ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е 271992ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сова Советских Социалистических Республик(088.8) Комитет оо делам бретений и открыт 26 Х.1970. Бюллетень М 18 публикова ори Совете Министров СССРЛат ликования описания 27 Х 11.197 УСТРОЙСТВО ДЛЯ НА НИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМ редмет изобретени ытий в ваи ионный с целью понный источи выполнензакреплен совпадает с еменно ано Известно устроиство для нтий в вакууме, содержащее рионный источник,Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что ионный источник расположен вне распылителя и выполнен в виде цилиндра, внутри которого закреплен катод в виде спирали, ось которой совпадает с осью цилиндра, служащего одновременно анодом.Это позволяет получить равномерные покрытия.На чертеже представлено предлагаемое устройство, общий вид.Устройство имеет распылитель 1 и ионный источник, расположенный вне распылителя и вьцилненный в виде цилиндра 2, внутри которого закреплен катод 8 в виде спирали, ось которой совпадает с осью цилиндра 2, служащего одновременно анодом.В рабочую камеру 4 устанавливают барабаны 5 с подложками б, а в распылитель 1 - распыляемый материал 7. После этого в рабочей камере 4 производится откачка всего объема до предельного вакуума с последующим напуском инертного газа в ионные источники до рабочего давления в пределах 1 10 в - 110 4 мм рт. ст. При подаче соответствующих напряжений между анодами 2 и катода. ми 8 возникает дуговой разряд. При подаче на распыляемый электрод 8 напряжения ионы газа ускоряются в электрическом поле между анодом и распыляемым электродом 8 и 5 бомбардируют распыляемый материал 7, в результате чего происходит распыление этого материала.Атомы распыляемого материала через отверстие а прп открытом затворе 9 попадают на 10 подложки б. После напыления всех подложек,с распыляемого электрода 8 снимают высокое напряжение, выключают питание анода и катода, прекращают подачу газа, перекрывают затвор 9, производят напуск атмосферы в ра бочую камеру и смену барабанов. О Устройство для нанесения покр кууме, содержащее распылитель источник, ст,гичающееся тем, что, лучсния равномерных покрытий, ио нпк распОложен вне распылителя5 в виде цилиндра, внутри которого катод в виде спирали, ось которой осью цилиндра, служащего одновр271992оставитель А, Кутибашвилиеврея А, А, Камышникова Корректор С дактор Т. Фадеевазовенкова Заказ 2326,11 Тираж 480 Подписное Ц 11 ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д, 45ипография, пр. Сапунов

Смотреть

Заявка

1202302

МПК / Метки

МПК: C23C 14/32

Метки: 271992

Опубликовано: 01.01.1970

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-271992-271992.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">271992</a>

Похожие патенты