323685

Оп ИСАНИ Е ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Саветсккх Содиалмстмческмх РеспубликТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ависимое от авт. свидетельства.11. Кл. О 011 21/32 аявлен исоедццецнем заявки гхк Комитет по делам изобретений ч открмти при Совете Министров СССР,1971, Бюллетень1 за 19описания 13.111.1972 К 621.52:531, (088.8) Опубликовано 1 О. ата диковата Авторыизобретен Г, И. Будкер, И, А. Годник, А, Н, Дубинина, Л, С, Красиц В, Г. Пономаренко, Л. Я. Трайнин, Б, В. Чириков, Ю. Н, ЮВ, И. Юрченко и А, Н. Яснецкий Институт ной физики Сибирского отделения АН СССР аявитель АКУУММЕ Известны вакуумметры для измерения низких давлений, основанные на образовангш и разреженной газовой среде заряженных частиц (ионов) при прохождении через нее быстрых электронов. Недостатком известных 5 вакуумметров является их собственное откачное действие, обусловленное повышенной сорбируемостью ионизированного остаточного газа, кроме того, в показаниях вакуумметра часто вносятся искажения из-за паразитных гО токов.Предложенный вакуумметр отличается от известных тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых давлений и устранения влияния паразитных токов, датчик,вакууммет- г 5 ра содержит инжектор электронов и снабжен источником магнитного поля, конфигурация которого подобрана так, что в объеме датчика образована адиабатическая ловушка с магнитггыми пробками. Кроме того, инжектор выполнен в виде электронной пушки с фото- катодом.Изобретение поясняется чертежом.Камера 1 датчика присоединена к объему 2, в котором измеряется давление. На камеру надеты две катушки 3, содержащие магнитное поле зеркальной геометриями. С одной стороны камеры размещен инжектор 4 - электронная пушка с фотокатодом и инфлектор 5, а с другой стороны находится коллек- ЗО тор 6, Вакуумметр также включает в себяблок электропитаггия 7 и блок регистрации 8.Блок электропитания 7 включает в себясхему силового питания магнитов 9, схемуимпульсного питания инжектора 10, инфлектора 11 и схему 12 для автоматического ццепрерывцого управления работой вакуумметра,Предлагаемый вакуумметр может бытьснабжен внутренней инжекцией, для этогоинжектор 4 помещают меокду катушками 3,при этом инфлектор 5 и схема электропитания инфлектора устраняются, Схема электропитания магнитов делается импульсной, авключение магнитов синхронизируется с подачей напряжения ца пушку. При использовании вакуумметра для измерения высокихдавлений он может быть снабжен собственной откачной системой 13, присоединенной кинжектору 4. При использовании же вакуумметра для измерения низких давлений он мо.жет быть снабжен соленоидом 14, располо.жецным между катушками 3.Ваг;уухгхгетр работает следующим образомЭлектропитание инжектора 4 осуществляется от схемы 10. При подаче отрицательного импульса напряжения сг на катод электроны, ускоренные до энергии У выходятиз инжектора под углом а к магнитной силовой линии. Электроны проходят первую маг323685 Предмет изобретения1 Составитель И. Ратенбергктор Г. Гончарова Техред Е, Борисова Корректор И. И 1 матова Заказ 586/13 Изд. М 1821 Тираж 448 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж-З 5, Раушская наб д, 4/5 и, Харьк, фил, пред, сПатсита нитную пробку благодаря тому, что на инфлектор 5 подан положительный импульс напряжения со схемы 11, и отражаются от второй магнитной пробки. Из-за того, что им пульс напряжения на инфлекторе короче, чем на инжекторе, на заднем фронте импульса инфлектора происходит захват электронов в ловушку. Первичные электроны, находящиеся в рабочем объеме, выходят в конус потерь. При достаточно сильном магнитном поле время удержания электронов в ловушке определяется только рассеянием на газе, заполняющем рабочий объем, Это время удержания можно измерить из вида ооциллограмм тока первичных электронов, выходящих в конус потерь, а также из вида осциллограмм тока электронов и ионов, образующихся при ионизации газа первичными электронами,Так как ток вторичных частиц во много раз превосходит ток первичных, а время их удержания во много раз меньше времени удержания первичных, то удобнее вести измерение по виду осциллограмм вторичных частиц. Ток вторичных частиц пропорциона лен числу первичных, находяшихся в данный момент в ловушке; "В начЪЛе"процесса, когда относительные потери энергии на, Ъеупругое рассеяние еще малы выход электронов, захваченных в ловушку, определяется, главным образом, упругим рассеянием их на газе. Время упругого рассеяния имеет обратную зависимость от давления. 5 Показания вакуумметра на больших давлениях снимаются дискретно с интервалами, удобными для анализа, а на низком давлении (верхний диапазон измерений) интервал может не превышать 10 сек.1 О Коллектором б может служить ФЭУ. Коллектор может быть окружен сетками для экранировки от наводок и ускорения вторичных электронов - это повышает чувствительность регистрирующей аппаратуры,15 1. Вакуумметр, содержащий датчик, источник питания и выходной прибор, отличаю 20 щийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых давлений и устранения влияния паразитных токов, датчик вакуумметрасодержит инжектор электронов и снабжен источником змагнитного поля, конфигурация25 которого подобрана так, что в объеме датчика образована адиабатическая ловушка с магнитными пробками.2. Вакуумметр по и. 1, отличающийся тем,что инжектор выполнен в виде электроннойЗО пушки с фотокатодом,