204444
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 204444
Текст
Союз Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ ь ств а Ъ Зависимо т. свид 077033/2 Я влено 16.Ч.1966 присоединением заяв Комитет по делам изобретений и открытийПриоритет К 621,382(088.8 иковано 20,Х.1967. Бюллетень Ло 22 при Совете Министр СССРания 15.1.1968 ата опубликования оп Авторыизобретени Заитов и А, Б. Вайншт Ю, Д. Чист, Гулидов,осковский институт стали и сплаво вител ПРЯМОТОЧНЫЙ ИСПАРИТ ПАРО-ГАЗОВЬДЛЯ ПОЛУЧЕНИЕСЕЙ Изобретение относится к областиэлектроники и микроэлектроники.Известны испарители для получениигазовой смеси, выполненные в виде резра, окруженного термостатом. Такие ители имеют длинные коммуникации межной насыщения и зоной разбавления, атребуют установки дополнительных устрдля дозировки и контроля расхода газа перемещает фторопластовыи ко няет зазор 5. Испаряемое вещество налив насыщения 2, имеющую спира 5 лительные экраны, а поток газо пускают над ним, Изменение на тока и лучшее насыщение обес помощью цилиндрического экра ленного на съемной фтороплас 10 камеры, ра ус 4 и изм паро- рвуа- париду зотакже ойств ныи испаритель в жен натекателем в я с регулируемым средственно в ка ными разделитель этому повышается й контролируемого Испарит ель пусом термос рует термост люминатора свет за уро ческим кор,то циркулиь. Два илть на протдкости. окружен цилиндри ата 7, внутри котор тирующая жидкост 1 озволя 1 от наблюда нем пспаряемой ж Испаритель, помещенный в рубашку термостата, представляет собой независимое устройство, которое может крепиться либо на верхнем фланце реакционной камеры для по. лучения энитаксиальных слоев докуда оч азертывается на резьбе), либо отдельно. Выходной канал соединяется с помощью фторопластового шланга с печью для диффузии пли др гим устройством.При необходимости образованнчмых потоков различных наро-газовы.направленных в одну реакционнуюнесколько испзрителей собирают в о На чертеже схематически изображен испаритель для получения паро-газовых смесей.Испаритель представляет собой цилиндрический корпус, например, из фторопласта, имеющий центральный канал с камерой разбавления 1 для смешения потока газа, насыщенного парами соединения в камере насыщения 2, с потоком чистого газа в строго определенной пропорции заданной парс-газовой смеси. Соотношение, потоков регулируется, например, с помощью винтового механизма 3, который 1 езависи; смесей казеоl дну вер,Предложенныи прямото отличие от известных снаб виде конусного сопряжени зазором, помещенным неп меру насыщения со спирал ными экранами. Благодаря чистота паро-газовых смес химического состава. ают в камеру льные разденосителя проправления попечиваются с на 6, укрептовой крышке.Предмет изобретения Составитель В. В, ШведоваРедактор И. С. Грузова Техред Т. П, Курилко Корректоры: Г. И. Плешаковаи С, А, Башлыкова Тираж 535 Подписноделам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр. Ссрова, д. 4 Заказ 4208,8ЦНИИПИ Комитета упова, 2 Гипографил, и тикальную колонну и с помощью перекрытия конусных уплотнений вводят поочеоедно нужный компонент в состав паро-газовой смеси для легирования, например, эпитаксиальных слоев при получении многослойных эпитаксиальныхструктур.Предлагаемая конструкция не требует больших затрат времени на промывку системы после замены легирующей добавки, так как система компактна и в ней отсутствуют большие коммуникации, стенки которых способны сорбировать легирующие добавки (ВСз и др,),Прямоточный иопаритель для получения парогазовых смесей, выполненный в виде разъемного резервуара, окруженного термостатом, содержащий камеру насыщения и разбавления, отличающийся тем, что, с целью повышения чистотыпаро-газовыхсмесей контролируемого химического состава, он снабжен натекателем в виде конусного сопряжения с регулируемым зазором, помещенным непосредственно в камеру насыщения, имеющую спиральные разделительные экраны,
СмотретьЗаявка
1077033
МПК / Метки
МПК: C30B 25/00
Метки: 204444
Опубликовано: 01.01.1967
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-204444-204444.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">204444</a>
Предыдущий патент: Электронное поляризованное реле
Следующий патент: Катодный узел
Случайный патент: Штамп для получения отверстий в полых изделиях и профилях