Сорбционно-ионный вакуумный насос

Номер патента: 206795

Авторы: Лейн, Мартинсон

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е2 О 6795 Союз Советеких Сокиалистичеких Республикависимос от авт. свидетельстваг 2 Д Яявлсно 08.Х 11.1965 ( 1041714/26-26) присоединением заявкиП 1, Г о 4 Котлитет по гтеламобретений н открытийри Совета ЯиниотрооСССР 11 Орит публикоьацо 08.Х 11,1967. Бголзстепь1ата опубликования описания 8.11.19 б 8 Ы 1,э 1(0888 Лв г 01 зыизобр 1 с;гия Н. Мартинсон и Ф. Я. Лейн Заявите РБЦИОННО-ИОННЫИ ВА 1 УУМНЬ 1 Й НЛСО 0 1) с т с н ц 51 Предмет ц 1 ос;Кт У МНЫЦ 11 ЯСОС, Отцелью повышения скооглощсцця газов прц рости сорбццонной отчего вещества насоса роццонно-ионны;ггйсуг тем, что, слсктпиескогоН 11 И ВЫСОКОЙ С 0в качестве рабо ли нагоирости эсокр анкачки,Изобретение предназначено для использования в вакуумной технике для получения вакуума от 10 - о до 10 Ре,гя рт, ст.ИЗВсстны сорбционно-Р 10 нные Вакуумные насосы, в которых в качестве геттсра используется титан, а в ионизационном устройстве применяется накаленный вольфрамовый катод, Однако ионизация в таком устройстве часто является недостаточной и сс приходится увеличивать с помощью магнитных полей, что значительно усложняет конструкцию насоса,Предлагаемый насос отличается от известных тем, что в качествс рабочего всщсства насоса использована смесь двух щелочных металлов, один из которых (цли оба) дает пленки, интенсивно поглощающие газы в результате сорбции, а другой металл при запылении поверхности катода ионизатора или испарителя-катода из сплавов титана с тугоплавкими металлами вызывает увеличение электронной эмиссии вследствие снижения работы выхода материала катода. В качестве такой смеси может быть использована, например, смесь лития и цезия.В корпусе насоса расположен охлаждясмый водой или жидким азотом медный экран, на который напыляется смесь щелочных металлов (литий+5 - 10 огго) цезия. Сосуд, из которого происходит напыление, закрыт мембраной, выполненной из титановой жести толщиной около 0,5,11,11, оосспсчцвяющей выход только щсло 1 ных мстяллОВ. В нспосрсдствецпоц близости от донышка сосуда в зоне запыления помещен вольфрамовый катод цлц цспарц тель-КР 1 тод для ионпз 11 цци Гязя, Для увелиения скорости электронов в насосе имеется мосеткя. По:1 с 2 - -3 чассосуда появляется стабильный поток паров щелочных мстзтллов через г,сзбрану. 1(олигс ство поступаОщцх в сосуд щелочных металлов регулируется игольчатым вентилем,Попадая ца нагретый вольфрамовый катод,атомы щслочных мстяллов увелиИвя 10 т элск- тронРу 10 эмцссп 10 катода, Обсспс 1 ИВ 11 я цонц 311- 15 цию газа. При использовании цспарителя каТОДЯ ЦЗ СПЛЯВОВ ТИТР 1 НЯ С ТУГОПЛР 1 ВКЦХИ МС- таллами поглощение газов будет процсходцть одновременно ня пленках титана и щелочного металла. Целесообразно для поглощения га зов использовать титан из испарцтсля-катода,а цсзиЙ использов 1 ть псрцодцгсскц для Я 1 тип я ц 1; ц катода.3использована смесь металлов, один из которых обладает сорбционными свойствами, а другой при напылении на поверхность ионизатора увеличивает его электронную эмиссикк 206795 2. Насос по п, 1, отличающийся тем, что внем использована смесь лития и цезия. 3. Насос по пп. 1 и 2, отличающийся тем,что указанная смесь содержит 5 - 10% цезия.Состав;ггсп. 1. А. Жукова 1 едактор В. В. Сорокина Текред Л, Я, Бриккер Корректоры: Л. В. Наделиева и Т. Д. Чунаева Заказ 4659/1 О Тирагк 530 ПодписноеЦИИИПИ Когиптета по депаги изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4Типографии, пр. Сапунова, 2

Смотреть

Заявка

1041714

Е. Н. Мартинсон, Ф. Я. Лейн

МПК / Метки

МПК: F04B 37/04, H01J 19/70

Метки: вакуумный, насос, сорбционно-ионный

Опубликовано: 01.01.1968

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-206795-sorbcionno-ionnyjj-vakuumnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Сорбционно-ионный вакуумный насос</a>

Похожие патенты