Передериенко

Номер патента: 260026

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Березин, Передериенко

МПК: H01J 37/02

Метки: объектов, органических, травления

...стороны области травления насажено электропроводное кольцо.На фиг. 1 и 2 изображено предлагаемое устройство, продольный и поперечный разрезы.Рабочая камера 1, предназначенная для активации кислорода и травления образца, соединена с вакуумной системой и системой напуска кислорода, обеспечивающими при работе устройства динамическое равновесие между 10 напуском и откачкой при давлении в области2 травления порядка 10 т торр, С наружной стенкой рабочей камеры скреплены пластины конденсатора 3, являющиеся обкладками выходного конденсатора высокочастотного гене ратора и обеспечивающие высокочастотныйактивирующий разряд в области 4 активации рабочей камеры 1. Цилиндрическая диафрагма 5 отделяет область активации от области травления. Со...