Способ определения коэффициента диффузии газов в диэлектрические материалы

Номер патента: 315109

Авторы: Всесоюзный, Линник, Шульгин, Экспериментальный

ZIP архив

Текст

ФОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 3 ИО 9 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено ОЗ.Ч.1970 ( 1445449/26-25)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 21.1 Х.1971. Бюллетень2Дата опубликования описания 02,Х 1.1971 ПК, Ст 01 п 27/46 Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРК 543,547(088.8) АвторыизобретениЗаявитель Е, И. Шульгин и Л. Н. Линник Всесоюзный научно-исследовательский и экспериментальный институт по переработке химических волоконСПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОЭффИЦИЕНТА ДИФФУ ГАЗОВ В ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЪ 0=Ь4 тт(-)де Й - толщина исследого материала (/г многоны подготовленного вленки образца исследуес"(я) =(+2 т(гг)д 1 емого диэлектричесменьше длины и шивиде пластины ил мого материала);- 1 1, - 1) и де а - полярпзуемость а ющего газа - велич при расчете по фо е - диэлектрическая п меняющаяся в пр ес - диэлектрическая п того диэлектрика Соотношение (1) учитыва астворенного в диэлектрик я - 1 0 - 1 1 диффузию газа в диэлект олщиной гг:(-)с Р)ческ ю пласп н- =В - д 1 дх с(х, 1) - концентрация в образце. Изобретение относится к области метрологии процессов диффузионного переноса.Применяемые в электровакуумной и полупроводниковой промышленности, а также в других областях науки и техники диэлектри ческие материалы подвергаются воздействию газовых потоков и температурных полей и других внешних условий, В связи с этим определение наиболее важных диффузионных параметров, в частности коэффициента диф фузии, имеет большое значение, особенно в случае нахождения в вакууме больших поверхностей исследуемых материалов, например при напылении тонких пленок на рулонные материалы. 15Однако до сих пор не выработана достаточно удобная и экспрессная методика определения коэффициента диффузии. Наиболее широко применяемый с этой целью метод последовательного снятия тонких слоев технологи чески сложен, не обеспечивает высокой точности, кроме того, при этом разрушается образец в процессе измерений.Известен также способ определения коэффициента диффузии газа в твердое тело по 25 внутреннему трению. Этот способ применяется мало и характеризуется невысокой точностью.Цельюточности 30 изобретения является повышениеизмерений. Предложенныи способ основывается на соношении:315109 Предмет изо бретения Составитель Л. К. Жаркова Редактор Т. 3. Орловская Текред 3. Н. Тараненко Корректор Т. А. МироноваЗаказ 3154/5 Изд.1325 Тираж 473 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 Сущность предложенного способа состоит в том, что измеряют диэлектрическую постоянную диэлектрического образца до начала диффузионного поступления в него, Затем помещают образец в атмосферу газа и насыщают газом. После этого откачивают газ и вновь измеряют диэлектрическую постоянную. Далее выдерживают образец некоторое время для удаления из него 20 - 40% продиффундировавшего газа, вновь измеряют диэлектрическую постоянную и по полученным данным, используя соотношение (1), находят коэффициент диффузии газа в диэлектрические материалы. Способ определения, коэффициента диффузии газов в диэлектрические материалы, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений, образец в виде пластины или пленки помещают в атмосферу газа, измеряют кинетику изменения диэлектрической постоянной образца в процессе изменения концентрации продиффундировавшего в него газа и на основе полученных данных определяют коэффициент диффузии.

Смотреть

Заявка

1445449

Е. И. Шульгин, Л. Н. Линник, Всесоюзный научно исследовательский, экспериментальный институт переработке химических волокон

МПК / Метки

МПК: G01N 13/00

Метки: газов, диффузии, диэлектрические, коэффициента, материалы

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-315109-sposob-opredeleniya-koehfficienta-diffuzii-gazov-v-diehlektricheskie-materialy.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения коэффициента диффузии газов в диэлектрические материалы</a>

Похожие патенты