C30B 15/32 — держатели затравочных кристаллов, например зажимные патроны

Номер патента: 159795

Опубликовано: 01.01.1964

Авторы: Васильева, Письменный, Шевахина

МПК: C30B 15/32

Метки: выращивании, затравок, крепления, кристаллов, кристаллодержатель

...креплениятами кристаллодержатновлены гофрированнькоторых расположенытов, а выступы помещвок,Известны кристаллодержатели для крепления затравок при выращивании кристаллов, содержащие траверсу с двумя платами, на которых размещены винты, зажимающие затравку. Однако винты этих кристаллодержателей по мере увеличения веса кристаллов до нескольких десятков килограммов не удерживают затравку и кристаллы выпадают. Кроме того, при завинчивании винтов затравки скалываются,Предложен кристаллодержатель, в котором между платами и затравкой установлены гофрированные прокладки, впадины которых расположены против зажимных винтов, а выступы помещены в бороздки затравок.На чертеже изображена схема кристаллодержателя.В отличие от известных...

Номер патента: 256879

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Калиневич, Ход, Эпельман

МПК: C30B 15/32

Метки: библногека, гехничс, патгиг-о

...производства полупроводниковых материалов, например, типаКристалл,Известное устройство для фиксации слиткапредставляет собой два вертикально расположенных цилиндрических штока, нижний из которых имеет конусную верхнюю часть, на которую надевается через графитовую втулкуцанговый зажим. Конусная графитовая втулка, установленная между штоком и цанговымзажимом, предназначена для проскальзывания цангового зажима при подмораживаниизоны, предотвращая этим поломку затравки.Цанговый зажим, будучи надет на шток,значительно превышает его диаметр, что недает возможности полностью использоватьпроизводительность установки, так как патроны упираются в днище вакуумной камеры, непозволяя штокам перемещаться на полнуюдлину рабочего хода. Кроме того, узел...

Номер патента: 1604868

Опубликовано: 07.11.1990

Авторы: Еськов, Кривцов

МПК: C30B 15/32

Метки: выращивания, затравкодержатель, кристаллов

...штока, при меньшей длинехвостовой части возможна разориентация затравки. Соотношение длин элементов затравки определены экспериментально,Высота прямоугольного выступа(0,15 внутреннего диаметра + толщинастенки керамического штока) определяется внутренним и внешним диаметрами штока. В затравочном,кристаллеи в штоке выполнены соосные отверстия 6 для металлического штифта 5.Диаметр отверстия в штоке равен диаметру штифта + О, 1 мм, диаметр отверстия в кристалле равен диаметруштифта + 0,15 мм, что соответствуеттехнологическим допускам,Это позволяет заклинивать затравку поворотомштифта. Для этого штифт имеет изгиб,радиус кривизны которого определяютопытным путем.Затравочный .кристалл вставляютв шток хвостовой частью, совмещаяего...

Номер патента: 1636485

Опубликовано: 23.03.1991

Авторы: Изотов, Мельник, Пуш, Трофименко

МПК: C30B 15/32

Метки: затравкодержатель

...диаметру трубки 4 (5 -10 мм). Затравкодержатель закрепляютна штоке 3. В тигле 1 расплавляют исходный материал, Затем затравкодержатель опускают в расплав 2 до соприкосновения с ним затравки 5 и про.изводят вытягивание монокристалла 7.Некоторое время монокристалл 7 растет внутри трубки 4, представляя собой продолжение затравки 5. Спиралеобразный выступ 6 служит при этом нетолько для крепления затравки 5 и на1636485 Коли- Результат роста честновитков Высота Внутренний диаметр затравкодержателя,МИ спиралеобразного выступа,2,2 2,5 0,5 3,5 4,6 4,8 1 1 1 1 10,5 0,8 10 дежного крепления выращиваемого кристалла 7, но и предотвращает движение дислокаций 8, образовавшихся при затравливании к боковой поверхности кристалла 7.Выращивают...

Номер патента: 778371

Опубликовано: 10.07.1999

Авторы: Дранкин, Жвирблянский, Шапиро, Шутова

МПК: C30B 15/32

Метки: затравочного, крепления, кристалла

Устройство для крепления затравочного кристалла в установке для выращивания кристаллов, содержащее затравкодержатель, соединенный гибким элементом с механизмом вращения и перемещения, отличающееся тем, что, с целью улучшения вертикальной ориентации затравочного кристалла, соединение затравкодержателя и гибкого элемента выполнено в виде сцепленных пластин с отверстиями, сопряженными в точке подвеса остроугольными кромками, одна пластина установлена на затравкодержателе с возможностью перемещения в горизонтальной плоскости, а другая пластина прикреплена к гибкому элементу.