Патентно-техи, 11е: наябиблиотека

О П И С А Н И Е 298492 Союз Советских Социалистических Республиктельства-1233899/28-12 ависимо от авт. св аявлецо 15,1 Ч.1968 31 13/02 с присоединением заявкиКомитет по делам.забретений и открытийчи СОдыте Министрое Приорит 34 Опубли вано 16 111.1971. Бюллетень11 Дата опубликования описания 14 Л 1,197 вторызобретения. П. Андреев, В. А, Зайцев и Я. А. Райхма Заявитель АШИН ВЫЧЕРЧИВАНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ТОПОЛОГИИКРОЭЛЕКТРОННЫХ СХЕМ Изобретение относится к контрольно-измерительным чертежным машнцам с программным управлением, служащим для вычерчивания в увеличенном масштабе контуров элементов топологии микроэлектроцнь х схем по программам, составленным для работы микрофотонаборных устройств. Машина, кроме того, позволяет бьстро и качественно производить визуальный контроль правильности составления как самих программ, так и правильности подготовки исходных данных.Машина содержит программное устройство, координатный чертежный стол, имеютций две взаимно перпендикулярные направляощие с кареткой на каждой из них, приводимой в движение от самостоятельного привода, связанного с программным устройством. 11 а од. ной из кареток укреплен предметнлый стол для крепления чертежной бумаги, на другой каретке смонтирована чертежная головка, содержащая четыре подвижных упора, образующих прямоугольное окно переменного профиля. По контуру окна обкатывается сменный держатель с пишущим приспособлением, закрепленный в переставном относительно плоскости окна шаровом шарнире. Держатель и упоры имеют приводы.На чертеже изображена предлагаемая маиа.Машина содержит программное устронство 1, координатный чертежный стол 2 и чертекную головку 3.Координатный чертсжный стол имеет основание 4, на котором укреплены две взаимно перпендикулярные направляющие 5 с установленными на каждой из ннх каретками б и 7.Карстка б несет на себе предметный стол 8 для крепления чертежной оумагн, а каретка 7 - чертежную головку 3. Каждая из кареток связана собственцон парой винтгайка 9 с самостоятельным управляемым электроприводом (Г) н датчиком 11 обратной связи.Обе каретки с приводами и датчиками одинаковы по конструкции и независимы в работе.Управление электроприводами кареток в отдельности осуществляет программное устройство в зависимости от задаваемых координат.Чертекная головка содержит четыре подвижных упора 12, представляющие собой пластины, размещенные попарно одна под другой в направляющих пазах корпуса чертежной головки т ак, что перемещение одной пары пластин нс препятствует перемещению другой пары. Упоры имеют попарный электропрнвод с датчиками положения и образуют прямоугольное окно переменюго профиля, в котором находится сменный держатель 13, закрепленный в переставном относительно плоскости стола шаровом шарнире 1(.;. Держатель несет пишущее прнспособлешс298492 111 ра,к 47 1 яцс цос оказ 2 Загорская гипогр 1 Ф 1 11 выполнен с возможностью обкатывапия по контуру окна,В примере исполнения привод лержателя содержит поволок 15, связанный через наклонную пружину 16 с электродвигателем 17. Поводок прижат пружиной к профилироваппому диску 18, находится в зацеплении с червяком, расположенным на валу электродвигателя.Наклоны пружины выбраны такими, чтобы ее усилие одновременно передавалось через качающийся в отверстии шарового шарнира поводок 15 на держатель И и прижимало его к одному из упоров 12.При вращении профилированпого диска 18 пружина 1 б, совершая круговое движение, через поводок 15 поочередно прижимает держатель к упорам и перемещает его по прямоугольному контуру окна, образованного упорами с ОСтанов 1,Я МИ и 1 тл ах.Обход окна начинается и заканчивается в одном и том же углу. Во время остановки держателя в углу поводок опускается под действием пружины 1 б во впадину на профилированном диске и приподнимает держатель, после Чего диск останавливается.При работе машины информация, нанесенная па бумажную перфоленту, последовательно вводится в программное устройство 1, по командам которого каретки б и 7 координатного стола псреме 1 ца 1 отся в нужную позицию,а подвижные упоры 12 чертежной головки образуют необходимый размер окна, после чего держатель И совершает обход контура окна, вычерчивая на .тисте бумаги ца столе 2, соответствующий прямоугольныц элемент топологии микросхемы. После этого держатель полнимается в исходное положение. Предмет изобретения 0Машина лля вычерчивания элементов топологии микроэлектронных схем, отли 1 о 1 оиаясл тем, что, с целью ускорения процесса, опа содержит программное устройство, координатный чертежный стол, имеющий лве взаим 1 ю перпендикулярные направляющие с каретко 11 ца каждой из них, приводимой в Лвикение от самостоятельного привода, связанного с программным устройством, предметный стол для 20 крепления чертежной бумаги и укрепленный паодной каретке, чертежную головку, смонтированную ца другой каретке и содержа 1 цую помещенные в корпусе четыре подвижных упора, образующих прямоугольное25 окно переменного профиля, ц сменный держатель с пишущим приспособлснсием, оокаты.вающийся по контуру окна ц закрепленный в переставпом относительно плоскости окна шаровом шарнире, привод держателя и привод З 0 упоров.