Шаговый привод
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
йоло; -,ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 258464 Сотое Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваКл, 21 д, 11/О116016/26 аявлено 05.Л.1 МПК Н 011УДК 621.382(088.8) Комитет по делам изооретеиий и открытий при Совете Мииистрое СССРОпубликовано ОЗ,Х 11,1969. Бюллетень1за 1970 г. Дата опубликования описания 17,1.1970 Авторыизобретения аявител ШАГОВЫЙ ПРИВОД с присоединением заявкиПриоритет. М, Глазков, А, С, Карачу Изобретение относится к оборудованию, применяемому для изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем.Известный электромеханический привод, содержащий электродвигатель, электрохтагнитную муфту с тормозом, ходовой винт с гайой, рабочий стол, электронный блок управления с програхтмным устройством и датчик углового положения ходового винта в виде диска с отверстиями, фотодиода и источника 1 света, не обеспечивает высокой точности ша. говых перемещений рабочего стола, вследствие инерционности программного и иополнительного устройств.Также известны приводы,прерывистото дви жения, содержащие электродвигатель, одно- оборотную муфту, червячную пару, рабочий стол, командно-распределительное устройство и фиксатор стола, Однако этот привод также не обеспечивает требуемой точности щаговых 2 перемещений из-за наличия зазоров в соединениях муфты.С целью повьппения точности шаговых перемещений в,предлагаемом приводе на наружной,поверхности ведомой полумуфты вы полнены фиксирующие выступы, взаимодействующие с управляемым от программного устройства рычатом и определяющие, заданное положение ходовото винта. Между высту- . пами. образующими паз, расположен подпру. И. Жинь и В, ф, Масленко жиненный:палец, утопленный в углублении паза и взаимодействующий с ведущей полу- муфтой,На фиг. 1 изображена кинематическая схема шагового привода; на фиг. 2 - муфта в общем виде и разрез по А - А.Универсальный шаговый привод содержит электродвитатель 1, шестерни 2 - 5 редуктора программного устройства, кулачок 6, рычаг 7, приводимый в действие пружиной 8, муфту 9, установленную между электродвигателем 1 и ходовым винтом 10, гайку 11 и рабочий стол 12. Муфта 9 состоит из ведущей полу- муфты 13, на которой,выполнены у 1 поры 14, и ведомой полухтуфты 15, имеющей вьгступы 16, образующие паз 17. В углублении паза расположен подпружиненный палец 18.Движение от электродвигателя 1 через шестерни 2 - 5 редуктора передается кулачку 6 и рычагу 7. Палец 8 под действием пружины входит в зацепление с упором И ведущей полумуфты 13. Ведомая полумуфта 15 вращается до тех порпока рычаг 7 удерживается над ней кулачком 6. Когда один конец рычага 7 попадает во впадину кулачка 6, другой конец рычага прижимается пружиной 8 к ведомой полумуфте 15 и акользпт по поверхности до западания в паз 17, после чего он нажимает на. палец.18 и размыкает муфту. Под действием пружины 8 рычаг 7 доворачивает полумуф258464 10 Предмет из о 6 р етения и оставитель В, МирошкинаТекред Т. П. Курилко Корректор Л, А, Царьков Редакт Т. Орловская Заказ 789/3 Тираж 499 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва Ж, Раушская наб., д. 415пография, пр, Сапунов ту 15 до соприкооновения фиксирующей части рычага и обеих выступов 1 б полумуфты 15. Этим достигается остановка и точная фиксация рабочего стола в заданном положении. Далее цикл повторяется. 5Управление рычагом может осуществляться и другим программным устройством, например электромагнитом,Шаговый привод, содержащий электродвигатель, муфту, ходовой винт с гайкой, рабочий стол и программное устройство для задания величины шага рабочего стола, отличающии- ся тем, что, с целью повышения точности шаговых перемещений стола, на наружной поверхности,ведомой полумуфты выполнены фиксирующие выступы, взаимодействующие с управляемым от,программного устройства рычагом и определяющие заданное положение ходового винта, между которыми расположен подпружиненный палец, утопленный в углублении паза, образованного фиксирующими выступами, и взаимодействующий с ведущей полумуфтой.
СмотретьЗаявка
1160716
И. М. Глазков, А. С. Карачун, Н. И. Жинь, В. Ф. Масленков
МПК / Метки
МПК: H01L 21/00
Опубликовано: 01.01.1970
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-258464-shagovyjj-privod.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Шаговый привод</a>
Предыдущий патент: Прибор для контроля качества полировки полупроводниковых пластин
Следующий патент: Способ рихтовки выводов полупроводниковыхприборов
Случайный патент: Устройство для исследования вольт-амперной характеристики в точке акупунктуры