319283

О П И С А Н И Е 319283ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскик Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваМ. Кл. Н ОЦ 916 Заявлено 07.17.1969 ( 1318806/26-25) соединением заявкииоритетубликовано осударственныи комитетСовета Министров СССРпо делам изобретенийи открытий УДК 621.3.032.24(088.8).1.1974, Бюллетеньа опубликования описания 28 Л 1.1974 Авторы зобретен. Миллер, А, С. Шерешевский, В. В. Емелин и О по ВСГСО аявител ЗНАЯ иц и дя-с 1 гД УСТРОЙСТВО ДЛЯ КО РАСПОЛОЖЕНН ЛЯ ШАГА ПЕРИОДИЧЕСКЛЕМЕНТОВ ДЕТАЛЕЙ 2 Изобретение относится к электронной промышленности, в частности к устройствам для контроля деталей с периодически расположенными линейными элементами, например сеток и спиралей электронных приборов. 5Известное устройство для контроля спиралей по шагу, содержащее оптическую систему, источник света и растр-анализатор, позволяет оценивать точность изготовления деталей по характеру муаровой картины, создаваемой на ложением спирали на растр-анализатор. Однако оно не обеспечивает контроля спиралей с различным шагом при помощи одного и того же растра-анализатора.Цель изобретения - измерение периодиче ски расположенных элементов с различными шагами посредством растра-анализатора с постоянным шагом.Для этого оптическая система устройства снабжена механизмом для изменения коэффи циента увеличения изображения исследуемой детали в плоскости растра-анализатора, а по. движная цилиндрическая линза, расположенная между растром-анализатором и исследуемой деталью, подвижный зеркальный блок и 25 отсчетная линейка, перемещаемые соответственно системой винт - гайка, цилиндрическим кулачком и реечным дифференциалом, имеют общий привод. Изменение коэффициента увеличения оптической системы достигается из менением оптических отрезков деталь - линза и линза - растр в соответствии с уравнением тонких линз путем одновременного перемещения цилиндрической линзы и зеркального блока, Данное устройство позволяет изменять коэффициент увеличения оптической системы в пределах от 0,5 до 2.На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.Оно содержит источник света 1, конденсатор 2, каретку 3 с приводом для размещения исследуемой детали, подвижную цилиндрическую линзу 4, подвижный зеркальный блок 5, растр-анализатор 6 и тубус 7.Зеркальный блок 5 перемещается в горизонтальном направлении торцовым кулачком 8, приводимым во вращение червячной шестерней 9, червяком 10 и маховиком 11. Через червячный вал, коническую передачу 12 и пару винт - гайка 13 движение передается ца ка. ретку 14 цилиндрической линзы с установлен. цой ца цей стрелкой-указателем 15. На корпусе зеркального блока размещена свободно вращающаяся на своей оси шестерня 16, входящая в зацепление с зубчатой рейкой 17 неподвижно укрепленной ца станине устройства. С другой стороны с шестерней 16 сцеплена зубчатая рейка, жестко связанная с отсчетной линейкой 18. Шестерня 16 и рейки 17, 18 образуют реечцый дифференциал, обеспе319283 Составитель Е. Алешинктор Т. Ларина Техред Т, Ускова Корректор М. Лейзерма ПодписноеСССР Изд, М. 1267 осударственного комитет по делам изобретений Москва, Ж, РаушскаТираж 760 Совета Миппс открытий наб д. 4/6аказ 1823/9Ц 1 1 ИИП ография, пр. Сапунова, 2 чивающий перемещение отсчетной линейки 18(при движении зеркального блока) в том женаправлении и на величину, вдвое большуюпути, пройденного зеркальным блоком, таккак при отражении светового луча в зеркальпом блоке перемещение последнего на величину ЛХ вызывает изменение длины оптическогоотрезка линза - растр на 2 ЛХ. Стрелка-указатель 15 позволяет отсчитывать на шкале 18непосредственно коэффициент увеличения Й, 10соответствующий данному взаимному положению оптической линзы и зеркального блока,Описываемое устройство обеспечивает удобную, быструю и точную проверку шага спиралей с шагом в пределах от 0,2 до 0,8 мм с точпостыл:1:0,5 мкм,Предмет изобретения201. Устройство для контроля шага периодически расположенных элементов деталей, например сеток и спиралей электронных приборов, содержащее каретку для размещения исследуемой детали, источник света, оптическую систему для проектирования изображения исследуемой детали на экран, выполненный в виде растра-анализатора, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью измерения периодически расположенных элементов с различными шагами при помощи растра-анализатора с постоянным шагом, оно снабжено механизмом изменения коэффициента оптической системы.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, механизм изменения коэффициента увеличения оптической системы содержит подвижную цилиндрическую линзу, размещенную между растром-анализатором и кареткой для размещения исследуемого материала, подвижный зеркальный блок и отсчетную линейку, перемещаемые соответственно системой винт - гайка, цилиндрическим кулачком и реечным дифференциалом, имеющими общий привод,