Славим
Устройство для изготовления шаблонов интегральных схем
Номер патента: 305443
Опубликовано: 01.01.1971
Авторы: Ирлин, Кравченко, Славим, Ханжонков
МПК: G03B 7/12
Метки: интегральных, схем, шаблонов
...мультипликации выполнено следующим образом. Основание 9 устройства, в котором сделаны точные отверстия 10 под штифты центровки, расположено на базовой плите, На основании расположен механизм устройства, который представляет собой двухкоординатную систему кареток, а именно - каретки внешней 11 с накладками 12 и 13 для перемещений по Х и У координатам соответственно, и каретки внутренней 14 с накладками 15 и 1 б, определяющими коли чество и точность мультипликаций.Накладки, а также боковые поверхности основания и внутренней каретки 14 имеют фрезерованные пазы - продольные для размещения шариков сепаратора в накладках 12 и 13 0 а также на боковых поверхностях основанияи внутренней каретки и поперечные - в накладках 15 и 1 б для...