Способ определения напряжения пленочных материалов на подложке
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАНИЕ 29786 ОИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сова Советник Социалистических РеспуОликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 31.11.1969 ( 1330408/26-25) МПК Ст 01 Ь 9/ рисоединением заявкиПриоритет публиковано 11.111,1971, Бюллетень1 ата опубликования описания 7 Х,1971 Комитет по деламизобретений и отнры К 535.417(08 при Совете Министров СССР, И. Жуко Заявител ОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ НАПРЯЖЕНИЯ ПЛЕНОЧН МАТЕРИАЛОВ НА ПОДЛОЖКЕПредм изобрстени Способ определен материалов на под лучевой интерферов что, с целью повы ия напряжений ложке при помо гетрии, отлиааюиг шения точности иленочныхщи многоийся тем,змерений,Известен способ измерения напряжении, при котором подложка под действием механических напряжений в осажденной на пее пленке деформируется, приобретая форму, близкую к сферической. Величину прогиба подложки, по которому судят о напряжениях в пленке, измеряют с помощью многолучевой интерферометрии.Недостаток известного способа состоит в том, что этим способом невозможно измерять 1 напряжения в неотражающих и слабоотражающих пленках, а также в пленках, неравномерных по толщине. Используемые зеркала с однослойным металлическим покрытием не обеспечивают качественной интерференцион ной картины, что приводит к значительным погрешностям в определении радиуса кривизны подложки.Предложенный способ дает возможность проводить с высокой точностью измерения на пряжений в неотражающих и неравномерных по толщине пленках по качественно новой интерференционной картине.Сущность способа состоит в том, что интерференционная картина образуется между по верхностью подложки н поверхностью девятислойного диэлектрического зеркала, а пленка расположена на поверхности, противоположной измеряемой, и не является отражающей плоскостью. 3 Предложенный способ поясняется чертежом.Луч 1 высокой монохроматичности (1, =о= 5461 А), проходя зеркало 2, на поверхность которого нанесены тонкие диэлектрик ческие слои оптической толщины гггг = - , отражается от поверхности подложки г, имеющей радиус кривизны Л. Проходя поочередно каждый слой многослойного зеркала, луч об. разует на границе раздела новые отраженные лучи 4. Поэтому между поверхностями 5 и 6 подложки и зеркала накапливается большое количество световой энергии, благодаря чему создается мнгоголучевая интерферометрия нового качества. При этом пленка 7 не участвует в образовании интерференционного поля, так как она расположена на подложке с противоположной стороны.Разработанный способ может быть использован и для измерений механических напряжений в многослойных структурах.света высокой монохроматичности, при этомпо изменению интерференционной картины судят о напряжении в исследуемом материале. Составитель В. С. Зверев Редактор Т, 3. Орловская Текред Е. Борисова Корректор В. П, Федуловаказ 1124/10 Изд.499 Тираж 473 НИИПИ Комитета по делам изобретений и огкрытий при С Москва, Ж.35, Раушская наб д, 415Типография, пр. Сапунова поверхность пОдлОжки пРиводят В контакт с поверхностью полупрозрачного многослойного диэлектрического зеркала и облучают пучком Подписное е Министров СССР
СмотретьЗаявка
1330408
В. В. Долгов, Ю. Н. ков, А. С. Валеев, В. И. Жуков
МПК / Метки
МПК: G01B 9/02
Опубликовано: 01.01.1971
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-297860-sposob-opredeleniya-napryazheniya-plenochnykh-materialov-na-podlozhke.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения напряжения пленочных материалов на подложке</a>
Состав для электрохимического осаждения полимерных пленок на поверхность серебра
Номер патента: 937539
Опубликовано: 23.06.1982
Авторы: Зытнер, Макаров, Стрюк
МПК: C25D 13/06
Метки: осаждения, пленок, поверхность, полимерных, серебра, состав, электрохимического
...том, что он позволяет получать на поверхности иэделия покрытие, обладающее протквосерокодороднымк свойствами, которое препятствует образованию .булъфидов серебра. ь 5 Введение в состав внкасола позволяет продлить его действие в 4-5 раэ.П р.и м е р 1. Изделие обеэжкривают известными способами, промывают водой и опускают в ванну с водный раствором следующего состава,вес.ФгПоливиниловый спирт 10,0 У Борная кислота 0,5 Викасол 0,5 Вода 89,0 Катодная плотность тока 3-5 йА/см Температура 20-25 С. Продолжитель". ность процесса 5 - 20 с.Толщина покрытия зависит от продолжительности процесса и плотности тока и находится в пределах 0,05- О,Э мм. Содержание викасола в по" крытии определяется его толщиной и составляет 0,15 - 0,20 вес. %.П р и м е р...
Способ определения внутренних механических напряжений в тонких пленках
Номер патента: 1442012
Опубликовано: 09.08.1995
Автор: Прохоров
МПК: H01L 21/66
Метки: внутренних, механических, напряжений, пленках, тонких
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВНУТРЕННИХ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ путем вытравливания в подложке окон и измерения геометрических размеров деформированной пленки, по которым судят о величине механических напряжений, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения процесса измерений, после травления подложку скрайбируют по лицевой стороне через выбранные для исследования структуры так, чтобы излом прошел параллельно свободно висящему краю пленки, отламывают часть пластины и вновь скрайбируют ее параллельно полученному ранее излому с шагом, обеспечивающим прохождение излома через исследуемые структуры, вновь отламывают часть структуры подложки и располагают ее под углом
Устройство для измерения внутренних напряжений в тонких пленках
Номер патента: 1226048
Опубликовано: 23.04.1986
МПК: G01B 11/16
Метки: внутренних, напряжений, пленках, тонких
...лучасвета от поверхности подложки 3 спленкой 4.Чувствительность устройства М.вследствие кривизны поверхности полу 50прозрачного выпуклого сферическогозеркала 5 возрастает по сравнениюс чувствительностью известного устройства и составляет Р 55"г=о.гс з 1( - +1) 5 ФЧ 1 Г, (ъ) где- угол между падающим и отражающимся от подложки с пленкой лучами света;1 - расстояние от подложки спленкой до полупрозрачноговыпуклого зеркала;К - радиус зеркала;Я - расстояние от выпуклого зеркала до измерительного экрана;Ь - величина перемещения светового луча в предлагаемомустройстве;а - величина перемещения лучав известном устройстве,Величина внутренних механических напряжений пленок определяется по формуле- модуль Юнга подложки; - толщина подложки;-...
Устройство для измерения внутренних напряжений в тонких пленках
Номер патента: 1280314
Опубликовано: 30.12.1986
Автор: Качер
МПК: G01B 11/16
Метки: внутренних, напряжений, пленках, тонких
...прозрачного измерительного экрана 4 в вакуумную камеру 12 на полупрозрачное плоское зеркало 8, которое отражает часть пучка излучения источника 2 света на эталонную подложку 1 О. Проходя через последнюю, это излучение регистрируется фотоприемником 9. Отраженную от поверхности эталонной подложки 10 часть излучения направляют полупрозрачным плоским зеркалом 8 на полупрозрачное выпуклое зеркало 3, отражающее это излучение на измерительный экран 4, Прошедшую через полупрозрачное плоское зеркало 8 часть излучения источ" ника 2 света направляют плоским зеркалом 5 на подложку 6 для пленки, Интенсивность прошедшего излучения регулируют оптическим клином 11 и регистрируют фотоприемником 7. Отраженную от поверхности подложки 6 с пленкой часть...
Способ изготовления алюминированного стеклянного зеркала с алюминиевой отражательной поверхностью
Номер патента: 140179
Опубликовано: 01.01.1961
Автор: Валидов
МПК: C03C 17/36
Метки: алюминиевой, алюминированного, зеркала, отражательной, поверхностью, стеклянного
...пленка сернистого цинка толщиной в четверть длины волны для видимой области спектра. Затем, испарением же, в вакууме наносится компенсирующая скачок фазы пленка фтористого магния оптической толшинои, равной половине величины скачка фазы на границе алюминий - фтористый магний. На пленку фтористого магния наносится непрозрачный слой алюминия, защитный слой меди и после снятия деталей с вакуумной установки наносится непрозрачный слой бекелитового лака с алюминиевым пап олнителем.Изготовленное таким о ркало обладает ббльшициентом отражения, чем зе зготовляемые ранееспособами с алюминиевой о ьной поверхностью и от140179 механической прочности к высшей - нулевой - группе прочности, Они могут быть использованы при работе в исключительно...
Предыдущий патент: Фотоэлектрическое устройство для контролякрая ленты
Следующий патент: Способ определения деформаций по картине муаровых полос
Случайный патент: Корпус радиоэлектронного блока