Устройство для травления органических объектов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 260026
Авторы: Березин, Передериенко
Текст
О П 260026 Спев Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельства21 д, 2110 явлено 02,11.1968 ( 1214637/26-25 м заявкиприсоединенриоритетпубликовано МПК Н 011 37/02УДК 537.533,35(088.8) Комитет по делом изобретеиий и открытий при Совете Министров СССР. Н. Берез аявител ТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ОРГАНИЧЕСКИХ ОБЪЕКТОВ 2 Изобретение относится к области разрядных устройств, в которых электрический разряд воздействует, например активирует, на вводимое в разряд вещество, в частности газообразный окислитель.Изобретение касается устройства для травления органических обьектов газообразным окислителем, например кислородом, активированным в высокочастотном безэлектродном разряде, и может быть применено, в частности, при препарировании электронно-микроскопических объектов.Известные устройства травления активированным кислородом органических объектов для электронно-микроскопических исследований не обеспечивают равномерности травления различных участков объекта из-за неодинаковых условий активации окислителя в различных точках сечения выходного контура высокочастотного активатора. Кроме того, применявшаяся ранее защита объекта от влияния высокочастотного поля с помощью заземленного электрода-сетки неизбежно сопряжена с загрязнением объекта материалом сетки, подвергающимся термокатодному распылению. В предлагаемом устройстве для устранения этого область травления объекта отделена ог области активации цилиндрической диафрагмой, формирующей поток окислителя. На наружную стенку диафрагмы со стороны области травления насажено электропроводное кольцо.На фиг. 1 и 2 изображено предлагаемое устройство, продольный и поперечный разрезы.Рабочая камера 1, предназначенная для активации кислорода и травления образца, соединена с вакуумной системой и системой напуска кислорода, обеспечивающими при работе устройства динамическое равновесие между 10 напуском и откачкой при давлении в области2 травления порядка 10 т торр, С наружной стенкой рабочей камеры скреплены пластины конденсатора 3, являющиеся обкладками выходного конденсатора высокочастотного гене ратора и обеспечивающие высокочастотныйактивирующий разряд в области 4 активации рабочей камеры 1. Цилиндрическая диафрагма 5 отделяет область активации от области травления. Со стороны области травления на 20 наружную стенку диафрагмы надето металлическое кольцо б, замыкающее на себя поле рассеяния пластин конденсатора 3. В области травления расположен препарируемый объект 7, .помещенный на держателе Б.25 В описываемом устройстве поток актпвированного окислителя, сформированньш цилиндрической диафрагмой, обеспечивает равномерное и интенсивное травление различных участков образца, а электропроводное кольцо, за щищающее объект ст воздействия высокоча260026 Напусккислорода Риг Составитель Техре Панкин едакт аказ 931/16 Тираж 499 ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Москва Ж-З 5, Раушская наб., д. 4Подписное вете Министров СССРТипография, пр. Сапунов стотного поля, изолировано от области активации и, следовательно, не подвергается термокатодному распылению и не загрязняет объекта. Предмет изобретенияУстройство для травления органических объектов активированным газообразным окислителем, состоящее из диэлектрической рабочей камеры, высокочастотного активатора и приспособления для защиты объектов от воздействия высокочастотного поля, отличающееся тем, что, с целью улучшения равномерности травления различных участков объекта и устранения загрязнения обьекта продуктами тер мокатодного распыления защитного приспособления, область травления объекта отделена от области активации цилиндрической диафрагмой, формирующей поток окислителя, а на наружную стенку диафрагмы со стороны 10 области травления насажено электропроводное кольцо. 1. Буряклко Корректор А. П. Василь
СмотретьЗаявка
1214637
Г. Н. Березин, Я. Передериенко
МПК / Метки
МПК: H01J 37/02
Метки: объектов, органических, травления
Опубликовано: 01.01.1970
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-260026-ustrojjstvo-dlya-travleniya-organicheskikh-obektov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для травления органических объектов</a>
“устройство автоматической наводки на резкость системы “объектив микроскопа объект”
Номер патента: 1826007
Опубликовано: 07.07.1993
Автор: Зайцев
МПК: G01B 9/02, G01M 11/00
Метки: автоматической, микроскопа, наводки, объект, объектив, резкость, системы
...Отраженный от поверхности образца 3 и зеркала 23, расположенного пер , пендикулярно оптической осиинформационного луча, направляется светоделительным кубиком 18 в светоделительный кубик 13, где на его внутренней грани разделяется на два взаимно. перпендику лярных луча. Опорный луч, пройдя фазовую пластинку 15, направляется уголковым .отражателем 16 в светоделительный кубик 13, где он также разделяется на два взаимно перпендикулярных лучз, совпадающих с лучами, полученными при делении отраженного информационного луча. Пройдя поляроиды 19 и 20, полученные таким образом лучи рекомбинируют. Фотоприемники 21 и 22 преобразуют интенсивности падающего на них света в электрические синусоидальные сигналы. Введение фазовых пластин 14 и 15 и...
Устройство для определения границы области работоспособности технических объектов
Номер патента: 558280
Опубликовано: 15.05.1977
Авторы: Авхач, Краснов, Светликов
МПК: G05B 23/02, G06F 17/00
Метки: границы, области, объектов, работоспособности, технических
...нарушение которых приводит к потере работоспособности объекта;т - безразмерный параметр, изменяющийся от О до оо;1 - функция работоспособности объекта, которая определяет цель и назначение объекта и изменяется в заранее заданных пределах, определяемых условиями работоспособности.Приведенные векторные выражения справедливы только для непрерывных объектов и представляют собой совокупность прямых, соединяющих начало координат с точками х(1=1, 2,), лежащими на границе области А работоспособности. Эти прямые как бы рассекают область работоспособности, Количество таких прямых может быть произвольным. Точки, лежащие на границе области работоспособности, соответствующие определенным значениям первичных параметров, находятся при решении...
Устройство для определения границы области работоспособности технических объектов
Номер патента: 773575
Опубликовано: 23.10.1980
Авторы: Авхач, Климов, Краснов, Юдин
МПК: G07C 3/06
Метки: границы, области, объектов, работоспособности, технических
...выход генератора 1 линейно-возрастающего ступенчатого напряжения. Блок установки допусков (фиг.2) содержит потенциометр 9 с двумя под-.вижными контактами 10, 11 и ключ 12Входы ключа 12 соединены с подвижным контактом 10 и с соответствующим выходом соответствующего разряда счетчика 5. Устройство предназначено для определения координат граничных точек области работоспособности 6, под которой понимается множество значений первичных параметров, при которых удовлетворяются требования, предъявляемые к техническому объекту, т.е. виполняются условия текущее значение -гопервичного параметра,число первичных параметрон,некторы, определяющиепредельные значенияфункции работоспособности, называемые условиями работоспособности, т.е. ограничения,...
Устройство для определения границы области работоспособности технических объектов
Номер патента: 954948
Опубликовано: 30.08.1982
Авторы: Авхач, Краснов, Саушев, Юдин
МПК: G06F 11/07
Метки: границы, области, объектов, работоспособности, технических
...25 сдвига возбуждена перйка.але определяется первая точка,ежащая области работоспособточка Р,. При этом выходныереверсивных счетчиков 1, 2 4ика 3 подаются на соответствуоды логического блока 4, блокаи и блока 6 регистрации. Высигнал реверсивного счетчикатся на вход блока 21 уставок. 0 0В блсодержице, а сгер 23В регисвая яче Вн принадности С сигналы и счетч ющие вх 7 памят ходной 2 подае Логический бловычисления Функци 4 предназначен дляработоспособности(а Р 1,а, р 1).При этом значения Ь х д х соответствуют записи единицы в соответствующие счетчики, а запись единицы3в счетчики 1,.2 с числом состоянийй и й 2 эквивалентна записи а иФа единицам в счетчики с числом состояний й 4, й.В блок 21 уставок вводят число,равное х . Исходное...
Устройство для определения границы области работоспособности технических объектов
Номер патента: 1180847
Опубликовано: 23.09.1985
Авторы: Курносов, Лебедев, Набока, Соколов, Теслик, Тупкало
МПК: G05B 23/02
Метки: границы, области, объектов, работоспособности, технических
...29 на первый выход блока 6,на втором же выходе блока 6 имеетсянулевой сигнал, который закрываетэлементы И 14 и 15. 5 1 О 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Выходной сигнал с третьего выхода блока 11 подается на первый вход блока 8, где поступает на элемент 38 задержки и, пройдя через элемент ИЛИ 40, поступает на вычитающий вход счетчика 2 и записывает число Х 2= =Х 2 -ЬХ 2, а также через элемент ИЛИ 44 поступает на первый вход блока 6,Если после проверки условий (1) и (2) блоком 4 и блоком 5 условий (3) и (4) отображающая точка выходит за границы области работоспособности, то сигнал с второго выхода блока 5 поступает в блок 6, где по сигналу, поступившему по первому входу происходит изменение состояний триггеров 23-26: триггер 23 переходит в...
Предыдущий патент: Рентгеновская трубка для возбуждения спектров
Следующий патент: Манипулирующее приспособление
Случайный патент: Электропневмопреобразователь