Патенты с меткой «271992»

Номер патента: 271992

Опубликовано: 01.01.1970

МПК: C23C 14/32

Метки: 271992

...вьцилненный в виде цилиндра 2, внутри которого закреплен катод 8 в виде спирали, ось которой совпадает с осью цилиндра 2, служащего одновременно анодом.В рабочую камеру 4 устанавливают барабаны 5 с подложками б, а в распылитель 1 - распыляемый материал 7. После этого в рабочей камере 4 производится откачка всего объема до предельного вакуума с последующим напуском инертного газа в ионные источники до рабочего давления в пределах 1 10 в - 110 4 мм рт. ст. При подаче соответствующих напряжений между анодами 2 и катода. ми 8 возникает дуговой разряд. При подаче на распыляемый электрод 8 напряжения ионы газа ускоряются в электрическом поле между анодом и распыляемым электродом 8 и 5 бомбардируют распыляемый материал 7, в результате чего...