Патгиг-о., гехничс; л -библногека

Союз Советских Социалистических Республин. 21 д, 11/О Заявлено 29.111,1968 ( 1228700/26-2с присоединением заявкиКомитет по делам изобретений н отирыти при Совете Министров СССРМПК Н 011х ДК 621 382 2/3 (088 8) Приор и но 11.Х.1969. Бюллетень35икования описания 16.Ж.1970 публик ата оп вторызобретени льмаи, В Ходяк и Н Заявите СТРОЙСТВО ДЛЯ ФИКСАЦИИ СЛИТКА что при подморажпвании зоны ылечебой поломку затравки.В предложенном устройстве длнадежности работы узел проскальполнен в виде втулки с размещеннее подшипниками качения, вмонтуглубление торцовой части несуПодшипники надеты на палец,продолжением корпуса цангового а сощения я вынутри иной в штока. щийся та. я повы зыван ными в прова щего являю зажи роиство для фик На чертеже показано уст сирования слитка,Устройство представляет собой водоохлаждаемый шток 1, имеющий в торцовой части ци линдрическое углубление с нарезанной внутренней резьбой, куда ввернута втулка 2 с размещенными внутри нее двумя подшипниками 8 и 4, разделенными упорной шайбой 5. На подшипниках закреплен корпус 6 цангового 20 зажима с. помощью резьбового пальца, являющегося его продолжением. Корпус 6 имеет цилиндрическое резьбовое углубление, аналогичное углублению в штоке 1, куда ввернута обойма 7 цангового зажима с внутренним ко нусом, в объеме которого расположены сухари 8. Втулка 2, корпус 6 и обойма 7 имеют лыски под ключ.Устройство работает следующим образом.Вращенныи в слиток молибденовый хвосто- ЗО вик вставляется между сухарями 8 и заворачиванием обоймы 7 зажимается в цанговом Устройство относится к области производства полупроводниковых материалов и можетбыть использовано, например, в установках,осуществляющих зонную перекристаллизациюили вытягивание монокристаллов из расплавапо методу Чохральского.В полупроводниковой промышленности применяются установки для производства полупроводниковых материалов, например, типаКристалл,Известное устройство для фиксации слиткапредставляет собой два вертикально расположенных цилиндрических штока, нижний из которых имеет конусную верхнюю часть, на которую надевается через графитовую втулкуцанговый зажим. Конусная графитовая втулка, установленная между штоком и цанговымзажимом, предназначена для проскальзывания цангового зажима при подмораживаниизоны, предотвращая этим поломку затравки.Цанговый зажим, будучи надет на шток,значительно превышает его диаметр, что недает возможности полностью использоватьпроизводительность установки, так как патроны упираются в днище вакуумной камеры, непозволяя штокам перемещаться на полнуюдлину рабочего хода. Кроме того, узел проскальзывания существующего устройства недостаточно надежен в работе, так как происходит заклинивание узла или пригорание графитовой втулки к штоку и цанговому зажиму,ВС 3.:Ст.ЙОл ; ПАП 11 т;,.тиневич1 БИБлйОЛ-КЛ256879 Предмет изобретения Составитель В, В. Шведоваедактор Н. С. Коган Техред Т. П. Курилко Корректор В. И. Жолудев Заказ 737/3 Тираж 480 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5 ипография, пр. Сапунова,зажиме верхнего штока. В цанговом зажиме нижнего штока таким же образом закрепляется затравка, которая затем сплавляется со слитком, Во время перекристализации слитка, например, зонной плавкой верхний и нижний штоки вращаются в противоположных направлениях с целью интенсивного перемешивания расплавленной зоны. При этом ввиду того, что сопротивление вращению подшипников о и 4 больше, чем сопротивление разрыву пленки поверхностного натяжения расплавленного металла, проворачивания подшипников не происходит. Если происходит подмораживание зоны, т. е. когда из-за недостаточной мощности подогрева металл из жидкого состояния переходит в твердое, перемешивание зоны прекращается, а верхняя часть слитка совместно с корпусом б цангового зажима приводится во вращение нижним штоком, про ворачивая подшипники, По окончании плавки цанговые зажимы поочередно разжимают, и слиток извлекается.5 Устройство для фиксации слитка к установкам, производящим полупроводниковые м ате риалы, содержащее подающий шток, узел проскальзывания, цанговый зажим, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы, узел проскальзывания вмонтирован в углубление торцовой части несущего штока и 15 выполнен в виде втулки с размещеннымивнутри нее подшипниками качения, надетыми на палец, являющийся продолжением корпуса цангового зажима.