Устройство для изготовления шаблонов интегральных схем
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАНИЕ 305443ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республнх(Ле 1387021/26-9) ПК 6 ОЗЬ 7/1 влено 19,Х 11. явки Ме с присоеди ние Приорите Комитет по дел изобретений и открытипри Совете МинистровСССР Опубликовано 04 Л 1.1971. Бюллетень М 18Дата опубликования описания 5 ХП.1971 21,382;535.8088.8) Авторыизобретени К, В. Кравченко, Ю. С, Ханжонков и М. Н, Слави Заявител УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ШАБЛОНО ИНТЕГРАЛЪНЫХ СХЕМтет изобретения Известны аналогичные устройства.В предлагаемом устройстве для изготовления шаблонов интегральных схем, с целью удобства эксплуатации, в прямоугольнохт отверстии рамки размещена каретка П-образного сечения с продольными пазами на внешней стороне ее для размещения шариков сепаратора, позволяющих перемещаться каретке по осям Х и У.На фиг. 1 - изображено описываемое устройство, общий вид; на фиг, 2 - конструкция одного из сменных устройств мультипликации.Сменное устройство мультипликации 1 с фотокассетой расположено на базовой плите 2 со штифтами для посадки и центровки этих устройств мультипликации и резьбой для установки сменных объективов 3. Базовая плита укреплена на жесткой раме, на которой закреплены штанга 4 крепления измерительного микроскопа, ручной затвор фотоустановки 5, фотооригинал б, который крепится прижимной планкой 7 и подсвечивается снизу светильником 8 с лампами дневного света,Сменное устройство мультипликации выполнено следующим образом. Основание 9 устройства, в котором сделаны точные отверстия 10 под штифты центровки, расположено на базовой плите, На основании расположен механизм устройства, который представляет собой двухкоординатную систему кареток, а именно - каретки внешней 11 с накладками 12 и 13 для перемещений по Х и У координатам соответственно, и каретки внутренней 14 с накладками 15 и 1 б, определяющими коли чество и точность мультипликаций.Накладки, а также боковые поверхности основания и внутренней каретки 14 имеют фрезерованные пазы - продольные для размещения шариков сепаратора в накладках 12 и 13 0 а также на боковых поверхностях основанияи внутренней каретки и поперечные - в накладках 15 и 1 б для западания шариков стопорного механизма жесткой фиксации перемещений кареток относительно друг друга при 5 мультипликации.В центре основания расположено отверстие17 без резьбы, необходимое для прохождения оптических лучей объектива.В центре внутренней каретки расположено 0 окно 18 для контроля на микроскопе размеровизображений при первичной настройке установки. Внутри каретки выфрезирован паз 19 для размещения фотокассеты с фотопластинкой. Устройство для изготовления шаблонов интегральных схем, содержащее основание, измерительный микроскоп, систему подсветки, фиксирующее устройство и мультиплицирую.305443 18 8 га Ю 5 5 г.1 Мерма Составитель крсд 3. К,Редактор Е. Гонча Корректор Т. А. Кита аненк аказ 1847/12 Изд.776 Тираж 473 ПодписноеНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 шография, пр. Сапунова,щее устройство, выполненное в виде перемещающейся по основанию по осям Х и У плоской рамки с прямоугольным отверстием, поперечными пазами в нижней плоскости и продольными пазами на внутренних стенках рамки для размещения шариков сепаратора, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения удобства эксплуатации, в прямоугольном отверстии рамки размсщена каретка П-образного сечения с продолными пазами на ее внешней стороне, взаимо действующими с шариками сепаратора приперемещении каретки по осн У.
СмотретьЗаявка
1387021
А. В. Ирлин, К. В. Кравченко, Ю. С. Ханжонков, М. Н. Славим
МПК / Метки
МПК: G03B 7/12
Метки: интегральных, схем, шаблонов
Опубликовано: 01.01.1971
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-305443-ustrojjstvo-dlya-izgotovleniya-shablonov-integralnykh-skhem.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для изготовления шаблонов интегральных схем</a>
Предыдущий патент: Фотоэлектрическое следящее устройство
Следующий патент: Световой затвор
Случайный патент: Машина для улучшения лугов и пастбищ