1 зОз и 75 вес, % ЯО, получают путем иаесеиия илеикообразующего раствора, содержащего:тетраэтиловыи эфир ортокремииевой кислоты 10,0 лл этиловыи спирт или смесь егобутиловым спиртомдистиллирОВзиихю Водуазотнокислый иттрий323808 Предмет изобретения Составитель Н, Степанов Тскрсд Л. Куклина Корректоры: В, Петрова и А, АбрамоваРедактор Т. Орловская Заказ 1877 Изд. ЪЪ 1836 Тираж 448 Подписное 1 Ц 1 И 1 П 1 Комитета но делам изобретений и открытий при Совете Министров ССС 1 т Москва, Ж, Раушская наб., д. 45Типограггия, ир. Сапунова, 2 П р ц м е р 6, Для диэлектрической пленки, содержащей 33,4 вес. % ХсгОз и бб,б вес. % гОз, берут Мс(МОз)з бНгО 3,51 г. П р и м е р 7. Для диэлектрической пленки, содержащей 33,4 вес, % сгпгОз ц 66,6 вес. % ЯОг, берут Ягп(ХОз)з 61-гО 3,43 г,П р и м е р 8. Для диэлектрической пленки, содержащец 34,9 вес. % СтсгОз и 65,1 вес, % Ог, берут Ос(ХОз)з бНгО 3,61 г. П р и м е р 9. Для диэлектрической пленки, содержащей 49 вес, % ТЬ.От ц 51,0 вес. % 5 Ог, берут ТЬ(ХОз)з 6 Н,О 3,16 г. П р ц м е р 10, Для диэлектрической пленки, содержащей 35,5 вес, % РугОз ц 64,5 вес. % ЯОг, берут Ру(КОз)з 5 НгО 3,47 г. П р ц м с р 11. Для дцэлектрцческой пленки, содержащей 36 вес. % 1:г,Оз ц 64 вес. % 510 г, берут Ег(МОз)з 6 НгО 3,67 г. П р и м е р 12, Для диэлектрической пленки,содержащей 36,9 вес, % УЬгОз и 63,1 вес. % Ог, берут УЬ(ИОз) з 4 НгО 3,47 г.Полученные пленки имеют толщину 0,1 - 5 0,3 гк, неравномерность по толц 1 цне составляет +-100 А. Способ изготовления диэлектрических пленок пя ОспОВе Окисля металла и кремнезет 1 Я, отличагоиайса тем, что, с целью сокращения времени получения беспористого пленочного 15 слоя, диэлектрические плецкц получаот нанесением ня полупроводниковую пластину пленкообразующего 1 астворя, состоящего из смеси кремнсэтилового эфира ортокремниевой кцслоть с пзостыми спиртами, В кот 01 ую ВВОдят 20 язотпокислую соль металла 111 группы периодической таблицы с последуощей термодеструкцией пленки прц 700 в 8 С в течение 30 - 60 сек.
СмотретьЗаявка
1462885
Н. Е. Прихидько А. И. Борисенко, В. В. Новиков, Н. М. Митникова, А. Рачеева, Е. П. Трошнна
МПК / Метки
МПК: H01G 4/20
Метки: диэлектрических, пленок
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-323808-sposob-izgotovleniya-diehlektricheskikh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления диэлектрических пленок</a>
Способ ультразвукового контроля металлических пленок, нанесенных на диэлектрическую подложку
Номер патента: 1469444
Опубликовано: 30.03.1989
Автор: Гутлянский
МПК: G01N 29/04
Метки: диэлектрическую, металлических, нанесенных, пленок, подложку, ультразвукового
...перпендикулярно контролируемой пленке фиксируют поперечные колебания подложки, При наложении магнитного поля параллельно контролируемой пленке Фиксируют продольные колебания подложки. При наложении поля под острым углом к пленке Фиксируют продольные или поперечные колебания.Для определения площади р отслоенного участка, в случае если его площадь меньше площади Ы пятна магнитно го поля, измеряют амплитуды Аз и А колебаний для неотслоенного и отслоенного участков соответственно и определяют по Формулеа рА55А 1Устройство, реализующее способ контроля, работает следующим образом. Акустические колебания в подложке 17 возбуждаются силами Лоренца, которые возникают при прохождении переменного электрического тока, генерируемого генератором...
Устройство для нанесения токопроводящих пленок на диэлектрическое основание
Номер патента: 528349
Опубликовано: 15.09.1976
Авторы: Бельский, Микадзе, Щербакова
МПК: C23C 7/00
Метки: диэлектрическое, нанесения, основание, пленок, токопроводящих
...держатель закреплен в регулируемой 25опоре, а приводной элемент распылителяснабжен шарнирной парой, взаимодействующей с кривошипом и с держателем.На чертеже изображена кинематическаясхема описываемого устройства, 30 Устроиство для нанесения токопроводящих пленок на диэлектрическое основание 1 содержит распылитель 2, жестко закрепленный в держателе 3, приводной элемент распылителя с двигателем 4 и кривошипом 5, регулируемую опору 6, выполненную в виде кинематической пары с двумя степенями свободы, механизм 7, 8 осевого и вертикального перемещений, шланг 9 питания. Приводной элемент распылителя снабжен шарнирной парой 10, взаимодействующей с кривошипом 5 и держателем 3. Противовес 11 служит для вращения шарнирной пары 10...
Способ обеспыливания поверхности диэлектрической пленки и устройство для его осуществления
Номер патента: 1640666
Опубликовано: 07.04.1991
Авторы: Гайдялис, Ивашкене, Лауринавичюс, Скаржинскас
МПК: G03G 21/00, G11B 3/58
Метки: диэлектрической, обеспыливания, пленки, поверхности
...что обусловливает резкое увеличение отталкивания между частицами пыли и поверхностью пленки. Одновременно производится обдув поверхности пленки воздушной струей и отсос загрязненного, Затем обрабатываемая пленка передвигается над заземленным металлизированным валиком, где потенциал уменьшается до прежней величины. При дальнейшем передвижении над воздушным промежутком скачок потенциала повторяется, что способствует разделению пылинок от поверхности пленки, которые не были удалень 1 при первом резком увеличении потенциала. Таким обра-, зом, скачки потенциала поверхности и частиц пыли повторяются несколько раз. По окончании обработки пленки воздушной струей она поступает в зону электрической нейтрализации, где блок 6 нейтрализации...
Способ экстрагирования содержащих сульфогруппы растворимых в воде комплексных соединений металлов
Номер патента: 133257
Опубликовано: 01.01.1960
МПК: G01N 30/00
Метки: воде, комплексных, металлов, растворимых, содержащих, соединений, сульфогруппы, экстрагирования
...и после этого на каждые 5 мл раствора - по 0,5,нл 20%-ного нейтрального водного раствора хлорида дифенилгуанидина (ДФГ) .Продл кт экстрагируют бутиловым или амиловым спиртом. Лрсеназо дает розовый экстракт, при наличии урана окраска становится фиолетовой различных оттенков, до чисто синей - при избытке урана,П р и м с р 2. Экстрагированис комплекса тория с реагентом арсеназо 111.а) К 2 - З,ил содержащего торий раствора, имеющего кислотность равную 0,1 и. соляной кислоты, добавляют 0,5 ма 40%-ного раствора мопохлоруксусной кислоты, раствор арсеназо 111 до избытка реагента (что замечают по переходу образовавшейся вначале зеленой окраски в смешанную фиолетовую или синюю) и 0,5 - 1 мл 20%-ного раствора ДФГ. Продукт экстрагируют из раствора...
Способ переработки водного раствора, содержащего фторид аммония, на аммиак и фторид металла
Номер патента: 1727530
Опубликовано: 15.04.1992
Авторы: Джордж, Кейт, Кент, Лаура, Ли, Чарльз
Метки: аммиак, аммония, водного, металла, переработки, раствора, содержащего, фторид
...еще го- фективной для превращения арил- и рячим от предыдущей операции илучше гетероциклилхлоридов в арил- и гетероцикделать это при хорошем перемешивании. лилфториды. Например, пентахлорпиридин Также часто бывает удобным прибавлять является известным продуктом для взаимо- концентрированный раствор к растворите действия с фторидом калия в диполярном лю. В предпочтительном варианте способа апротонном растворителе, включая М-меконцентрированный раствор прибавляют к тилпирролидон и сульфолан для получения горячему растворителю путем распыления, 3,5-дихлор,4,6-трифторпиридина, Арил- и та процедура облегчает осаждение ма- гетероциклилфториды являются полезными леньких частиц фторида калия, которые лег в качестве химических промежуточных...
Предыдущий патент: Всесоюзная inatehtho-iexbfnmgfivtois»»-sa iёйбшотекл
Следующий патент: Реле контроля протока жидкости
Случайный патент: Способ удаления базирующего элемента из обрабатываемого резцом отверстия